订购EUV光刻机受阻？ 中芯国际和ASML回应了

针对近几日多家媒体报道的有关ASML公司对中芯国际订购的EUV光刻机设备有意延迟的推测。二家公司今日均发表内容回应。

ASML回应如下：

关于日经新闻（NIKKEI）昨日报导，其标题和内容呈现造成误导，本公司在此提出澄清。

我司不对任何客户做comment。对于日经新闻报道的关于交货时程仅为其媒体推测，ASML从未评论或确认，因此，“延迟出货”仅为媒体推测。对其将推测直接定性为事实作为新闻标题并在文中阐述，表示抗议。

ASML一向在遵守相关国际法规的前提下一视同仁地服务全球客户。根据瓦圣纳协议，ASML出口EUV到中国需取得荷兰政府的出口许可（export license）。该出口许可于今年到期，ASML已经于到期前重新进行申请，目前正在等待荷兰政府核准。因此，关于“ASML决定延迟/终止出货”的说法是错误的，ASML系遵循法规行事。

中芯国际也表示：

EUV还在纸面工作阶段，未进行相关活动。公司先进工艺研发进展顺利。目前，研发与生产的连结一切正常。客户与设备导入正常运作。