电子发烧友App

硬声App

0
  • 聊天消息
  • 系统消息
  • 评论与回复
登录后你可以
  • 下载海量资料
  • 学习在线课程
  • 观看技术视频
  • 写文章/发帖/加入社区
创作中心

完善资料让更多小伙伴认识你,还能领取20积分哦,立即完善>

3天内不再提示

电子发烧友网>制造/封装>半导体制造领域光刻胶的作用和意义

半导体制造领域光刻胶的作用和意义

收藏

声明:本文内容及配图由入驻作者撰写或者入驻合作网站授权转载。文章观点仅代表作者本人,不代表电子发烧友网立场。文章及其配图仅供工程师学习之用,如有内容侵权或者其他违规问题,请联系本站处理。 举报投诉

评论

查看更多

相关推荐

微气泡对光刻胶层的影响

光刻剂。但重大挑战仍然存在,部分原因是去除率不足以首先在半导体制造业中使用微气泡。因此,我们需要通过明确了解微气泡去除光刻抗蚀剂层的功能机制,来提高微气泡的去除能力。本研究的目的是阐明微气泡对光刻胶层表面的影响。
2022-01-10 11:37:131396

通过臭氧微气泡进行半导体晶圆的光刻胶去除实验

半导体的清洗在制造工序中也是非常重要的。特别是光刻胶的去除是最困难的,一般使用硫酸和过氧化氢混合的溶液(SPM)等。但是,这些废液的处理是极其困难的,与环境污染有很大的关系,因此希望引进环保的清洗技术。因此,作为环保的清洗技术之一,以蒸馏水、臭氧为基础,利用微气泡的清洗法受到关注。
2022-04-19 11:22:57918

A股半导体光刻胶企业营收靓丽!打造光刻胶全产业链 博康欲成国产光刻胶的中流砥柱

光刻胶为何要谋求国产替代?中国国产光刻胶企业的市场发展机会和挑战如何?光刻胶企业发展要具备哪些核心竞争力?在南京半导体大会期间,徐州博康公司董事长傅志伟和研发总监潘新刚给我们带来前沿观点和独家分析。
2022-08-29 15:02:235918

半导体制造光刻工艺讲解

光刻工艺就是把芯片制作所需要的线路与功能做出来。利用光刻机发出的光通过具有图形的光罩对涂有光刻胶的薄片曝光,光刻胶见光后会发生性质变化,从而使光罩上得图形复印到薄片上,从而使薄片具有电子线路图的作用
2023-12-04 09:17:241338

揭秘半导体制造全流程(下篇)

我们已经从前两篇的文章中了解了半导体制造的前几大步骤,包括晶圆加工、氧化、光刻、刻蚀和薄膜沉积。   在今天的推文中,我们将继续介绍最后三个步骤:互连、测试和封装,以完成半导体芯片的制造
2021-08-02 13:49:0416085

半导体光刻胶企业营收靓丽!打造光刻胶全产业链 博康欲成国产光刻胶的中流砥柱

电子发烧友原创 章鹰   近日,全球半导体市场规模增长带动了上游半导体材料旺盛需求,“光刻胶”的突破也成为国内关注焦点。正当日本光刻胶企业JSR、东京应化和美国Lam Research在EUV光刻胶
2022-08-31 07:45:002718

光刻中承上启下的半导体掩膜版

电子发烧友网报道(文/周凯扬)在上游的半导体制造产业中,除了光刻机等设备外,光刻胶、掩膜版等材料也是决定晶圆质量与良率的关键因素。就拿掩膜版来说,这个承载设计图形的材料,经过曝光后将图形信息转移到
2023-06-22 01:27:001985

光刻工艺步骤

一、光刻胶的选择光刻胶包括两种基本的类型:正性光刻和负性光刻,区别如下
2021-01-12 10:17:47

光刻胶

改进;广泛应用于全球半导体行业。光刻胶产品型号及参数[tr=transparent]光刻胶名称型号匀厚度规格[/tr][tr=transparent]Merck AZ 正/负可转换型光刻胶AZ
2018-07-12 11:57:08

