根据ASML财报显示， 2018年Q4季EUV光刻机设备完成5台交付，全年EUV光刻机设备总销量达到18台，并计划2019年将完成30台的交付量。 图1：ASML 2014~2018财年营收对照分析
2019-01-25 14:50:50
10824 针对近几日多家媒体报道的有关ASML公司对中芯国际订购的EUV光刻机设备有意延迟的推测。二家公司今日均发表内容回应。 ASML回应如下： 关于日经新闻（NIKKEI）昨日报导，其标题和内容呈现造成
2019-11-08 01:24:004924 ，相比上一代产品，新款EUV光刻机生产效率将提升18%，曝光速度为30mj/cm，每小时可处理160片晶圆。 有意思的是，在2019年的年报中，ASML便提到正在研发新一代EUV光刻机的计划，不过并未透露具体型号，只是披露将在2022年初计划出货，2024年后大规模生产。而此次所公布的EUV光刻机如
2020-10-17 05:02:003456 极紫外 (EUV) 光刻系统是当今使用的最先进的光刻系统。本文将介绍这项重要但复杂的技术。
2023-06-06 11:23:54688 
他们正在研发下一代极紫外光刻机的，计划在2022年年初开始出货，2024/2025年大规模生产。 在EUV光刻机方面，荷兰ASML（阿斯麦）公司垄断了目前的EUV光刻机，去年出货26台，创造了新纪录。据报道，ASML公司正在研发新一代EUV光刻机，预计在2022年开始出货。根据
2020-03-18 09:16:392659 根据最新数据显示，ASML在12月中完成了第100台EUV光刻机的出货。更加利好的消息是，业内预估ASML今年（2021年）的EUV光刻机产能将达到45~50台的规模。
2021-01-03 00:28:004735 ，我国因为贸易条约被迟迟卡住不放行的也是一台EUV光刻机。 但EUV光刻机的面世靠的不仅仅是ASML一家的努力，还有蔡司和TRUMPF（通快）两家欧洲光学巨头的合作才得以成功。他们的技术分别为EUV光刻机的镜头和光源做出了不小的贡献，也让欧洲成了唯一
2021-12-01 10:07:4110988 光刻机。然而在庞大的光刻机中，由于包含了生成光、投射光的过程，同时又要精细控制光线，自然也就需要一套复杂无比的光学系统。 EUV 光学系统唯一指定供应商——蔡司 提到蔡司这个名号大家都不陌生了，小到眼镜镜片，大到医学显
2023-07-14 09:09:031690 
ofweek电子工程网讯 国际半导体制造龙头三星、台积电先后宣布将于2018年量产7纳米晶圆制造工艺。这一消息使得业界对半导体制造的关键设备之一极紫外光刻机（EUV）的关注度大幅提升。此后又有媒体
2017-11-14 16:24:44
是0.33，大家可能还记得之前有过一个新闻，就是ASML投入20亿美元入股卡尔·蔡司公司，双方将合作研发新的EUV光刻机，许多人不知道EUV光刻机跟蔡司有什么关系，现在应该明白了，ASML跟蔡司合作
2020-07-07 14:22:55
你们好！我是卡尔蔡司提供测量服务中心 ，专业提供快速准确测量报告。我们测量设备比较多，三次元 光电 ct检测分析等等·····但对于比较复杂，比较小产品 电子方面的分析与测量，我们都采用3D计算机
2010-07-10 17:29:24
蔡司合作超过三十多年。卡尔蔡司是ASML透镜，反射镜，照明器，收集器和其他关键光学元件（即光学元件）的唯一供应商。ASML与卡尔蔡司成了独家协议，如果卡尔蔡司无法维持和提高生产水平，ASML可能无法
2023-03-21 15:57:28
据羊城晚报报道，近日中芯国际从荷兰进口的一台大型光刻机，顺利通过深圳出口加工区场站两道闸口进入厂区，中芯国际发表公告称该光刻机并非此前盛传的EUV光刻机，主要用于企业复工复产后的生产线扩容。我们知道
2021-07-29 09:36:46
进入10nm工艺节点之后，EUV光刻机越来越重要，全球能产EUV光刻机的就是荷兰ASML公司了，他们总共卖出18台EUV光刻机，总价值超过20亿欧元，折合每套系统售价超过1亿欧元，可谓价值连城。
