电子发烧友App

硬声App

0
  • 聊天消息
  • 系统消息
  • 评论与回复
登录后你可以
  • 下载海量资料
  • 学习在线课程
  • 观看技术视频
  • 写文章/发帖/加入社区
创作中心

完善资料让更多小伙伴认识你,还能领取20积分哦,立即完善>

3天内不再提示

电子发烧友网>今日头条>一种抛光硅片表面颗粒和有机污染物的清洗方法

一种抛光硅片表面颗粒和有机污染物的清洗方法

收藏

声明:本文内容及配图由入驻作者撰写或者入驻合作网站授权转载。文章观点仅代表作者本人,不代表电子发烧友网立场。文章及其配图仅供工程师学习之用,如有内容侵权或者其他违规问题,请联系本站处理。 举报投诉

评论

查看更多

相关推荐

CMP后晶片表面金属污染物清洗方法解析

由于铜在二氧化硅和硅中的快速扩散,以及在禁带隙内受体和供体能级的形成,铜需要在化学机械抛光过程后清洗
2021-12-15 10:56:152163

SC-1颗粒去除和piranha后漂洗的机理研究

去,除重有机污染物,piranha清洗是一个有效的过程;然而,piranha后残留物顽强地粘附在晶片表面,导致颗粒生长现象。已经进行了一系列实验来帮助理解这些过程与硅的相互作用。
2021-12-20 09:41:591207

不同清洗方法对纳米颗粒表征的影响

本文介绍了我们华林科纳研究不同清洗方法(离心和透析)对15纳米柠檬酸钠稳定纳米颗粒表面化学和组成的影响,关于透析过程,核磁共振分析表明,经过9个清洗周期后,柠檬酸浓度与第一次离心后测量的浓度相当
2022-05-12 15:52:41931

污染清洗顺序对碱性纹理化的影响

本文介绍了我们华林科纳研究了污染清洗顺序对碱性纹理化的影响。硅表面专门暴露在有机和金属污染中,以研究它们对碱性纹理化过程的影响,由此可见,无机污染对金字塔密度的影响不小,而对宏观参数没有影响,而胶残留剂或刻蚀剂等有机污染则存在关键问题,可以抑制碱性纹理化过程。
2022-05-18 14:55:43714

清洗晶圆基板的方法是什么

本发明一般涉及清洗和蚀刻硅表面方法,以及更具体地涉及使用NF在低温下预清洗晶片,在使用硅晶片制造半导体器件的过程中,在硅晶片的硅表面上可能会形成污染物和杂质,如外延硅沉积或氧化物层生长,去除污染物
2022-06-29 17:06:563373

硅晶片清洗方式的详细说明

半导体制造业面临的最大挑战之一是硅的表面污染薄片。最常见的是,硅晶片仅仅因为暴露在空气中而被污染,空气中含有高度的有机颗粒污染物。由于强大的静电力,这些污染物牢固地结合在硅晶片表面,给半导体制造行业带来了许多令人头痛的问题。
2022-07-08 17:18:503378

湿清洗过程中硅晶片表面颗粒去除

在整个晶圆加工过程中,仔细维护清洁的晶圆表面对于在半导体器件制造中获得高产量至关重要。因此,湿式化学清洗以去除晶片表面污染物是任何LSI制造序列中应用最重复的处理步骤。
2023-03-30 10:00:091940

硅片湿法清洗设备设备出售

其中国市场的开发、推广。公司自有产品包括半导体前段、后段、太阳能、平板显示FPD、LED、MEMS应用中的各种湿制程设备,例如硅片湿法清洗、蚀刻,硅芯硅棒湿法化学处理,液晶基板清洗,LED基片显影脱膜等
2015-04-02 17:23:36

EBSD制样最有效的方法------氩离子截面抛光

EBSD制样最有效的方法------氩离子截面抛光仪电子背散射衍射(EBSD)技术出现于20世纪80年代末,经过十多年的发展已成为显微组织与晶体学分析相结合的一种新的图像分析技术。因其成像依赖于晶体
2014-04-17 15:50:10

PCBA的清洗工艺介绍

  1、全自动化的在线式清洗机  一种全自动化的在线式清洗机,该清洗机针对SMT/THT的PCBA焊接后表面残留的松香助焊剂、水溶性助焊剂、免清洗性助焊剂/焊膏等有机、无机污染物进行彻底有效的清洗
2021-02-05 15:27:50