光刻胶在集成电路制造中的应用

]。光刻胶涂覆在半导体导体和绝缘体上,经曝光显影后留下的部分对底层起保护作用,然后采用超净高纯试剂进行蚀刻,从而完成了将掩膜版图形转移到底层上的图形转移过程。一个IC的制造一般需要经过10多次图形转移
2018-08-23 11:56:31

光刻胶有什么分类?生产流程是什么?

光刻胶也称为光致抗蚀剂,是一种光敏材料,它受到光照后特性会发生改变。光刻胶主要用来将光刻掩膜版上的图形转移到晶圆片上。光刻胶有正和负之分。正经过曝光后,受到光照的部分变得容易溶解,经过显影后被
2019-11-07 09:00:18

光刻胶残留要怎么解决?

这是我的版图一部分,然后生成了图案是这样的: 感觉间距小的地方全都有残留,间距大的地方没有残留;工艺参数:s9920光刻胶, evg 620‘未进行蒸汽底漆层涂覆,前烘:100摄氏度,90s
2016-11-29 14:59:18

半导体光刻技术基本原理

,小米9pro,oppo Reno3以及vivo X30)分别采用了什么芯片? 3协同通信的方式有哪些? 4大数据及认知无线电(名词解释) 4半导体工艺的4个主要步骤: 4简叙半导体光刻技术基本原理 4给出4个全球著名的半导体设备制造商并指出其生产的设备核心技术: 5卫
2021-07-26 08:31:09

半导体光刻蚀工艺

半导体光刻蚀工艺
2021-02-05 09:41:23

半导体产业能支撑未来的发展

的火花,即450mm及EUV 光刻 机。在LinkedIn半导体制造小组中近期从一家成员公司偶然提出一个问题让我产生了思考。当经济处于复苏的好时机时会改涠杂诖50mm硅片的看法吗?WWK的总裁David Jimenez回答了它的问题。设备制造商会愿意更多的投资来发展450mm设备?传感技术
2010-02-26 14:52:33

半导体材料市场构成分析

半导体材料市场构成:在半导体材料市场构成方面,大硅片占比最大,占比为32.9%。其次为气体,占比为14.1%,光掩膜排名第三,占比 为12.6%,其后:分别为抛光液和抛光垫、光刻胶配套试剂、光刻胶、湿化学品、建设靶材,比分别为7.2%、6.9%、 6.1%、4%和3%。
2021-01-22 10:48:36

半导体的定义及其作用

半导体指常温下导电性能介于导体与绝缘体之间的材料,它在集成电路、消费电子、通信系统、光伏发电、照明、大功率电源转换等领域都有应用,如二极管就是采用半导体制作的器件。无论从科技或是经济发展的角度来看
2021-09-15 07:24:56

半导体制冷—— 2 1 世纪的绿色“冷源”

半导体制冷—— 2 1 世纪的绿色“冷源”唐春晖(上海理工大学光学与电子信息工程学院,上海 200093)摘要:基于节能和环保已是当今一切科技发展进步的基本要求,对半导体制冷技术原理以及应用情况做了
2010-04-02 10:14:56

半导体制冷效率问题!!

大家有没有用过半导体制冷的,我现在选了一种制冷片,72W的,我要对一个2.5W的热负载空间(100x100x100mm)降温,用了两片,在环温60度时热负载所处的空间只降到30度,我采用的时泡沫
2012-08-15 20:07:10

半导体制冷有什么优缺点?

半导体制冷的机理主要是电荷载体在不同的材料中处于不同的能量级,在外电场的作用下,电荷载体从高能级的材料向低能级的材料运动时,便会释放出多余的能量。
2020-04-03 09:02:14

半导体制冷片的工作原理是什么?