2017-01-19 18:22:593470 光刻机，是半导体芯片生产中最重要的设备之一，荷兰ASML公司已经成为全球光刻机市场的一哥，垄断了高端光科技生产，在EUV光刻机领域更是独一份。
2018-07-19 16:52:002940 台积电前不久试产了7nm EUV工艺，预计明年大规模量产，三星今天宣布量产7nm EUV工艺，这意味着EUV工艺就要正式商业化了，而全球最大的光刻机公司荷兰ASML为这一天可是拼了20多年。
2018-10-19 10:49:293306 达到理想状态，EUV工艺还有很长的路要走。在现有的EUV之外，ASML与IMEC比利时微电子中心还达成了新的合作协议，双方将共同研发新一代EUV光刻机，NA数值孔径从现有的0.33提高到0.5，可以进一步提升光刻工艺的微缩水平，制造出更小的晶体管。
2018-10-30 16:28:403376 阔的晶圆上从而提高半导体工艺分辨率，减少晶体管尺寸。 如今这项研究才刚刚开始，所以新一代EUV光刻工艺问世时间还早，此前ASML投资20亿美元入股蔡司公司，目标就是合作研发NA=0.5的物镜系统，之前公布的量产
2018-11-02 10:14:19834 ASML的副总裁Anthony Yen日前表示，他们已经开始研发下一代光刻机。他表示，在他们公司看来，一旦现有的系统到达了极限，他们有必要去继续推动新一代产品的发展，进而推动芯片的微缩。
2018-12-09 09:12:215632 ASML副总裁Anthony Yen表示，ASML已开始开发极紫外（EUV）光刻机，其公司认为，一旦当今的系统达到它们的极限，就将需要使用极紫外光刻机来继续缩小硅芯片的特征尺寸。
2018-12-09 10:35:077142 在2年前尼康向ASML以及其合作伙伴蔡司发起法律诉讼，指二者在未经尼康允许将微影技术用于旗下光刻机，扯皮两年多后，三方总算达成和解。
2019-01-24 15:58:024630 就在日前，半导体设备大厂荷兰商艾司摩尔 （ASML） 在财报会议上表示，2019 年 ASML 将把极紫外光刻机 （EUV） 的年出货量从 18 台，提升到30 台之后，现有外国媒体报导，晶圆代工
2019-02-13 16:53:038511 荷兰半导体设备大厂商ASML在财报会议上表示，外媒报导，晶圆代工龙头台积电增加订单，ASML的2019的出货量从18台提高到30台，而台积电将抢下这30台EUV中的18台，超越半数。
2019-02-21 14:23:113013 由于三星去年就小规模投产了7nm EUV，同时ASML（荷兰阿斯麦）将EUV光刻机的年出货量从18台提升到今年的预计30台，显然促使台积电不得不加快脚步。
2019-04-30 17:30:037913 ASML将中断EUV Pellicle（光罩防尘薄膜）技术的研发，并将该技术转让与日本。
2019-06-09 14:51:003761 2016年，ASML公司宣布斥资20亿美元收购德国蔡司公司25%的股份，并投资数亿美元合作研发新一代透镜，而ASML这么大手笔投资光学镜头公司就是为了研发新一代EUV光刻机。
2019-07-13 09:40:165058 掌握全球唯一EUV光刻机研发、生产的荷兰ASML（阿斯麦）公司今天发布了2019年Q2季度财报，当季营收25.68亿欧元，其中净设备销售额18.51亿欧元，总计出货了41台光刻机，其中EUV光刻机7台。
2019-07-18 16:02:003147 
掌握全球唯一EUV光刻机研发、生产的荷兰ASML（阿斯麦）公司今天发布了2019年Q2季度财报，当季营收25.68亿欧元，其中净设备销售额18.51亿欧元，总计出货了41台光刻机，其中EUV光刻机7台。
2019-07-23 10:47:213102 
据韩媒报道称，ASML正积极投资研发下一代EUV光刻机，与现有光刻机相比，二代EUV光刻机最大的变化就是High NA透镜，通过提升透镜规格使得新一代光刻机的微缩分辨率、套准精度两大光刻机核心指标提升70%，达到业界对几何式芯片微缩的要求。