PCB抄板中电路板的新清洗技术

  水清洗技术是今后清洗技术的发展方向,须设置纯净水源和排放水处理车间。它以水作为清洗介质,并在水中添加表面活性剂、助剂、缓蚀剂、螯合剂等形成系列以水为基的清洗剂。可以除去水溶剂和非极性污染物。其清洗
2018-09-14 16:39:40

PCB抄板的四电路板清洗技术

与非极性污染物都容易清洗掉,清洗范围广;  (3) 多重的清洗机理。水是极性很强的极性溶剂,除了溶解作用外,还有皂化、乳化、置换、分散等共同作用,使用超声比在有机溶剂中有效得多;  (4) 作为一种
2018-09-13 15:47:25

PCB电路板清洗效果的正确检测方法及评估标准

— 波峰焊 — 清洗 — 测试; 4 测试板为IPC-B-36。  二、检测方法  1.目视检验 不使用放大镜,直接用眼睛观测印制电路板表面应无明显的残留存在。  2.表面离子污染测试方法。  1)萃取
2018-09-10 16:37:29

PCB线路板怎么进行保洁_PCB板清理技术知多少-华强pcb

的发展方向的水清洗技术,须设置纯清水源和排放水处理车间。它以水作为清洗介质,并在水中添加表面活性剂、助剂、缓蚀剂、螯合剂等形成系列以水为基的清洗剂。可以除去非极性污染物和水溶剂。其清洗工艺特点是
2018-01-15 11:03:23

pcb清洗技术。绝对有用

极性污染物都轻易清洗掉,清洗范围广;  3) 多重的清洗机理。水是极性很强的极性溶剂,除了溶解作用外,还有皂化、^^^化、置换、分散等共同作用,使用超声比在有机溶剂中有效得多;  4) 作为一种自然溶剂
2012-07-23 20:41:56

《炬丰科技-半导体工艺》DI-O3水在晶圆表面制备中的应用

)、HF 等,已广泛应用于湿法清洗工艺,以去除硅片表面上的光刻胶、颗粒、轻质有机物、金属污染物和天然氧化。然而,随着硅电路和器件架构的规模不断缩小(例如从 VLSI 到 ULSI 技术),探索有效和可靠
2021-07-06 09:36:27

【云智易申请】空气污染物在线测试仪器项目

:空气污染物在线测试仪器,是国家近年来比较重视的块,此次公司能有幸加入其中进行研发与生产。此套仪器主要检测空气中的污染物比如甲烷非甲烷总烃,苯挥发物等有害物质。其中包括高速AD采集(多路传感器),数据转换与传输(can接口、485接口、lan接口)等
2015-08-05 09:01:42

【国标发布】清洗剂VOC限值要求国家标准发布-科创(衢州)

表面活性剂、有机溶剂及助剂等成分组成的稳态或亚稳态的清洗剂。③有机溶剂清洗剂:以一种或多种有机溶剂组成的清洗剂。限值要求按照不同类型的清洗剂,分四项“挥发性有机化合物(VOC)含量限值”、“二氯甲烷
2021-05-25 15:03:54

【网络研讨会】手机外壳清洗质控技术

工业清洗应用相当成熟的技术,一种基于荧光强度测量原理,能够快速监测产品清洗质量,并可监控清洗过程的槽液污染度。相信它会为您的产品质量、工艺研发带来新的突破!会议时间:7月6日 15:30-16:306月15日前报名免费!诚邀参与!`
2017-06-12 11:13:04

复杂曲面零件超精密抛光

、复杂曲面的复合或组合加工   如果一种抛光技术无法满足复杂曲面零件的加工需求,速加网建议可以根据零件的实际情况,将不同技术结合在起,然后进行零件的抛光工作。这种方法可以将两或者多种技术的优点充分发挥出来,有效保证了复杂曲面零件的抛光质量和效率,可以对零件表面进行精确性的控制。
2018-11-15 17:00:28

太阳能硅片检测技术--硅片的金字塔检测-大平台硅片检测显微镜

太阳能硅片检测技术--硅片的金字塔检测-大平台硅片检测显微镜、简介:硅片检测显微镜可以观察到肉眼难观测的位错、划痕、崩边等;还可以对硅片的杂质、残留成分分析.杂质包括: 颗粒有机杂质、无机杂质
2011-03-21 16:27:08