半导体制冷片是利用半导体材料的Peltier效应而制作的电子元件,当直流电通过两种不同半导体材料串联成的电偶时,在电偶的两端即可分别吸收热量和放出热量,可以实现制冷的目的。它是一种产生负热阻的制冷技术,其特点是无运动部件,可靠性也比较高。半导体制冷片的工作原理是什么?半导体制冷片有哪些优缺点?
2021-02-24 09:24:02

半导体制

制造方法,其实归根究底,就是在矽半导体制造电子元器件,电子元器件包括很多品种:整流桥,二极管,电容等各种IC类,更复杂的还有整流模块等等。ASEMI半导体的每一个电子元器件的完成都是由精密复杂
2018-11-08 11:10:34

半导体制造

制造半导体器件时,为什么先将导电性能介于导体和绝缘体之间的硅或锗制成本征半导体,使之导电性极差,然后再用扩散工艺在本征半导体中掺入杂质形成N型半导体或P型半导体改善其导电性?
2012-07-11 20:23:15

半导体制造企业未来分析

们的投入中,80%的开支会用于先进产能扩增,包括7nm、5nm及3nm,另外20%主要用于先进封装及特殊制程。而先进工艺中所用到的EUV极紫外光刻机,一台设备的单价就可以达到1.2亿美元,可见半导体
2020-02-27 10:42:16

半导体制造技术经典教程(英文版)

半导体制造技术经典教程(英文版)
2014-03-06 16:19:35

半导体制造的难点汇总

采取正确的设备维护行动。半导体制造五大难点——集成众多子系统的大系统伴随着芯片的集成度越来越高、半导体制造的先进程度也逐渐提升。半导体产业包含越来越多的机械、化工、软件、材料等其它领域,是集成了很多
2020-09-02 18:02:47

半导体制造车间的环境与生产要求以及设施规划

近几年来,由于半导体芯片在电脑,通信等领域的广泛应用,半导体制造业不仅在全球,在中国也得到了飞速发展。9月5日工信部部长指出要通过编制十四五规划,将培育软件产业生态、推动产业聚集,加快建设数字
2020-09-24 15:17:16

EUV热潮不断 中国如何推进半导体设备产业发展?

ofweek电子工程网讯 国际半导体制造龙头三星、台积电先后宣布将于2018年量产7纳米晶圆制造工艺。这一消息使得业界对半导体制造的关键设备之一极紫外光刻机(EUV)的关注度大幅提升。此后又有媒体
2017-11-14 16:24:44

Futurrex高端光刻胶

半导体制造领域的标志:NR9-PY 系列负性光刻胶,适用于lift-off工艺;具有高效粘附性,高反应速度并耐高温性能好。 NR71-PY 系列 负性光刻胶,适用于lift-off工艺,耐高温性能好
2010-04-21 10:57:46

Microchem SU-8光刻胶 2000系列

、芯片封装和微加工等领域。目前,直接采用 SU- 8 光刻胶来制备深宽比高的微结构与微零件已经成为微加工领域的一项新技术。SU 8光刻胶光刻前清洗工艺:为了获得更好的光刻效果,在进行光刻胶旋涂之前,需要
2018-07-04 14:42:34

[转]CPU制造全过程,一堆沙子的艺术之旅

、晶圆、光刻、蚀刻、离子注入、金属沉积、金属层、互连、晶圆测试与切割、核心封装、等级测试、包装上市等基本步骤。硅熔炼成硅锭:通过多步净化得到可用于半导体制造质量的硅,学名电子级硅(EGS),平均每一百万
2017-05-04 21:25:46

