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duv光刻机和euv光刻机区别是什么

璟琰乀 来源:php中文网、科创板日报、 作者:php中文网、科创板 2022-07-10 14:53 次阅读

目前,光刻机主要分为EUV光刻机和DUV光刻机。DUV是深紫外线,EUV是非常深的紫外线。DUV使用的是极紫外光刻技术,EUV使用的是深紫外光刻技术。EUV为先进工艺芯片光刻的发展方向。那么duv光刻机和euv光刻机区别是是什么呢?

duv光刻机和euv光刻机区别

1.基本上duv只能做到25nm,而euv能够做到10nm以下晶圆的生产。

2. duv主要使用的是光的折射原理,而euv使用的光的反射原理,内部必须是真空操作。

以上就是duv光刻机和euv光刻机区别了,现在基本都是euv光刻机。

文章综合php中文网、科创板日报、百度百科

编辑:何安

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