ASML答应提早交付三星已经同意购买的极紫外光光刻设备（EUV）？

日前三星电子副董事长李在镕前往荷兰拜访光刻机大厂ASML，其目的就是希望ASML 的高层能答应提早交付三星已经同意购买的极紫外光光刻设备（EUV）。

报道进一步指出，目前三星极需要透过EUV光刻设备来优化旗下晶圆代工业务的先进制程，用以在市场上争取客户订单，而进一步拉近与晶圆代工龙头台积电的差距。目前，ASML 是当前全球唯一生产EUV 设备的厂商，而EUV 设备对于在晶圆代工中的先进制程，尤其是在当前最先进的5纳米或未来更进一步的半导体制程中至关重要。而三星目前极需要将这些EUV 设备安装于三星正在建设的韩国平泽2 号工厂的新晶圆代工产线，以及正在扩建的韩国华城V1 产线上。

据了解，三星电子已经于2020 年5 月份，在韩国平泽的2 号工厂中开始设置晶圆代工的产线，该公司计划在该条新晶圆代工产线上投资约10万亿韩元（约88亿美元），并预计于2021 年下半年开始全面量产。至于，在华城工厂内的V1 产线，则已经于2019 年投入运营，该产线专门以EUV 技术来协助量产7 纳米制程的芯片。目前该产线正在扩产中，预计未来将投入5纳米和5纳米以下更先进制程的芯片生产。对此，三星也计划到2020 年底，将华城V1 产线的晶圆月产能提升至2 万片的规模。

就因为三星加紧对晶圆代工的先进制程扩产，因此确保EUV 光刻设备能够确实装机，是目前三星最紧迫的任务。如果EUV 设备的装机时程被延后，则三星希望藉由EUV 设备来优化先进制程，进一步获得全球半导体客户青睐而取得订单的机会，则可能会拱手让给了竞争对手台积电。

以目前来说，三星目前已经开始营运的有10 部EUV 设备，另外还已经在2020 年向ASML 下单订购了约20 部的EUV。但反观台积电则更是来势汹汹，目前不仅已经营运20 部以上的EUV 设备，还宣布到2022 年时将再购买60 部EUV 设备。这情况也让李在镕更加心急，不得不飞往荷兰与ASML 高层进行协商。
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