如何清洗中央空调,清洗中央空调的方法

中央空调清洗过程  中央空调清洗般包括冷冻水、冷却系统清洗除垢、水处理、溴化锂机组内腔清洗处理、更换新溶液、旧溶液再生、中央空调风机盘管清洗。结垢和堵塞坚硬较难清洗,列管堵塞严重,甚至超过管束
2010-12-21 16:22:40

如何清洗和保养工业相机

`工业相机是一种非常精密的产品,相比般用相机,其造价要昂贵许多。同样的,工业相机使用久了也会出现脏污灰尘,对相机的性能和寿命都会有所影响。因此,就需要定期对相机进行清洗和保养,以延长相机的使用寿命
2015-10-22 14:14:47

如何去实现一种全光交换系统的设计?

有机物光纤的特点是什么?一种新型有机物光纤的全光交换系统设计与实现
2021-06-03 06:45:33

如何规避等离子清洗过程中造成的金属离子析出问题?

使用等离子清洗技术清洗晶圆去除晶圆表面有机污染物等杂质,但是同时在等离子产生过程中电极会出现金属离子析出,如果金属离子附着在晶圆表面也会对晶圆造成损伤,如果在使用等离子清洗技术清洗晶圆如何规避电极产生的金属离子?
2021-06-08 16:45:05

手机外壳清洗质控突破性技术

污染物质有残留,便极容易出现附着力不良、颜色不均匀、斑点等问题。而传统的测试方法,如目测、达因笔测试,都无法保障清洗质量稳定性。`
2017-06-27 14:53:40

手机外壳清洗质控突破性技术网络研讨会将于明天举行

`长期以来,手机金属、陶瓷、玻璃外壳、屏幕、指纹片,在冲压、CNC、抛光、丝印时,无可避免地使用到各种切削液、润滑油、冷却液、抛光物质和胶水等污染物质,在后续的清洗工艺中,没有彻底的把这些污染物清除
2017-07-05 19:46:16

手机外壳、触摸屏清洗质控技术

;  手机金属、陶瓷、玻璃外壳、屏幕、指纹片,在冲压、CNC、抛光、丝印时,无可避免地使用到各种切削液、润滑油、冷却液、抛光物质和胶水等。假如在进行表面处理——如阳极氧化、电镀、喷砂及AF镀膜前,这些污染物
2017-06-16 15:41:04

晶圆研磨抛光压力测量

分布,操作极其简便,只需将薄膜型压力感测片放置于待测的抛光头与抛光盘之间,通过专用的数据采集器将感测片与笔记本电脑相连接,就可以实时的观察硅片表面的压力分布情况,对于不合理的压力分布,可以完全的呈现给
2013-12-24 16:01:44

机房带电清洗养护技术的应用

,安全性没有保障。隐蔽部位无法触及,只能做“表面文章”,除污不彻底,造成污染物搬家,引发二次故障。设备维护工作量极大,维护人员没有时间和精力去完成手工清洗任务。清洗不干净,使设备清洗周期缩短,加大维护
2020-09-10 08:45:55

电路板在pcb抄板中的四清洗技术

工艺的缺点,最主要的是安全性题目,要有严格的安全方法措施。  醇类清洗工艺特点  醇类中乙醇和异丙醇是产业中常用得有机极性溶剂,甲醇毒性较大,般仅做添加剂。醇类清洗工艺特点是:  1) 对离子类污染物
2018-09-13 15:50:54

电路板的大气污染物典型腐蚀分析及防护

的风险不断增加。其中大气环境作为电路板腐蚀发生的外部条件,大气污染物在产品腐蚀发生的过程中扮演了重要角色。由于与大气污染物相关的故障通常在电子产品使用段时间后才能显现出来,这意味着旦发生了腐蚀
2019-10-25 13:32:43

芯片清洗过程中,颗粒洗不掉

各位同仁好!我最近在芯片清洗上遇到个问题,自己没办法解决,所以想请教下。个刚从氮气包装袋拿出来的晶圆片经过去离子水洗过后,在强光照射下或者显微镜下观察,片子表面出现颗粒残留,无论怎么洗都
2021-10-22 15:31:35

