解读ASML澄清中芯国际购买协议事件和EUV与DUV的差异性

近日，中芯国际与ASML达成12亿美元交易购买晶圆生产设备的消息引发关注。针对双方此次合作，有媒体报道称“除了 EUV 光刻机，中芯国际几乎可以买到其他所有型号的光刻机。”但是这一说法很快被ASML官方澄清，该协议与DUV光刻技术的现有协议相关。

可能很多网友看到这里有点蒙圈，这绕来绕去的到底是玩的什么文字游戏。这里先进行一个小科普，EUV和DUV到底有啥区别呢？EUV也就是“极深紫外线”的意思，而DUV是“深紫外线”的意思，通过字面就知道EUV看上去就比DUV高级，实际上也是如此。

ASML澄清与中芯国际交易细节

一般来讲，DUV基本上只能做到25nm，Intel凭借双工作台的模式做到了10nm，但是却无法达到10nm以下。只有EUV能满足10nm以下的晶圆制造，并且还可以向5nm、3nm继续延伸。事实上EUV光刻机的出现，确实是帮助业界突破7nm制程的一个关键。

当年不是传说已经翻车的武汉弘芯曾经拥有也是国内唯一一台可以用于生产7nm芯片的EUV光刻机嘛，但还没启用就拉去银行抵押贷款了。这一事件曾经一度引起业界轰动，并作为人们茶余饭后的谈资流传至今，由此可见7nm EUV光刻机是多么关键的存在。

ASML EUV光刻机

好了，回到正题。关于中芯国际和ASML双方的声明，到底该如何理解呢？愚钝的小编思考了半天，大致理解为他们说的其实是“除了EUV都能”和“仅限现有DUV”的区别，乍看之下再联想到目前的现状这两者其实没什么区别，但是ASML的说法更严谨一些。

因为如果未来技术更先进了，又出来一个“FUV”光刻机呢，那“除了EUV都可以”的说法是存在漏洞的。或者ASML技术爆发了，通过DUV技术就做到了1nm先进工艺，所以ASML非常严谨的设立定了两个限制条件：“该协议与DUV光刻技术的现有协议相关。”

中芯国际采购的是DUV光刻机

好了，以上就是ASML澄清中芯国际购买协议事件的解读，您弄懂他们之间的差异了吗？
编辑：lyn