循环缓冲氧化物蚀刻过滤器的特性报告

介绍

本文讨论了我们华林科纳用于再循环蚀刻浴的过滤器的物理、性能和成本特性。然而，要为生产操作选择合适的过滤器，还需要蚀刻应用知识和实践经验。

摘要

它的初始成本应该很低;它不应降解或“插入”化学品，因此不应需要更改。在实际应用中，其中一些特性是相互排斥的，必须进行权衡。例如，颗粒保留率和流速是矛盾的：过滤器的保持力越强，流速越低。对低成本的需求与在腐蚀性化学环境中实现低可提取物所需的过滤材料的高成本相冲突。为了实现下游清洁，过滤器必须在清洁的环境中制造，并在制造后的过程中进行清洁，这也增加了成本。本文探讨了这些问题，并描述了用于再循环缓冲氧化物蚀刻 (BOE) 应用的过滤设备的测试。在这里，流速和无颗粒非常重要，并且由于许多蚀刻浴配方的高表面张力和低气体溶解度，过滤器润湿性也很重要。

过滤器特性

根据应用的不同，过滤器的某些特性比其他特性更重要。对于 BOE REB，流速、可萃取物和颗粒截留率非常重要，但如上所述，过滤器润湿性也很重要。在接下来的部分中，过滤器属性按 REB 应用程序的重要性顺序进行描述。

流量

通过过滤器的流速会影响其颗粒去除率。在高流量下，浴液周转速度更快，颗粒去除率更高。高流量还会增加搅拌并消除浴槽中的死区。流量由管道、喷射器和过滤器 的阻力控制。降低过滤器阻力会增加流量，尤其是当过滤器阻力最初高于管道阻力时。

润湿性

膜很难用 40% NH4F 自然润湿，因为它是一种接近饱和的溶液，表面张力为 95 达因/厘米 [6];一些膜过滤器实际上在 NH ^ F 的浓缩浴中去湿。通过使用具有较低表面张力和较高气体溶解度的 BOE 溶液(即氟化铵浓度较低的溶液)，可以消除导致流动损失和晶片上颗粒数量增加的去湿现象。

完整性可测试

在 REB 中安装过滤器之前进行完整性测试是值得的完整性测试可能表明过滤器故障和颗粒通过的可能性。对于 REB 应用，其中通过小的过滤器缺陷的颗粒将在下一次浴槽周转中被去除，完整性测试并不重要­;这里完整性测试只需要检测过滤器的主要故障。虽然测试晶片表面的颗粒监测可以达到同样的目的，但完整性测试的优势在于可以将过滤器明确识别为颗粒问题的来源。

审核编辑：汤梓红