讨论污染物对PCB点焊的影响以及有关清洁的些问题

污染物的问题正日益突出。尽管传统表面贴装技术(SMT)很好地利用了低残留和免清洗的焊接工艺,在具有高可靠性的产品中,产品的结构致密化和部件的小型化装配使得越来越难以达到合适的清洁等级,同时由于清洁问题导致
2023-04-21 16:03:02

质量流量防堵塞传感器在空气净化器滤网中的作用是什么

。另方面国家《空气净化器》相关标准中把空气净化器定义为“从空气中分离和去除一种或多种污染物的设备,对空气中的污染物定去除能力的装置。
2020-07-30 07:34:24

贴片知识课堂八,PCB清洗及干燥

残留。干燥时将PCB板通过干燥区,完成PCB清洗剂,残留污染物的蒸发,从而使得PCBA保持个清洁的标准。 为了进行大规模生产,工程师在设计PCB时也需要记住清洗工艺,设计元件布局、焊接和清洁的时候要
2012-10-30 14:49:40

超声波清洗的工作原理

清洗效果也非常均匀致。超声波清洗可根据不同的溶剂达到不同的效果,如 :除油、除锈或磷化,配合清洗剂的使用,加速污染物的分离和溶解,可有效防止清洗液对工件的腐蚀。 2)、 清洗成本低   在所有清洗
2009-06-18 08:55:02

霍尼韦尔传感器助力监控PM2.5

持续的雾霾天气,各大医院被挤满的呼吸科,让人们真正体会到了大气污染的危害性。资料显示:雾霾主要是由二氧化硫、氮氧化和可吸入颗粒物这三项构成,前两者为气态污染物,最后颗粒物更是加重雾霾天气污染的罪魁祸首,而颗粒物的英文缩写为PM,其中以PM2.5对人体危害最大。
2020-05-04 06:43:16

霍尼韦尔传感器可以助力PM2.5监控

  持续的雾霾天气,各大医院被挤满的呼吸科,让人们真正体会到了大气污染的危害性。资料显示:雾霾主要是由二氧化硫、氮氧化和可吸入颗粒物这三项构成,前两者为气态污染物,最后颗粒物更是加重雾霾天气污染的罪魁祸首,而颗粒物的英文缩写为PM,其中以PM2.5对人体危害最大。  
2020-08-27 07:57:06

激光清洗除锈机,工业激光清洗,激光除锈设备

锐族手持式激光除锈机具有无研磨、非接触特点,不但可以用来清洗有机污染物,也可以用来清洗无机,包括金属的轻度锈蚀、金属微粒、灰尘等,应用功效包括:除锈、脱漆、去油污、文物修复、除胶、去涂层、去镀层
2023-10-31 10:39:49

半导体清洗工艺

杂质玷污对器件性能的影响 硅片表面杂质玷污的来源 有机溶剂的去污作用 碱在化学清洗中的作用 。。。。。。 。。。。。。
2010-08-20 16:23:5947

用香蕉水“抛光有机玻璃

用香蕉水“抛光有机玻璃 经锯割锉磨的有机玻璃,表面往往留有划伤的痕
2009-09-10 14:39:563470

国外发明了一种新的“纤维垫”,可以吸附并破坏水中的污染物

据外媒报道,莱斯大学的研究人员们发明了一种新的“纤维垫”,它的神奇之处是可以吸附并破坏水中的污染物。这种“净化器”由嵌入聚合物纤维中的二氧化钛纳米粒子组成。测试中,研究团队证明了这种材料确实可以吸附
2018-06-19 09:43:002546

一文看懂污染物残留物对PCB点焊的影响

的影响方面变得越来越突出。尽管传统的表面贴装技术(SMT)很好地利用了低残留和免清洗的焊接工艺,但在可靠性高的产品中,产品的结构致密化和部件的小型化组装使得越来越难以达到合适的尺寸。由清洁问题引起的产品故障增加导致的清洁等级。本文将简要讨论污染物残留物对PCB点焊的影响以及与清洗有关的一些问题。
2019-08-03 10:22:493972

表面组装板焊后为什么要进行清洗?目的是什么?

