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电子发烧友网>今日头条>通过臭氧微气泡进行半导体晶圆的光刻胶去除实验

通过臭氧微气泡进行半导体晶圆的光刻胶去除实验

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晶片光刻胶处理系统的详细介绍

摘要 在这项工作中,研究了新一代相流体剥离溶液在各种半导体光刻胶中的应用。这些实验中使用的独特的水基智能流体配方均为超大规模集成电路级,与铜兼容且无毒。实验的第一阶段是确定是否在合理的时间内与光刻胶
2022-03-03 14:20:05451

通过臭氧气泡进行半导体晶圆的光刻胶去除实验

半导体的清洗在制造工序中也是非常重要的。特别是光刻胶去除是最困难的,一般使用硫酸和过氧化氢混合的溶液(SPM)等。但是,这些废液的处理是极其困难的,与环境污染有很大的关系,因此希望引进环保的清洗技术。因此,作为环保的清洗技术之一,以蒸馏水、臭氧为基础,利用微气泡的清洗法受到关注。
2022-03-24 16:02:56733

使用湿化学物质去除光刻胶和残留物

在未来几代器件中,去除光刻胶和残留物变得非常关键。在前端线后离子注入(源极/漏极、扩展),使用PR来阻断部分电路导致PR基本上硬化并且难以去除。在后端线(BEOL)蚀刻中,除低k材料的情况下去除抗蚀剂和残留物的选择性非常具有挑战性。
2022-03-24 16:03:24778

采用双层抗蚀剂法去除光刻胶

本文提出了一种新型的双层光阻剂方法来减少负光阻剂浮渣。选择正光刻胶作为底层抗蚀剂,选择负光刻胶作为顶层抗蚀胶。研究了底层抗蚀剂的粘度和厚度对浮渣平均数量的影响。实验表明,低粘度正光刻胶AZ703
2022-03-24 16:04:23754

一种半导体制造用光刻胶去除方法

/O2气体气氛中进行干洗,在CF4等离子体条件下进行干燥,在O2等离子体的条件下进行干燥剂后, 通过执行湿式清洁工艺去除上述残留光刻胶,可以彻底去除半导体装置制造过程中使用的光刻胶,增进半导体装置的可靠性,防止设备污染。
2022-04-13 13:56:42872

用于光刻胶去除的单晶片清洗技术

本文的目标是讨论一种新技术,它可以在保持竞争力的首席运营官的同时改善权衡。 将开发湿化学抗蚀剂去除溶液的能力与对工艺和工具要求的理解相结合,导致了用于光刻胶去除的单晶片清洗技术的发展。 该技术针对
2022-05-07 15:11:11621

使用全湿法去除Cu BEOL中的光刻胶和BARC

上蚀刻后光刻胶和BARC层的去除,扫描电子显微镜(SEM)和X射线光电子能谱(XPS)用于评估清洗效率,使用平面电容器结构确定暴露于等离子体和湿化学对低k膜的介电常数的影响。 对图案化结构的横截面SEM检查表明,在几种实验条件和化学条件下可以实现蚀刻后PR的完
2022-05-30 17:25:241114

光刻胶剥离用组合物及用其进行剥离的方法介绍

本文章介绍了我们华林科纳一种光刻胶剥离用组合物,该组合物不仅对离子注入工艺后或离子注入工艺和高温加热工艺后硬化或变质为聚合物的光刻胶具有良好的去除力,而且使膜质腐蚀性最小化。半导体工艺中离子注入工艺
2022-07-01 15:16:081442

干法刻蚀去除光刻胶的技术

灰化,简单的理解就是用氧气把光刻胶燃烧掉,光刻胶的基本成分是碳氢有机物,在射频或微波作用下,氧气电离成氧原子并与光刻胶发生化学反应,生成一氧化碳,二氧化碳和水等,再通过泵被真空抽走,完成光刻胶去除
2022-07-21 11:20:174870

光刻胶为何要谋求国产替代

南大光电最新消息显示,国产193nm(ArF)光刻胶研发成功,这家公司成为通过国家“02专项”验收的ArF光刻胶项目实施主体;徐州博康宣布,该公司已开发出数十种高端光刻胶产品系列,包括
2022-08-31 09:47:141285

光刻胶的原理和正负光刻胶的主要组分是什么

光刻胶的组成:树脂(resin/polymer),光刻胶中不同材料的粘合剂,给与光刻胶的机械与化学性质(如粘附性、胶膜厚度、热稳定性等);感光剂,感光剂对光能发生光化学反应;溶剂(Solvent
2022-10-21 16:40:0415816

半导体光刻胶重要性凸出,国产替代加速推进

光刻胶是IC制造的核心耗材,技术壁垒极高。根据TECHCET数据,预计2022年全球半导体光刻胶市场规模达到23亿美元,同比增长7.5%,2025年超过25亿美元。
2023-03-21 14:00:492095

半导体制造领域光刻胶的作用和意义

光刻半导体加工中最重要的工艺之一,决定着芯片的性能。光刻占芯片制造时间的40%-50%,占其总成本的30%。光刻胶光刻环节关键耗材,其质量和性能与电子器件良品率、器件性能可靠性直接相关。
2023-10-26 15:10:24359

光刻胶黏度如何测量?光刻胶需要稀释吗?

光刻胶在未曝光之前是一种黏性流体,不同种类的光刻胶具有不同的黏度。黏度是光刻胶的一项重要指标。那么光刻胶的黏度为什么重要?黏度用什么表征?哪些光刻胶算高黏度,哪些算低黏度呢?
2023-11-13 18:14:11571

万润股份在半导体制造材料领域稳步推进,涉足光刻胶单体、PI等业务

近期,万润股份在接受机构调研时透露,其“年产65吨半导体用光刻胶树脂系列”项目已经顺利投入运营。该项目旨在为客户提供专业的半导体用光刻胶树脂类材料。
2023-12-12 14:02:58328

光刻胶价格上涨,韩国半导体公司压力增大

光刻胶类别的多样化,此次涨价案所涉KrF光刻胶属于高阶防护用品,也是未来各地厂家的竞争焦点。当前市场中,光刻胶主要由东京大贺工业、杜邦、JSR、信越化学、住友化学及东进半导体等大型制造商掌控。
2023-12-14 15:20:36408

光刻胶分类与市场结构

光刻胶主要下游应用包括:显示屏制造、印刷电路板生产、半导体制造等,其中显示屏是光刻胶最大的下游应用,占比30%。光刻胶半导体制造应用占比24%,是第三达应用场景。
2024-01-03 18:12:21346

光刻胶光刻机的区别

光刻胶是一种涂覆在半导体器件表面的特殊液体材料,可以通过光刻机上的模板或掩模来进行曝光。
2024-03-04 17:19:18399

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