半导体制造工艺》学习笔记

`《半导体制造工艺》学习笔记`
2012-08-20 19:40:32

《炬丰科技-半导体工艺》光刻前 GaAs 表面处理以改善湿化学蚀刻过程中的光刻胶附着力和改善湿蚀刻轮廓

还改变了湿蚀刻轮廓GaAs 与没有表面处理的晶片相比,反应限制蚀刻更具各向同性;简介 光刻胶的附着力对湿蚀刻的结果以及随后的电气和光学器件的产量起着关键作用。有许多因素会影响光刻胶半导体衬底的粘附
2021-07-06 09:39:22

《炬丰科技-半导体工艺》DI-O3水在晶圆表面制备中的应用

,但显然值得更多的关注用于商业利用和实施。本文综述了臭氧化去离子水(DI-O3 水)在硅片表面制备中的应用,包括去除有机杂质、金属污染物和颗粒以及光刻胶剥离。 介绍自半导体技术起源以来,清洁衬底表面在
2021-07-06 09:36:27

《炬丰科技-半导体工艺》IC制造工艺

`书籍:《炬丰科技-半导体工艺》文章:IC制造工艺编号:JFSJ-21-046作者:炬丰科技网址:http://www.wetsemi.com/index.html摘要:集成电路的制造主要包括以下
2021-07-08 13:13:06

一文带你了解芯片制造的6个关键步骤

。正性光刻胶半导体制造中使用得最多,因其可以达到更高的分辨率,从而让它成为光刻阶段更好的选择。现在世界上有不少公司生产用于半导体制造光刻胶光刻光刻在芯片制造过程中至关重要,因为它决定了芯片上的晶体管
2022-04-08 15:12:41

主流的射频半导体制造工艺介绍

1、GaAs半导体材料可以分为元素半导体和化合物半导体两大类,元素半导体指硅、锗单一元素形成的半导体,化合物指砷化镓、磷化铟等化合物形成的半导体。砷化镓的电子迁移速率比硅高5.7 倍,非常适合
2019-07-29 07:16:49

单片机控制半导体制

我想用单片机开发板做个热疗仪,开发板是某宝上买的那种,有两个猜想:一个用半导体制冷片发热,一个用电热片。但我不会中间要不要接个DA转换器还是继电器什么的,查过一些资料,如果用半导体制冷片用PWM控制
2017-11-22 14:15:40

单片机控制半导体制冷片

求大神解答,半导体制冷片的正负极能反接吗,如果可以,那原来的制冷面是不是可变成散热面而原来的散热面变成制冷面??
2016-03-03 16:53:12

机有什么典型应用 ?

机是现代光电子产业中光刻胶涂布的重要设备。可对不同尺寸和形状的基片进行涂胶,最大涂胶尺寸达8寸,得到厚度均匀的光刻胶层,同时可对大深宽比结构的侧壁进行均匀涂胶;通过计算机系统控制器进行工艺参数的编辑和操作。
2020-03-23 09:00:57

基于半导体制冷片的高精度温度控制系统,总结的太棒了

基于半导体制冷片的高精度温度控制系统,总结的太棒了
2021-05-08 06:20:22

如何实现基于STM32的半导体制冷片(TEC)温度控制系统设计?

如何实现基于STM32的半导体制冷片(TEC)温度控制系统设计?
2021-12-23 06:07:59

如何用半导体制冷片制作小冰箱?

想用半导体制冷片制作小冰箱,需要用到大功率电源,半导体制冷片,还有散热系统,单片机控制系统,能调温度,还能显示温度,具体的思路已经有了,想问问你们有没好点的意见,能尽量提高点效率还有温度调节的精度
2020-08-27 08:07:58

想了解半导体制造相关知识

{:1:}想了解半导体制造相关知识
2012-02-12 11:15:05

振奋!中微半导体国产5纳米刻蚀机助力中国芯

形成电路,而“湿法”刻蚀(使用化学浴)主要用于清洁晶圆。 干法刻蚀是半导体制造中最常用的工艺之一。 开始刻蚀前,晶圆上会涂上一层光刻胶或硬掩膜(通常是氧化物或氮化物),然后在光刻时将电路图形曝光在晶圆
2017-10-09 19:41:52