2019-08-07 11:24:395849 在半导体工艺进入 10nm 节点之后，制造越来越困难，其中最复杂的一步——光刻需要用到 EUV 光刻机了，而后者目前只有荷兰 ASML 阿斯麦公司才能供应。
2019-12-10 16:04:287122 2月28日，美国泛林公司宣布与ASML阿斯麦、IMEC比利时微电子中心合作开发了新的EUV光刻技术，不仅提高了EUV光刻的良率、分辨率及产能，还将光刻胶的用量最多降至原来的1/10，大幅降低了成本。
2020-02-29 11:20:583228 在EUV光刻机方面，荷兰ASML（阿斯麦）公司垄断了目前的EUV光刻机，去年出货26台，创造了新纪录。据报道，ASML公司正在研发新一代EUV光刻机，预计在2022年开始出货。
2020-03-17 09:13:482863 在EUV光刻机方面，荷兰ASML（阿斯麦）公司垄断了目前的EUV光刻机，去年出货26台，创造了新纪录。据报道，ASML公司正在研发新一代EUV光刻机，预计在2022年开始出货。
2020-03-17 09:21:194670 近日，荷兰光刻机巨头阿斯麦（ASML）公司2019年的年报中披露了关于下一代EUV极紫光刻机的研发进程，预计2022年年初开始出货，2024年实现大规模生产。
2020-03-17 15:25:593120 与此同时， 他指出，EUV继续为ASML的客户提高产量，迄今为止，他们的客户已经使用EUV光刻机曝光了超过1100万个EUV晶圆，并交付了57个3400x EUV系统（3400平台是EUV生产平台）。
2020-08-14 11:20:552048 
了公司研究概况，他强调通过与ASML公司紧密合作，将下一代高分辨率EUV光刻技术高NA EUV光刻技术商业化。IMEC公司强调，将继续把工艺规模缩小到1nm及以下。 包括日本在内的许多半导体公司相继退出了工艺小型化，声称摩尔定律已经走到了尽头，或者说成本太高，无利可图。
2020-12-02 16:28:53806 ，当季ASML共获得60台光刻机的销售收入，总额31亿欧元，其中EUV光刻机14台，但收入占比达到了66%。 地区方面
2020-10-16 14:27:463951 ASML的EUV光刻机是目前全球唯一可以满足22nm以下制程芯片生产的设备，其中10nm及以下的芯片制造，EUV光刻机必不可缺。一台EUV光刻机的售价为1.48亿欧元，折合人民币高达11.74亿元
2020-10-19 12:02:499648 
台积电是第一家将EUV（极紫外）光刻工艺商用到晶圆代工的企业，目前投产的工艺包括N7+、N6和N5三代。
2020-10-22 14:48:561425 根据韩国媒体《BusinessKorea》的报道，日前三星电子副董事长李在镕前往荷兰拜访光刻机大厂ASML，其目的就是希望ASML的高层能答应提早交付三星已经同意购买的极紫外光光刻设备（EUV）。
2020-10-24 09:37:302866 日前三星电子副董事长李在镕前往荷兰拜访光刻机大厂ASML，其目的就是希望ASML 的高层能答应提早交付三星已经同意购买的极紫外光光刻设备（EUV）。
2020-10-24 09:39:061509 据韩媒报道，三星副董事长李在镕在访问荷兰期间，在会议上要求ASML在一个月内交付三星已购买的9台EUV光刻设备。 报道称，ASML正在审查三星的要求，这部分EUV设备最早可于11月运往韩国。 据悉
2020-10-30 14:13:081269 11月5日，世界光刻机巨头荷兰阿斯麦ASML亮相第三届进博会。作为全球唯一能生产EUV（极紫外光）光刻机的企业，由于ASML目前仍不能向中国出口EUV光刻机，所以此次展示的是其DUV（深紫外光）光刻机。据悉，该产品可生产7nm及以上制程芯片。
2020-11-06 11:27:465517 作为半导体制造中的核心设备，光刻机无疑是芯片产业皇冠上的明珠，特别是先进工艺的光刻机，7nm以下的都要依赖ASML公司，EUV光刻机他们还是独一份。
