台积电进展迅速，4nm提速到今年第3季试产

台积电在昨日的技术论坛上表示，公司4纳米提前一季在今年第3季试产，3纳米也可望如期于明年下半年量产之际，公司也持续布局更先进制程，以及特殊制程开发，包括纳米层片装置、创新材料布局等，要持续拉开与竞争对手的差距。

台积电业务开发副总张晓强昨日说明先进制程突破进展，张晓强目前负责台积电业务策略，包括技术蓝图、客户沟通与互动等。他提到，台积电在3纳米之后更先进的技术上取得突破，如纳米层片装置开发，以短通道控制，在低电压下仍能提供良好效能，期望将纳米层片的效能提高超过10%以上。同时，台积电创造一种将金属与2D材料结合的新方法，改善接触阻力和为缩小元件尺寸的最小接触长度，低温传输过程，以及原子级薄膜面间和通道材料，为未来的2D电子产品铺路。

此外，在1D碳纳米管电晶体方面也取得进步，在制作高品质、超薄介电系统方面有突破性进展。

台积电在论坛上释出逾十项先进制程进展，包括支持下一世代5G手机与WiFi 6／6e效能的6纳米无线射频（RF）制程、支援最先进汽车应用5纳米N5A制程、4纳米米提前试产、3纳米硅智财就绪可开始设计流程，以及3D先进封装整合平台更新，总计有逾50家台积电大联盟伙伴线上参展，逾5,000位客户与技术伙伴注册参与。

魏哲家提到，台积电5纳米领先量产以来，应用涵盖智能手机、高速运算、物联网，累计出货量已超过50万片，最新推出N5A制程因应汽车应用需求，支援人工智能的驾驶辅助及数位车辆座舱。台积电2020年领先业界量产5纳米技术，其良率提升的速度较前一世代的7纳米技术更快。

台积电营运组织资深副总经理秦永沛今昨日表示，2023年5纳米产能与2020年相较，将大增逾4倍；而为提高3纳米与2纳米开发与生产效率，原先计划的研发中心将改为晶圆十二厂第八期、第九期，其中第八期将于今年完成，也计划建造2纳米制程晶圆厂，正进行土地取得程序。

秦永沛指出，台积电承诺持续投入产能，以支援全球客户需求，迅速提升7 纳米、7 纳米强化版与6 纳米产能，今年7 纳米系列产能与2018 年相比，将会大幅成长超过4 倍，而2023 年5 纳米产能与2020 年相较，同样将大幅成长逾4 倍；2018 年至2021 年，先进制程技术产能增加3 成以上。秦永沛表示，5 纳米制程D0 值(平均缺陷密度) 比7 纳米同期的表现还好，已低于0.1，广泛采用EUV 是其中一项重要因素，而4纳米初期D0 值表现也相当不错，预期2022 年会跟5 纳米一样好。

秦永沛指出，去年台积电装设的EUV 机台设备，约占全球EUV 技术产能的一半，占全球累计晶圆数量的65%，且今年台积电的EUV 光罩护膜产能将是2019 年的20倍，以满足大量量产需求。

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