液晶显示器是什么原理制造

一.工艺流程简述: 前段工位: ITO 玻璃的投入(grading)—— 玻璃清洗与干燥(CLEANING)——涂光刻胶(PR COAT)——前烘烤(PREBREAK)——曝光(DEVELOP
2016-06-30 09:03:48

自制半导体制冷小冰箱

到了二十世纪五十年代随着半导体材料的迅猛发展,热电制冷器才逐渐从实验室走向工程实践,在国防、工业、农业、医疗和日常生活等领域获得应用,大到可以做核潜艇的空调,小到可以用来冷却红外线探测器的探头,因此通常又把热电制冷器称为半导体制冷器。
2013-11-29 09:26:38

芯片制作工艺流程 二

涂敷光刻胶 光刻制造过程中,往往需采用20-30道光刻工序,现在技术主要采有紫外线(包括远紫外线)为光源的光刻技术。光刻工序包括翻版图形掩膜制造,硅基片表面光刻胶的涂敷、预烘、曝光、显影、后烘、腐蚀
2019-08-16 11:11:34

芯片里面100多亿晶体管是如何实现的

。    溶解光刻胶光刻过程中曝光在紫外线下的光刻胶被溶解掉,清除后留下的图案和掩模上的一致。    “刻蚀”是光刻后,用腐蚀液将变质的那部分光刻胶腐蚀掉(正),晶圆表面就显出半导体器件及其连接的图形
2020-07-07 11:36:10

光刻胶显影残留原因

151n光刻胶曝光显影后开口底部都会有一撮残留,找不到原因。各位帮分析下
2023-04-20 13:13:52

离线光刻胶微粒子计数器

半导体、超纯水、电子产品、平板玻璃、硅晶片、等产品进行在线颗粒监测和分析。产品优势:离线优势:PMT-2离线光刻胶微粒子计数器外接离线取样装置,可实现实验室、工厂
2022-12-14 10:44:24

在线光刻胶液体粒子计数器

 PMT-2在线光刻胶液体粒子计数器,采用英国普洛帝核心技术创新型的第八代双激光窄光颗粒检测传感器,双精准流量控制-精密计量柱塞泵和超精密流量电磁控制系统,可以对清洗剂、半导体、超纯水
2023-01-03 15:54:49

光刻胶有多难?不亚于光刻机!#芯片

光刻光刻胶晶圆制造
小凡发布于 2022-09-25 09:49:36

#半导体制造工艺 光刻技术简介

制造工艺半导体制造集成电路工艺
电子技术那些事儿发布于 2022-10-15 14:53:40

#半导体制造工艺 补充光刻胶灵敏度和调制传递函数

灵敏度制造工艺半导体制造光刻胶集成电路工艺
电子技术那些事儿发布于 2022-10-15 14:56:40

#半导体制造工艺 UV光刻:基于掩模的光刻

制造工艺半导体制造集成电路工艺
电子技术那些事儿发布于 2022-10-15 14:59:33

#半导体制造工艺 电子束光刻:电子样品相互作用

制造工艺半导体制造集成电路工艺
电子技术那些事儿发布于 2022-10-15 15:10:28

#硬声创作季 #集成电路 集成电路制造工艺-03.2.1光刻胶-光刻胶的性质

工艺制造工艺光刻胶集成电路工艺
水管工发布于 2022-10-17 20:06:04

#硬声创作季 微电子工艺:光刻83.2--光刻胶

IC设计工艺光刻胶
Mr_haohao发布于 2022-10-21 02:03:43

【科普转载】光刻工作原理简介03(光刻胶)#硬声创作季

光刻光刻胶
电子知识科普发布于 2022-10-27 17:14:48

华虹半导体和宏力半导体制造公司完成合并

中国半导体制造行业的两大企业,华虹半导体有限公司(简称“华虹”)和宏力半导体制造公司(简称“宏力”)于29日联合宣布双方已完成了合并交易。
2011-12-30 08:58:501867

如何光刻机会称为半导体制造行业的明珠?