2020-11-09 17:11:382195 ASML在光刻机领域几乎是巨无霸的存在，而他们对于与中国企业合作也是非常欢迎，无奈一些关键细节上被美国卡死。 中国需要光刻机，尤其是支持先进制程的高端光刻机，特别是 EUV （极紫外光源）光刻
2020-11-10 10:08:043056 中国需要光刻机，尤其是支持先进制程的高端光刻机。具体来说，就是 EUV （极紫外光源）光刻机。
2020-11-11 10:13:304278 
龙头。 而在上世纪80年代，ASML只是飞利浦和ASM合资的一家小公司。但伴随着半导体行业风云变化，短短二十年时间，ASML就将昔日光刻机大国美国和日本拉下神坛。如今，全球7nm及以下工艺的EUV光刻机，只有它能提供。那么，ASML在光刻机领域快
2020-11-13 09:28:515165 在半导体工艺进入7nm之后，EUV光刻机就成为兵家必备大杀器了，全球也只有ASML公司能生产，单价达到10亿人民币一台。不过在EUV技术上，ASML还真不一定就是第一，专利比三星还少。
2020-11-17 10:25:182211 本月中旬，在日本东京举办了ITF论坛。 论坛上，与ASML（阿斯麦）合作研发光刻机的比利时半导体研究机构IMEC公布了3nm及以下制程的在微缩层面技术细节。 至少就目前而言，ASML对于3m、2nm
2020-11-30 15:47:402520 而由其所研发生产的EUV光刻机更是在高端市场之中处于一家独大的位置。台积电作为ASML的股东很轻松就能够获得ASML的EUV光刻机，所以这边导致台积电一直以来在技术上领先于三星。当然能够在5纳米等工艺方面保持领先的地位，也是因为这个原因。
2020-12-01 12:03:152339 该报道称，包括CEO Peter Burnink在内的ASML高管于上周访问了三星的半导体工厂，讨论了在EUV光刻机供应和开发方面的合作。
2020-12-01 14:13:321984 工厂，讨论了在EUV光刻设备供应和开发方面的合作。ASML官员与三星电子副董事长金基南及其他三星重要高管进行了会谈。三星电子副会长李在镕没有参加会议。 业内人士认为，三星电子要求供应更多EUV光刻设备，并讨论了两家公司在开发下一代EUV光刻设备方面的合作。 IT之家获悉，三
2020-12-02 10:06:101454 据中国台湾经济日报报道，EUV 光刻机制造商 ASML 首席执行官 Peter Wennink 带领高管拜访三星，双方寻求技术与投资合作。三星希望能抢在台积电之前，取得 ASML 下一代 EUV
2020-12-02 11:16:571536 只有荷兰光刻机巨头ASML能造，对此也有很多网友们感觉到非常疑惑，为何只有荷兰ASML可以造顶尖EUV光刻机设备呢？像我国的上海微电子、日本的索尼、佳能都造不出来吗？
2020-12-03 13:46:226379 需要明白的是，EUV光刻机不是有钱就能买，因为ASML每年的产能非常有限，2019年全年才出货了26台，今年上半年出货了13台，截至三季度结束累计才出货23台。
2020-12-11 13:56:202186 据报道，业内观察人士称，在新任副董事长蒋尚义的帮助下，中国芯片巨头中芯国际将寻求与荷兰半导体设备公司阿斯麦（ASML）就 EUV 光刻设备进行谈判。 报道称，中芯国际一直难以从阿斯麦获得 EUV
2020-12-19 09:23:002445 据报道，业内观察人士称，在新任副董事长蒋尚义的帮助下，中国芯片巨头中芯国际将寻求与荷兰半导体设备公司阿斯麦（ASML）就EUV光刻设备进行谈判。
2020-12-19 10:40:041630 荷兰阿斯麦公司作为掌握光刻机系统集成和整体架构的核心企业，自然成了欧美自家的小棉袄，顺利赶上了欧美EUV技术研究发展的风口，投资德国卡尔蔡司，收购美国Cymer光源。集成世界各国顶尖科技的EUV
