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不使用EUV突破1nm极限?美国推出全新光刻系统,分辨率0.768nm!
不使用EUV突破1nm极限?美国推出全新光刻系统,分辨率0.768nm!
电子发烧友网报道(文/梁浩斌)最近,一家名为Zyvex Labs的美国公司宣布推出亚纳米分辨率的光刻系统Zyvex Litho 1,据称分辨率可以达到0.768nm,这大约是两个硅原子的宽度。   并且这套光刻系统没有采用目前主流的EUV技术,Zyvex Litho 1使用的是基于STM(扫描隧道显微镜)的EBL(电子束光刻)技术。更令人“沸腾”的是,这款产品还不只是存在于实验阶段,Zyvex Labs表示已经开始接受Zyvex Litho 1系统的订单,交付周期约为6个月。要知道目前ASML的ArF光刻机交付周
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