急需突破的领域,但它也是技术门槛最高的,国内最大的半导体制造公司中芯国际的营收只有第一大晶圆代工公司台积电的1/20,与英特尔相比更是只有1/20,但是这些芯片制造公司都离不开一个设备——光刻机,它是整个半导体制造行业的明珠。
2018-07-22 10:32:3710947

半导体光刻胶:多家厂商实现国产替代

在国家政策与市场的双重驱动下,近年来,国内企业逐步向面板、半导体光刻胶发力……
2019-04-23 16:15:3612831

南大光电高黏附性的ArF光刻胶树脂专利揭秘

在国际半导体领域,我国虽已成为半导体生产大国,但整个半导体产业链仍比较落后。特别是由于国内光刻胶厂布局较晚,半导体光刻胶技术相较于海外先进技术差距较大,国产化不足5%。在这种条件下,国内半导体厂商积极开展研究,如晶瑞股份的KrF光刻胶,南大光电的ArF光刻胶均取得较好的研究效果。
2020-03-06 15:40:564165

LCD光刻胶需求快速增长,政策及国产化风向带动国产厂商发展

光刻胶按应用领域分类,大致分为LCD光刻胶、PCB光刻胶(感光油墨)与半导体光刻胶等。按照下游应用来看,目前LCD光刻胶占比26.6%,刻胶占比24.5%,半导体光刻胶占比24.1%,PCB光其他类光刻胶占比24.8%。
2020-06-12 17:13:395380

2020年光刻胶行业情况解析

全球光刻胶市场规模从2016 年的15 亿美元增长至2019年的18亿美元,年复合增长率达6.3%;应用方面,光刻胶主要应用在PCB、半导体及LCD显示等领域,各占约25%市场份额。
2020-09-21 11:28:043290

博闻广见之半导体行业中的光刻胶

、电子束、准分子激光束、X射线、离子束等曝光源的照射或辐射,从而使光刻胶的溶解度发生变化。 按照应用领域分类,光刻胶主要包括印制电路板(PCB)光刻胶专用化学品(光引发剂和树脂)、液晶显示器(LCD)光刻胶光引发剂、半导
2022-12-06 14:53:541238

半导体集成电路制造的核心材料:光刻胶

首先,我们都知道要制作一颗芯片可以简单分为三个步骤:IC芯片设计芯片制造封装测试。从最早诞生于电路设计师的脑袋中,到将大脑中的线路图像设计出来,最后送到半导体车间经由光刻机反复光刻,中间经过
2020-11-14 09:36:575407

光刻胶的价值与介绍及市场格局对国产光刻胶的发展趋势

近期,专注于电子材料市场研究的TECHCET发布最新统计和预测数据:2021年,半导体制造所需的光刻胶市场规模将同比增长11%,达到19亿美元。
2021-03-22 10:51:125081

MEMS工艺——半导体制造技术

MEMS工艺——半导体制造技术说明。
2021-04-08 09:30:41237

光刻胶国产化的道路上有哪6道坎?

材料是半导体大厦的地基,不过,目前中国的这一地基对国外依存度还很高。 2019年,日韩发生冲突,日本封锁了三种关键的半导体材料,分别是氟化氢、聚酰亚胺和光刻胶。这三种材料韩国,中国都可以制造
2021-05-11 13:46:382922

2021年,半导体制造所需的光刻胶市场规模将同比增长11%

按照应用领域分类,光刻胶主要包括印制电路板(PCB)光刻胶专用化学品(光引发剂和树脂)、液晶显示器(LCD)光刻胶光引发剂、半导体光刻胶光引发剂和其他用途光刻胶四大类。本文主要讨论半导体光刻胶
2021-05-17 14:15:524011

光刻胶又遇“卡脖子”,国产替代刻不容缓

。 信越化学之所以停止供货部分晶圆厂KrF光刻胶,与2月份日本福岛东部海域发生7.3级地震有莫大关联。地震导致信越化学KrF光刻胶产线受到很大程度的破坏,至今尚未完全恢复生产。 光刻胶半导体制造中的关键产品,重要性毋庸置疑,现在这么多半导
2021-06-25 16:12:28784

光刻胶板块的大涨吸引了产业注意 ,国产光刻胶再遇发展良机?

