ASML公布新一代EUV光刻机

荷兰ASML（阿斯麦）公布了截止9月30日的三季度财报数据。

当季销售收入为40亿欧元，净利润高达11亿欧元（约合87亿元人民币）。2020年前三季度，ASML总共实现净销售额97.24亿欧元，较去年同期77.83亿欧元提高近25%；净利润22.03亿欧元同样大幅提升51%

ASML预估四季度的收入在36到38亿欧元，毛利率50%左右，2020全年的营收应该至少能达到133亿欧元。

据悉，当季ASML共获得60台光刻机的销售收入，总额31亿欧元，其中EUV光刻机14台，但收入占比达到了66%。

地区方面，中国台湾贡献了光刻机收入的47%，看来台积电支付了一大笔EUV机器的货款。韩国厂商贡献了26%，中国大陆企业贡献了21%。

另外，当季ASML还接到了累计29亿欧元的新订单，并出货了10台EUV光刻机，型号以3400B为主。

展望2021年，ASML表示谨慎乐观，并给出较低两位数的预期收入增长判断。

同时，ASML还公布了光刻机产品的最新进展。

其中TWINSCAN NXE:3600D作为其目前研发中的最先进光刻机系统，终于敲定最终规格。

具体来说，30mJ/cm2的曝光速度达到每小时曝光160片晶圆，提高了18%的生产率，并改进机器匹配套准精度至1.1nm。

3600D定于2021年中旬出货交付，客户还需要一定时间等待，价格应该不会低于现款老型号的1.2亿美元。

目前，ASML已经投产的最先进光刻机是3400C，但主力出货型号是3400B。参数方面，3400B的套刻精度为2nm、曝光速度20mJ/cm2，每小时可曝光125片晶圆。

另外，ASML透露，3400B在三季度也完成了软件升级。全新的DUV光刻机TWINSCAN NXT:2050i已经在三季度结束验证，四季度早期开始正式出货。

据悉，在截止9月30日的单季度，ASML共获得60台光刻机收入，出货了10台EUV光刻机。

ASML CFO Roger Dassen在财报会议的视频采访中还谈到了与中芯国际等中国客户的业务情况。

Roger Dassen指出，在中国业务方面，去年中国本土客户为ASML创造了约8亿欧元的销售额，今年将会更多，预计超过10亿欧元。

关于美国有可能对中芯国际采取限制措施，Roger Dassen表示，ASML今年客户以逻辑工艺领域为主，中芯国际则是ASML的主要逻辑工艺领域客户。

“我们不会对特定的客户情况进行推测或评论，但总的来说，我们会在法律和法规要求的范围内尽最大的能力继续为客户提供服务。”Roger Dassen如是说。

Roger Dassen进一步指出，ASML了解美国当局目前的规章制度及其解释，当然也知道这些与特定的中国客户密切相关，但如果广泛的来理解其规章制度对ASML的总体含义（对于特定的中国客户），则意味着ASML将能够从荷兰向这些中国客户提供DUV光刻系统，且无需出口许可证。

不过，如果涉及直接从美国运往此类客户的零件或系统，ASML则需要为此申请出口许可证。

责任编辑：haq