  表面组装板焊后清洗是指利用物理作用、化学反应的方法去除SMT贴片加工再流焊、波峰焊和手工焊后残留在表面组装板表面的助焊剂残留物及组装工艺过程中造成的污染物、杂质的工序。那么我们不仅要问了,为什么我们贴片加工完成之后还要清洗,这不是浪费时间和工时吗?
2019-10-16 11:21:525633

电路板焊点的清洗步骤和方法介绍

消洗介质在被洗物表面形成一层均匀的薄,润湿被洗物表面,使被洗物表面污染物发生溶胀。表面润湿的条件是要求消洗介质的表面张力小于被洗物的表面张力。在清洗介质中加入些表面活性剂可以明显提高润湿能力。
2019-12-23 10:55:5911997

激光清洗的原理和应用浅析 激光清洗的光源控制

表面的作用。激光清洗原理下图所示。当工件表面污染物吸收激光的能量后,其快速气化或瞬间受热膨胀后克服污染物与基体表面之间的作用力,由于受热能量升高,污染物粒子进行振动后而从基体表面脱落。 激光清洗的应用 激光清洗在工业
2020-08-03 11:09:176794

半导体IC制程中的各种污染物类型以及污染物的去除方法

摘要:介绍了半导体IC制程中存在的各种污染物类型及其对IC制程的影响和各种污染物的去除方法,并对湿法和干法清洗的特点及去除效果进行了分析比较。 1前言 半导体IC制程主要以20世纪50年代以后发明
2020-12-29 14:49:159205

半导体单晶抛光清洗工艺分析

通过对 Si , CaAs , Ge 等半导体材料单晶抛光清洗工艺技术的研究 , 分析得出了半导体材料单晶抛光片的清洗关键技术条件。首先用氧化性溶液将晶片表面氧化 , 然后用一定的方法将晶片表面
2021-04-08 14:05:3949

半导体IC的清洗方法

介绍了半导体IC制程中存在的各种污染物类型及其对IC制程的影响和各种污染物的去除方法, 并对湿法和干法清洗的特点及去除效果进行了分析比较。
2021-04-09 09:55:2170

半导体单晶抛光清洗技术

在实际清洗处理中,常采用物理、或化学反应的方法去除;有机物主要来源于清洗容积、机械油、真空脂、人体油脂、光刻胶等方面,在实际清洗环节可采取双氧水或酸性溶液去除 ;氧化物主要是相应半导体单晶抛光
2021-06-20 14:12:151150

硅片表面污染类型及清洗方法

硅片经过线切割机的切割加工后,其表面已受到严重沾污,要达到工业应用标准,就必须经过严格的清洗工序。由于切割带来的严重污染,其表面清洗工序也必然需要比较复杂和精细的工艺流程。
2021-06-20 14:07:255880

减少硅片金属污染方法是什么

方法一般涉及半导体的制造,更具体地说,涉及在生产最终半导体产品如集成电路的过程中清洗半导体或 硅晶片,由此中间清洗步骤去除在先前处理步骤中沉积在相关硅晶片表面上的污染物
2021-12-20 17:21:051170

标准清洗槽中的质量参数的监控方法

表面准备是获得干净、镜面抛光、未受损硅表面的关键步骤。化学清洗一种行之有效的方法,用于去除晶圆表面污染物。最常见的工艺是RCA清洗,通过两个连续的标准溶液清洗晶圆。标准清洁1 SC1浴(或氨过氧化物混合物APM)由N
2022-01-05 17:36:58266

多晶硅薄膜后化学机械抛光的新型清洗解决方案

(TMAH)和/或螯合剂乙二胺四乙酸(EDTA),以增强对金属和有机污染物的去除。从实验结果可以发现,化学机械抛光后的清洗显著提高了颗粒和金属的去除效率和电特性。 介绍 化学机械抛光(CMP)工艺已成为制造深亚微米集成电路的主流平面化技术。随着尺寸的缩小
2022-01-26 17:21:18550

CMP后化学机械抛光清洗中的纳米颗粒去除报告

化学机械抛光最初用于玻璃和硅片抛光。随着其功能的增加,化学机械抛光被引入到平面化层间电介质(ILD)、浅沟槽隔离(STI)和用于片上多级互连的镶嵌金属布线中。该工艺适用于半导体加工
2022-01-27 11:39:13662

有机污染物在晶圆表面的吸附行为

微电子工业中高性能器件的快速发展需要非常好的清洁环境维护。洁净室对于提供用于处理半导体器件的合适环境是必不可少的。然而,即使在这样的环境中,也可能发生晶片表面有机亚单层污染。在10级或更高等级的洁净室中,有机化合物的浓度可能超过颗粒浓度几个数量级。
2022-02-10 15:46:26753