2020-12-28 09:25:5518165 之前有消息称，台积电正在筹集更多的资金，为的是向ASML购买更多更先进制程的EUV光刻机，而这些都是为了新制程做准备。
2020-12-29 09:22:482192 Luc Van den hove表示，IMEC的目标是将下一代高分辨率EUV光刻技术高NA EUV光刻技术商业化。由于此前得光刻机竞争对手早已经陆续退出市场，目前ASML把握着全球主要的先进光刻机产能，近年来，IMEC一直在与ASML研究新的EUV光刻机，目前目标是将工艺规模缩小到1nm及以下。
2020-12-30 09:23:481673 半导体晶圆代工成为全球科技竞争的焦点，先进制程的角逐竞争日趋激烈，ASML的EUV光刻机供应成为产业界关心的话题。2021年台积电和三星将需要ASML供应多少台EUV光刻机？台湾和日本产
2020-12-30 17:53:354016 
荷兰ASML生产的EUV光刻机使用由激光产生，并通过巨型镜子聚焦的极紫外（EUV）光束，在硅片上铺设非常狭窄的电路。这能让厂商制造更快、更强大的微处理器、内存芯片和其他先进元件。这些元件无论是对消费类电子产品，还是对军事应用来说都至关重要。
2021-01-08 10:25:322858 而2018年中芯与ASML签订了一项EUV光刻机购买协议，以1.2亿美元购买一台光刻机，但直到现在都没有交货，因为没有拿到出口许可证。
2021-01-08 11:37:512368 近期三星为争抢EUV设备，高层频频传出密访ASML，EUV的重要性早已不言而喻。提到EUV，大家首先想到的就是ASML，ASML并不是一个家喻户晓的名字，但他却是现代技术的关键。因为它提供了制造半导体必不可少的“光刻”机器，在摩尔定律即将发展到尽头的现在，可以说，得EUV者得先进工艺。
2021-01-16 10:32:574386 目前，还有ASML有能力生产最先进的EUV光刻机，三星、台积电都是ASML的客户。但受《瓦森纳协定》的制约，中国大陆没有从ASML买来一台EUV光刻机。
2021-01-21 08:56:184078 在四季度财报会议上，荷兰ASML（阿斯麦）表示，预计今年将出货交付40台EUV光刻机，比去年多9台。 CEO Peter Wennink估算今年EUV光刻机系统的销售收入在58亿欧元左右。四季度
2021-01-21 15:30:221874 在四季度财报会议上，荷兰ASML（阿斯麦）表示，预计今年将出货交付40台EUV光刻机，比去年多9台。
2021-01-21 15:16:431369 %，净利润达到36亿欧元。全球光刻机主要玩家有ASML、尼康和佳能三家，他们占到了全球市场90%。 ASML由于技术领先，一家垄断了第五代光刻机EUV光刻机，这类光刻机用于制造7nm以下先进制程的芯片。 2020年ASML对外销售了31台EUV光刻机，带来了45亿欧元（折合352.52亿
2021-01-22 10:38:164677 
量产是2024-2025年间。 ASML的EUV光刻机目前主要是NEX:3400B/C系列，NA数值孔径是0.33，下一代EUV光刻
2021-01-22 17:55:242639 2020年ASML对外销售了31台EUV光刻机，带来了45亿欧元（折合352.52亿元）的收入，占全年销售额的32.14%。每台折合11.37亿元的EUV是一个庞然巨物，其利润率近50%，也就是每一台贡献的利润近6亿元。
2021-01-27 09:37:092423 
ASML是光刻机领域当之无愧的巨头，独占100%的EUV光刻机市场。而在半导体检测设备市场中，ASML也有布局。
2021-02-20 15:34:563200 机。 据报道，SK海力士与ASML公司签订了一个超级大单，未来5年内将斥资4.8万亿韩元，约合43.4亿美元购买EUV光刻机。 SK海力士在一份监管文件中称，这笔交易是为了实现下一代工艺芯片量产的目标。 ASML及SK海力士都没有透露这么多资金到底购买了多少台EUV光刻机，不过从之
