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EUV光刻机还能卖给中国吗?

工程师 来源:中国证券报、新智元 作者:中国证券报、新智 2020-10-19 12:02 次阅读

ASML的EUV光刻机是目前全球唯一可以满足22nm以下制程芯片生产的设备,其中10nm及以下的芯片制造,EUV光刻机必不可缺。一台EUV光刻机的售价为1.48亿欧元,折合人民币高达11.74亿元。媒体称,台积电采购的EUV光刻机已经超过30台,三星累计采购的EUV光刻机不到20台。

围绕芯片制造要用到的关键设备——光刻机,一直不缺话题

比如,一台EUV光刻机卖多少钱?谁买走了这些EUV光刻机?大陆厂商还能买到光刻机吗?为何三星高管最近跑去荷兰拜访ASML总部?

上面这几个问题,其实可以在ASML和台积电最新发布的三季报及业绩说明会中找到部分答案。两家公司的地位无需多言,前者是全球顶级光刻机龙头,后者是全球芯片制造龙头。

关于售价,ASML总裁兼首席执行官彼得·韦尼克(Peter Wennink)10月14日介绍公司三季度业绩情况时间接给出了答案。他表示,“我们第三季度的新增订单达到29亿欧元,其中5.95亿欧元来自4台EUV设备。”简单换算一下,一台EUV光刻机的售价为1.48亿欧元,折合人民币高达11.74亿元。

图片来源:ASML官网

这是什么概念?2019年,A股还有1462家上市公司的营业收入低于11.74亿元。换句话说,ASML每年卖一台EUV光刻机,收入就可完胜A股的1/3公司。

售价这么高,ASML根本不愁买家,公司愁的是产能跟不上需求。

ASML的EUV光刻机是目前全球唯一可以满足22nm以下制程芯片生产的设备,其中10nm及以下的芯片制造,EUV光刻机必不可缺。

据了解,EUV光刻机不需要多重曝光,一次就能曝出想要的精细图形,没有超纯水和晶圆接触,在产品生产周期、光学邻近效应矫正的复杂程度、工艺控制、良率等方面都有明显优势。

ASML的EUV光刻机也在推陈出新。公司10月14日还公布了EUV路线图上的新机型TWINSCANNXE:3600D的最终规格,曝光速度达到每小时曝光160片晶圆,提高了18%的生产效率,计划于2021年的中期开始发货。

芯片大厂争购

ASML的EUV光刻机在2016年正式上市,主要供应给英特尔、台积电和三星这三家大客户。其EUV光刻机出货量一直在增加,从2016年的5台上升到2019年的26台。

目前,台积电已将可量产的工艺推到5nm,大幅领先英特尔和三星;同时,按照计划,公司3nm工艺将在明年试产,2022年下半年正式量产。重要的是,客户对其7nm工艺和5nm工艺的需求十分强劲,这两项工艺的收入占比在三季度已达43%。因此,台积电对EUV光刻机的需求无疑也是最强劲的。

图片来源:台积电三季报

近期有媒体报道,由于先进工艺推进顺利和订单扩大,台积电将加大EUV光刻机的采购力度,预计到2021年底采购量至55台左右。台积电方面回复中国证券报记者采访时表示,公司不评论市场传闻。前述媒体援引半导体供应链消息称,台积电采购的EUV光刻机已经超过30台,三星累计采购的EUV光刻机不到20台。

在ASML发布2020年第三季度财报当天,首席财务官罗杰·达森(Roger Dassen)接受视频采访时被问及美国的半导体出口禁令对ASML的业务有何种影响,达森回应称,他们注意到了美方的禁令,也意识到了禁令对中国客户的影响。

随后达森对ASML的光刻机出口问题作出了解释,他说:“如果要解释一下美国的规定对ASML有什么影响的话,对于的中国客户,我们还是可以直接从荷兰向他们出口DUV光刻机,无需任何出口许可。”

但他随后也补充称,如果相关系统或零件是从美国出口的,那这些设备仍然需要得到美方的许可。

达森表示,ASML将尽最大努力,尽可能为所有客户继续提供服务和支持。

根据公开的财报电话会议录音,韦尼克也在会议上确认了这一点。韦尼克称,根据当前美国的规定,直接从荷兰向中国出口的DUV光刻机不受影响。

但达森和韦尼克都强调的是DUV光刻机出口,并未提到更先进的EUV(极紫外)光刻机。彭博社14日在报道中也强调,DUV的规则不适用于EUV光刻机。ASML必须获得许可证才有可能向中国企业出口EUV光刻机。但荷兰政府已经暂缓了EUV光刻机出口许可,一直到现在都没有批准。

“尽管被夹在中美之间,ASML仍积极努力”,彭博社报道截图

EUV光刻机和DUV光刻机有什么不同?

中低端与高端的区别。

根据曝光源的不同,光刻机分为EUV型(极深紫外线)、DUV型(深紫外线)。从制程范围来看,DUV基本上只能做到25nm,而EUV能满足10nm以下的晶圆制造需求。

有网友对此消息表示:DUV光刻机是二等品,自然不用受限。

EUV光刻机则是实现7nm的关键设备,如果中国大陆无法引入ASML的EUV光刻机,则意味着大陆将止步于7nm工艺。

目前中芯国际订购了一台EUV。价格贵,但不是只买一台的唯一原因,而是买多了,现在真用不上。

有微电子博士解析,就这一台,还是着眼于两三代技术节点之后的产品研发(14nm -》10nm -》 7nm -》 5nm)。必须要用EUV的,是5nm以及以下,直到7nm,DUV都够用。

三星,英特尔和台积电疯抢EUV,是因为他们目前就要用。三星和台积电都已经开始攻坚3nm了。而中芯国际,在logic device领域,确实还是第二梯队的,下一代和下下代研发,都不是非EUV不可,DUV完全够用。需要多沉下心来多琢磨光刻工艺。

根据ASML发布的财报,2020年第三季度ASML光刻机净销售额达31亿欧元,中国大陆市场的营收占到21%。第三季度ASML总计净销售额达到约40亿欧元,净收入近11亿欧元。值得一提的是,EUV光刻机的收入占比极高,贡献了66%的光刻机销售额。

今年5月,ASML与无锡高新区签署了战略合作协议,在无锡高新区内扩建升级阿斯麦光刻设备技术服务(无锡)基地。此前,ASML已在北京、上海、深圳、无锡等地开设分公司,为客户提供服务和咨询,其中深圳是其在亚洲最大的软件研发中心

ASML垄断着全球光刻机市场,但核心资本仍握在美国手里。所以,虽然消息是好消息,但现实情况可能是,DUV可解燃眉之急,自研之路仍要走。

来源:中国证券报、新智元

责任编辑:haq

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