稀释HF清洗过程中硅表面颗粒沉积的机理报告

本文讨论了稀氢氟酸清洗过程中颗粒沉积在硅片表面的机理。使用原子力显微镜的直接表面力测量表明,硅表面上的颗粒再沉积是由于颗粒和晶片表面之间的主要相互作用。表面活性剂的加入可以通过改变颗粒和晶片之间
2022-02-11 14:44:271442

颗粒晶圆清洗干燥技术报告

中占有非常重要的地位。随着超大规模集成电路器件图案密度的增加,越来越需要无污染清洗和干燥系统。对于通过化学溶液处理从硅r中去除颗粒污染物,已经发现NH OH-HCO溶液是极好的,并且溶液中NH OH
2022-02-11 14:51:13380

湿法清洗过程中硅片表面颗粒的去除

研究了在半导体制造过程中使用的酸和碱溶液从硅片表面去除粒子。 结果表明,碱性溶液的颗粒去除效率优于酸性溶液。 在碱性溶液中,颗粒去除的机理已被证实如下:溶液腐蚀晶圆表面以剥离颗粒,然后颗粒被电排斥到晶圆表面。 实验结果表明,需要0.25 nm /min以上的刻蚀速率才能使吸附在晶圆表面颗粒脱落。
2022-02-17 16:24:272167

SC-1颗粒去除和piranha后漂洗的机理研究

去,除重有机污染物,piranha清洗是一个有效的过程;然而,piranha后残留物顽强地粘附在晶片表面,导致颗粒生长现象。已经进行了一系列实验来帮助理解这些过程与硅的相互作用。
2022-02-23 13:26:322009

硅片表面有机污染物的吸附行为

摘要 研究了吸附在硅片表面有机污染物的吸附行为。污染物是由洁净室环境和塑料储物箱中存在的挥发性有机污染物引起的。晶片上的污染物通过将它们溶解在溶剂中来收集,并通过气相色谱-质谱分析进行表征。发现有机
2022-03-01 14:38:531167

湿法清洗系统对晶片表面颗粒污染的影响

泵(非脉动流)中,晶圆清洗过程中添加到晶圆上的颗粒数量远少于两个隔膜泵(脉动流)。 介绍 粒子产生的来源大致可分为四类:环境、人员、材料和设备/工艺。晶圆表面污染的比例因工艺类型和生产线级别而异。在无尘室中,颗粒
2022-03-02 13:56:46521

硅板法对于评估硅晶片表面上有机物质的时间依赖性行为

摘要 已开发出一种称为硅板法的方法,该方法使用具有清洁简单过程的小型取样装置,以直接评估来自洁净室空气的硅晶片表面上的有机污染物。使用这种方法,首次通过实验表明,硅片表面邻苯二甲酸二(2-乙基
2022-03-02 13:59:29407

超细金属颗粒硅片表面的行为研究

方法。使用气体沉积方法将直径为几纳米到几百纳米的超细金属颗粒沉积在硅表面。研究了使用各种清洁溶液去除超细颗粒的效率。APM(NH4OH~H2O2-H2O)清洗可以去除150nm的Au颗粒,但不能去除直径小于几十纳米的超细Au颗粒。此外,当执行 DHF-H2O2 清洗
2022-03-03 14:17:36376

柠檬酸清洗液对金属去除效果的评价

我们华林科纳研究了基于柠檬酸(CA)的清洗液来去除金属污染物硅片表面。 采用旋涂法对硅片进行Fe、Ca、Zn、Na、Al、Cu等标准污染,并在各种添加Ca的清洗液中进行清洗。 金属的浓度采用气相分
2022-03-07 13:58:161071

用兆频超声波能量从有机溶剂中的硅片上去除颗粒的实验

本文介绍了用兆频超声波能量从有机溶剂中的硅片上去除颗粒的实验。纳米粒子首先通过可控污染工艺沉积在硅晶片上。对于新沉积和老化的颗粒,研究了作为兆频超声波功率的函数的颗粒去除效率。通过改变处理条件和漂洗
2022-03-07 15:26:56541