2021-02-25 09:30:232047 一提起ASML这家公司，就少不了对光刻机问题的讨论，因为截至目前，ASML仍然是全球最领先的光刻机厂商。普通的DUV光刻机就不多说了，ASML每年都能卖出去很多台，而在更先进的EUV光刻机方面，ASML更是占据了绝对垄断的地位。
2021-02-27 09:59:4214073 三星一方面在积极向唯一的EUV光刻机厂商ASML争取订单，另外一方面也在增资为EUV产业链输血。
2021-03-04 09:52:411757 三星一方面在积极向唯一的EUV光刻机厂商ASML争取订单，另外一方面也在增资为EUV产业链输血。
2021-03-04 10:13:051665 ASML澄清：中芯国际批量购买光刻机，仅限DUV！近日，中芯国际与ASML达成12亿美元交易购买晶圆生产设备的消息引发关注。针对双方此次合作，有媒体报道称“除了 EUV 光刻机，中芯国际几乎可以买到
2021-03-14 09:21:343916 5nm光刻技术与ASML光刻机有何区别？ EUV光刻机产能如何？ 大飞_6g（听友） 请问谢博士，EUV光刻机的产能是怎样的？比如用最先进的光刻机，满负荷生产手机芯片麒麟990，每天能产多少片？中芯国际有多少台投入生产的光刻机？是1台、5台还是10台呢？谢谢 谢志
2021-03-14 09:46:3023476 近日，中芯国际与ASML达成12亿美元交易购买晶圆生产设备的消息引发关注。针对双方此次合作，有媒体报道称“除了 EUV 光刻机，中芯国际几乎可以买到其他所有型号的光刻机。”但是这一说法很快被ASML官方澄清，该协议与DUV光刻技术的现有协议相关。
2021-03-15 09:30:162471 日前，ASML产品营销总监Mike Lercel向媒体分享了EUV（极紫外）光刻机的最新进展。
2021-03-19 09:39:404630 第二代EUV光刻机原本预计最快可以2023年问世，但最新传闻称NXE:5000系列跳票，而且一下子就跳票三年，要到2025-2026年才有可能问世了。 要知道，ASML是全球唯一一家量产EUV光刻
2021-06-26 16:55:281203 7nm之下不可或缺的制造设备，我国因为贸易条约被迟迟卡住不放行的也是一台EUV光刻机。 但EUV光刻机的面世靠的不仅仅是ASML一家的努力，还有蔡司和TRUMPF（通快）两家欧洲光学巨头的合作才得以成功。他们的技术分别为EUV光刻机的镜头和光源做出了不
2021-12-07 14:01:1010742 媒体称三星的目的是为了抢到ASML的EUV光刻机。 目前芯片短缺的现状大家也都清楚，再加上7nm制程以下的高端芯片只有EUV光刻机才能打造，而本来EUV光刻机就稀少，因此先进芯片发展频频受限，并且前段时间三星才刚刚和Intel洽谈完芯片合作的事宜，因
2022-06-07 14:18:041176 日前，在台积电召开的会议上，有一名高管称台积电将于2024年引进ASML正在研发的最新的High-NA EUV光刻机。 会议中，该高管称：为了满足客户所需的相关基础设施的开发等，台积电将于2024
2022-06-17 16:33:276499 2nm制程的量产。 目前市面上最先进的是EUV光刻机，而其能够支持制造的先进制程工艺最高为3nm，也就是说，再往后的2nm等工艺就要用更加先进的光刻机来完成。 ASML为此正在研发一种特别的EUV光刻机——High-NA EUV光刻机。这种光刻机所采用的技术能够
2022-06-22 14:44:161183 3nm制程，据了解，更加先进的制程就需要更先进的光刻机来完成了。 光刻机厂商ASML为此正在研发新一代High NA EUV光刻机，这种EUV光刻机的NA数值孔径比现在0.33口径的EUV光刻机还要高，达到了0.55口径，也就是说High NA EUV光刻机的分辨率更高，能
2022-06-28 15:07:126676 光刻机是芯片制造的核心设备之一。目前世界上最先进的光刻机是荷兰ASML的EUV光刻机。
2022-07-06 11:03:077000 如今世界最先进的EUV光刻机，只有asml一家公司可以制造出来。