5月27日,半导体光刻胶概念股开盘即走强,截至收盘,A股光刻胶板块涨幅达6.48%。其中晶瑞股份、广信材料直线拉升大涨20%封涨停,容大感光大涨13.28%,扬帆新材大涨11.37%,南大光电
2021-05-28 10:34:152623

半导体技术新进展,南大光电高端ArF光刻胶获得突破

半导体制造方面,国内厂商需要突破的不只是光刻机等核心设备,光刻胶也是重要的一环。而南大光电研发的高端ArF光刻机,已经获得了国内某企业的认证,可用于55nm工艺制造。 南大光电发布公告称,控股
2021-06-26 16:32:372200

默克推出用于芯片制造的新一代环保光刻胶去除剂

德国达姆施塔特, 2021年7月 28日 –- 全球领先的科技公司默克日前宣布推出新一代环保精密清洗溶剂产品  -- AZ® 910 去除剂。该系列产品用于半导体芯片制造图形化工艺中清除光刻胶
2021-07-28 14:23:102646

通过臭氧微气泡进行半导体晶圆的光刻胶去除实验

半导体的清洗在制造工序中也是非常重要的。特别是光刻胶的去除是最困难的,一般使用硫酸和过氧化氢混合的溶液(SPM)等。但是,这些废液的处理是极其困难的,与环境污染有很大的关系,因此希望引进环保的清洗技术。因此,作为环保的清洗技术之一,以蒸馏水、臭氧为基础,利用微气泡的清洗法受到关注。
2022-03-24 16:02:56733

一种半导体制造光刻胶去除方法

本发明涉及一种去除光刻胶的方法,更详细地说,是一种半导体制造光刻胶去除方法,该方法适合于在半导体装置的制造过程中进行吹扫以去除光刻胶。在半导体装置的制造工艺中,将残留在晶片上的光刻胶,在H2O
2022-04-13 13:56:42872

半导体制造将EUV引入DRAM的计划介绍

EUV 光刻技术被视为先进半导体制造的最大瓶颈,但这些价值超过 1.5 亿美元的工具是没有光掩模的paperweights。一个恰当的比喻是,光掩模可以被认为是光刻工具对芯片层进行图案化所需的物理模板。
2022-08-26 10:49:47942

光刻胶的原理和正负光刻胶的主要组分是什么

光刻胶的组成:树脂(resin/polymer),光刻胶中不同材料的粘合剂,给与光刻胶的机械与化学性质(如粘附性、胶膜厚度、热稳定性等);感光剂,感光剂对光能发生光化学反应;溶剂(Solvent
2022-10-21 16:40:0415831

半导体光刻胶重要性凸出,国产替代加速推进

光刻胶是IC制造的核心耗材,技术壁垒极高。根据TECHCET数据,预计2022年全球半导体光刻胶市场规模达到23亿美元,同比增长7.5%,2025年超过25亿美元。
2023-03-21 14:00:492095

一文讲透光刻胶及芯片制造关键技术

在集成电路制造领域,如果说光刻机是推动制程技术进步的“引擎”,光刻胶就是这部“引擎”的“燃料”。
2023-05-13 11:28:381122

ALD是什么?半导体制造的基本流程

半导体制造过程中,每个半导体元件的产品都需要经过数百道工序。这些工序包括前道工艺和后道工艺,前道工艺是整个制造过程中最为重要的部分,它关系到半导体芯片的基本结构和特性的形成,涉及晶圆制造、沉积、光刻、刻蚀等步骤,技术难点多,操作复杂。
2023-07-11 11:25:552902

半导体制造会被日本断血吗?