半导体制造中有效的湿法清洗工艺

随着器件尺寸缩小到深亚微米级,半导体制造中有效的湿法清洗工艺对于去除硅晶片表面上的残留污染物至关重要。GOI强烈依赖于氧化前的晶片清洁度,不同的污染物对器件可靠性有不同的影响,硅表面上的颗粒导致
2022-03-21 13:39:405472

清洗硅晶片污染物的实验研究

本研究的目的是为高效半导体器件的制造提出高效的晶圆清洗方法,主要特点是清洗过程是在室温和标准压力下进行的,没有特殊情况。尽管该方法与实际制造工艺相比,半导体公司的效率相对较低,但本研究可以提出在室温
2022-03-21 15:33:52373

如何成功地清除来自晶片表面颗粒污染

硅片上,并通过自旋冲洗和巨型清洗去除,颗粒滚动是硅晶片中变形亚微米颗粒的主要去除机理,超电子学提供了更大的流流速度,因为超薄的边界层会产生更大的去除力,能够完全去除受污染的粒子,为了去除颗粒,有必要了解接触颗粒与接触基底之间的附着力和变形。
2022-04-06 16:53:501046

DIO3、单晶圆超晶圆及其混合半导体清洗方法

虽然RCA湿式清洗工艺具有较高的清洗性能,但仍存在化学消耗量高、化学使用寿命短、设备大、化学废物产生量大等问题。传统的臭氧化水(DIO3)湿式清洗系统具有较高的有机污染物清洗效率,0.1㎛/min
2022-04-11 14:03:281672

一种除去晶片表面有机物的清洗方法

法与添加臭氧的超纯水相结合的新清洗法,与以往的方法相比,具有更好的清洗能力,在抑制自然氧化膜生成的同时,可以在短时间内完全除去晶片表面有机物。
2022-04-13 15:25:211593

IPA和超纯水混合溶液中晶圆干燥和污染物颗粒去除的影响

,重要的是有效地冲洗,防止清洁化学液在道工序后在晶片表面残留,以及防止水斑点等污染物再次污染。因此,最近在湿清洗过程中,正在努力减少化学液和超纯水的量,回收利用,开发新的清洗过程,在干燥过程中,使用超纯水和IPA分离层的
2022-04-13 16:47:471239

PVA刷接触式清洗过程中超细颗粒清洗现象

的机械旋转运动和供给的药液流动,附着在表面的纳米粒子从晶圆上脱离[3]。在清洗过程中,观察表面上的抛光纳米粒子的清洗现象。 阐明机制, 对于更有效的纳米粒子清洗是必不可少的。
2022-04-15 10:53:51516

硅晶片的清洗技术

本文阐述了金属杂质和颗粒杂质在硅片表面的粘附机理,并提出了一些清洗方法
2022-05-11 16:10:274

晶片表面沉积氮化硅颗粒的沉积技术

评估各种清洗技术的典型方法是在晶片表面沉积氮化硅(Si,N4)颗粒,然后通过所需的清洗工艺处理晶片。国家半导体技术路线图规定了从硅片上去除颗粒百分比的标准挑战,该挑战基于添加到硅片上的“>
2022-05-25 17:11:381242

晶圆表面污染该如何处理

金属、有机物及颗粒状粒子的残留,而污染分析的结果可用以反应某一工艺步骤、特定机台或是整体工艺中所遭遇的污染程度与种类。早期曾有文献指出,在制造过程中,因未能有效去除晶圆表面污染而产生的耗损,在所有产额损失中,
2022-06-04 09:27:582326

湿法清洗中去除硅片表面颗粒

用半导体制造中的清洗过程中使用的酸和碱溶液研究了硅片表面颗粒去除。
2022-07-05 17:20:171683

波峰焊回流焊清洗剂的选择

剂的基本要求。 (1)润湿性。 一种溶剂要溶解和去除表面组装组件上的污染物,首先必须能润湿被污染的 PCB ,扩展并润湿到污染物上。润湿角是决定润湿程度的主要因素,最佳的清洗情况是溶剂在 PCB 上自发地扩展,出现这种情况的条
2022-08-06 10:54:29845

紫外光表面清洗技术与UV光清洗

低压紫外汞灯发射的双波段短波紫外光照射到试件表面后,与有机污染物发生光敏氧化作用,不仅能去除污染物而且能改善表面的性能,从而提高物体表面的浸润性和粘合强度,或者使材料表面得到稳定的表面性能。根据
2022-08-18 16:16:301080