2022-07-06 11:19:3850686 EUV光刻机是在2018年开始出现，并在2019年开始大量交付，而台积电也是在2019年推出了7nm EUV工艺。
2022-07-07 09:48:444523 ASML的极紫外光刻机（EUV），这个是当前世界顶级的光刻机设备。 在芯片加工的时候，光刻机是用一系列光源能量和形状控制手段，通过带有电路图的掩模传输光束。 光刻设备涉及系统集成、精密光学、精密运动、精密材料传输、高精度微环境控制等多项先
2022-07-10 11:17:4242766 机可以生产出纳米尺寸更小、功能更强大的芯片。 小于5 nm的芯片晶片只能由EUV光刻机生产。 EUV光刻机有光源系统、光学镜头、双工作台系统三大核心技术。 目前，最先进的光刻机是荷兰ASML公司的EUV光刻机。预计在光路系统的帮助下，能
2022-07-10 14:35:066173 目前，光刻机主要分为EUV光刻机和DUV光刻机。DUV是深紫外线，EUV是非常深的紫外线。DUV使用的是极紫外光刻技术，EUV使用的是深紫外光刻技术。EUV为先进工艺芯片光刻的发展方向。那么duv
2022-07-10 14:53:1078127 光刻机的原理是接近或接触光刻，通过无限接近，将图案复制到掩模上。直写光刻是将光束聚焦到一个点上，通过移动工作台或透镜扫描实现任意图形处理。投影光刻是集成电路的主流光刻技术，具有效率高、无损伤等优点。 EUV光刻机有光源系统、光学镜头、双工
2022-07-10 15:28:1015099 与此同时，在ASML看来，下一代高NA EUV光刻机为光刻胶再度带来了挑战，更少的随机效应、更高的分辨率和更薄的厚度。首先传统的正胶和负胶肯定是没法用了，DUV光刻机上常用的化学放大光刻胶（CAR）也开始在5nm之后的分辨率和敏感度上出现瓶颈
2022-07-22 10:40:082010 对于3nm后的节点，ASML及其合作伙伴正在研究一种全新的EUV工具——Twinscan EXE:5000系列，具有0.55 NA(High-NA)透镜，能够达到8nm分辨率，可以避免3nm及以上的多图案。
2022-08-17 15:44:041910 asml是euv技术开发的领先者。asml公司是半导体领域光刻机生产企业的领头羊，也是全球市场占有率最大的光刻机生产企业。2012年，asml推出了世界上第一个euv试制品，并于2016年推出了euv第一个商用显卡制造机asmlnxe:3400b。
2023-06-08 09:37:553202 报道称，ASML 量产尖端半导体工艺所需的 EUV 光刻机。Rapidus 计划利用经产省提供的补贴，采购 EUV 光刻设备。IT之家注意到，EUV 光刻机在全球范围内较为短缺，面临着台积电、英特尔、三星等巨头的争抢。报道指出，如果 Rapidus 和 ASML 展开合作，有望强化供应链。
2023-06-27 16:08:05499 
EUV曝光是先进制程芯片制造中最重要的部分，占据总时间、总成本的一半以上。由于这种光刻机极为复杂，因此ASML每年只能制造约60台，而全球5家芯片制造商都依赖ASML的EUV光刻机，包括英特尔、美光、三星、SK海力士、台积电。目前，AMSL约有70%的EUV光刻机被台积电购买。
2023-11-22 16:46:56383 根据资料显示，在2012年，为了支持ASML EUV光刻机的研发与商用，并获得EUV光刻机的优先供应，在2012年，英特尔、台积电、三星均斥资入股了ASML。2012年7月，英特尔入股ASML获得15%股权，并出资10亿美元支持研发。
2024-02-23 17:27:59562 ASML 官网尚未上线 Twinscan NXE:3800E 的信息页面。 除了正在研发的 High-NA EUV 光刻机 Twinscan EXE 系列，ASML 也为其 NXE 系列传统数值孔径
2024-03-14 08:42:349 
电子发烧友App
工商网监
评论