日本在半导体界一直以设备和材料笑傲群雄,2019年一则禁令一度扼住韩国半导体喉咙,涉及材料包括高纯氟化氢、氟聚酰亚胺、感光剂光刻胶,直到几个月前,受伤的双方才握手言和。
2023-07-27 09:54:55830

半导体制造工艺之光刻工艺详解

半导体制造工艺之光刻工艺详解
2023-08-24 10:38:541223

EUV光刻胶开发面临哪些挑战?

EUV光刻胶材料是光敏物质,当受到EUV光子照射时会发生化学变化。这些材料在解决半导体制造中的各种挑战方面发挥着关键作用,包括提高灵敏度、控制分辨率、减少线边缘粗糙度(LER)、降低释气和提高热稳定性。
2023-09-11 11:58:42349

半导体制造光刻原理、工艺流程

光刻胶作为影响光刻效果核心要素之一,是电子产业的关键材料。光刻胶由溶剂、光引发剂和成膜树脂三种主要成分组成,是一种具有光化学敏感性的混合液体。其利用光化学反应,经曝光、显影等光刻工艺,将所需要的微细图形从掩模版转移到待加工基片上,是用于微细加工技术的关键性电子化学品。
2023-10-09 14:34:491674

光刻胶黏度如何测量?光刻胶需要稀释吗?

光刻胶在未曝光之前是一种黏性流体,不同种类的光刻胶具有不同的黏度。黏度是光刻胶的一项重要指标。那么光刻胶的黏度为什么重要?黏度用什么表征?哪些光刻胶算高黏度,哪些算低黏度呢?
2023-11-13 18:14:11571

不仅需要***,更需要光刻胶

为了生产高纯度、高质量的光刻胶,需要高纯度的配方原料,例如光刻树脂,溶剂PGMEA…此外,生产过程中的反应釜镀膜和金属析出污染监测也是至关重要的控制环节。例如,2019年,某家半导体制造公司由于光刻胶受到光阻原料的污染,导致上万片12吋晶圆报废
2023-11-27 17:15:48550

万润股份在半导体制造材料领域稳步推进,涉足光刻胶单体、PI等业务

近期,万润股份在接受机构调研时透露,其“年产65吨半导体用光刻胶树脂系列”项目已经顺利投入运营。该项目旨在为客户提供专业的半导体用光刻胶树脂类材料。
2023-12-12 14:02:58329

光刻胶价格上涨,韩国半导体公司压力增大

光刻胶类别的多样化,此次涨价案所涉KrF光刻胶属于高阶防护用品,也是未来各地厂家的竞争焦点。当前市场中,光刻胶主要由东京大贺工业、杜邦、JSR、信越化学、住友化学及东进半导体等大型制造商掌控。
2023-12-14 15:20:36409

光刻胶分类与市场结构

光刻胶主要下游应用包括:显示屏制造、印刷电路板生产、半导体制造等,其中显示屏是光刻胶最大的下游应用,占比30%。光刻胶半导体制造应用占比24%,是第三达应用场景。
2024-01-03 18:12:21346

2023年中国光刻胶行业市场前景及投资研究报告

光刻胶又称光致抗蚀剂,是指通过紫外光、电子束、离子束、X射线等的照射或辐射,其溶解度发生变化的耐蚀剂刻薄膜材料,是半导体制造中使用的核心电子材料之一。伴随着晶圆制造规模持续提升,中国有望承接半导体
2024-01-19 08:31:24340

光刻胶光刻机的区别

光刻胶是一种涂覆在半导体器件表面的特殊液体材料,可以通过光刻机上的模板或掩模来进行曝光。
2024-03-04 17:19:18402

已全部加载完成