使用稀释的HCN水溶液的碳化硅清洗方法

金属污染物,如碳化硅表面的铜,不能通过使用传统的RCA清洗方法完全去除。RCA清洗后,在碳化硅表面没有形成化学氧化物,这种化学稳定性归因于RCA方法对金属污染物的不完全去除,因为它通过氧化和随后
2022-09-08 17:25:461451

半导体晶圆清洗设备市场:行业分析

半导体晶圆清洗设备市场预计将达到129\.1亿美元。到 2029 年。晶圆清洗是在不影响半导体表面质量的情况下去除颗粒污染物的过程。器件表面晶圆上的污染物颗粒杂质对器件的性能和可靠性有重大影响。本报告侧重于半导体晶圆清洗设备市场的不同部分(产品、晶圆尺寸、技术、操作模式、应用和区域)。
2023-04-03 09:47:511643

光刻技术的详细工序

清洗硅片(Wafer Clean) 清洗硅片的目的是去除污染物去除颗粒、减少针孔和其它缺陷,提高光刻胶黏附性 基本步骤:化学清洗——漂洗——烘干。
2023-04-25 11:09:403861

激光清洗设备特点及优势

脉冲,在适度的主要参数下不容易损害金属材料板材。     激光清洗不仅可用于清洗有机污染物质,还可以用来清洗无机化合物,包含金属生锈、金属材料颗粒、尘土等。 1、非接触式清洗,不损伤零件基体; 2、精准清洗,可实现精确
2023-05-08 17:08:46422

激光清洗设备的应用领域

激光清洗不仅可用于清洗有机污染物质,还可以用来清洗无机化合物。激光清洗的原理是利用激光束的高能量密度,使污垢或涂层等物质发生蒸发或剥离,从而清洗表面。这个过程并不依赖于物质的化学性质,因此激光清洗
2023-05-08 17:11:07571

针对去离子水在晶片表面处理的应用的研究

随着半导体科技的发展,在固态微电子器件制造中,人们对清洁基底表面越来越重视。湿法清洗一般使用无机酸、碱和氧化剂,以达到去除光阻剂、颗粒、轻有机物、金属污染物以及硅片表面上的天然氧化物的目的。然而,随着硅电路和器件结构规模的不断减小,英思特仍在专注于探索有效可靠的清洁方法以实现更好的清洁晶圆表面
2023-06-05 17:18:50437

pcba电路板线路板清洗工艺流程清洗技术

: 印制电路板上沉淀的污染物质主要分为二种:一种就是极性污染物质,如助焊剂残余物中的有机酸、手出汗;另一种是非极性污染物质,如助焊剂中的树脂,纤维、金属颗粒、硅脂、硅油等. 受空气中的湿气产生的影响,极性污染物质在
2023-06-09 13:43:45847

PCBA线路板生产加工污染物有哪些?怎么清洗

符合用户对产品清洁度的标准。因此,对PCBA板进行清洗是很有必要的。 PCBA生产加工污染物有哪些 污染物的界定为所有使PCBA的化学、物理或电气性能减少到不达标水准表面堆积物、杂物、夹渣及其被吸附物。主要有以下几个方面: 1、组成PCBA的电子
2023-06-13 15:30:281689

表面油污快速检测仪|油污等有机污染物残留对焊接的影响

表面油污快速检测仪|油污等有机污染物残留对焊接的影响
2022-06-08 10:36:29376

等离子清洗机频率40KHz、13.56MHz、2.45GHz的区别与运用

腔中的等离子体轻柔冲刷被清洗物的表面,短时间的清洗就可以使有机污染物被彻底地清洗掉,同时污染物被真空泵抽走,其清洗程度达到分子级。
2022-07-08 10:17:512036

等离子清洗促进润湿和粘合 适用表面粘合、粘合、涂装和涂漆

大气压等离子体表面超细清洗是去除有机、无机、微生物表面污染物和强附着粉尘颗粒的过程。它高效,对处理后的表面非常温和。在较高的强度下,它可以去除表面弱边界层,交联表面分子,甚至还原硬金属氧化物。
2022-09-08 10:53:03315

不锈钢等离子清洗效果评估|钢板表面油脂污染情况检测方案表面油脂污染度清洁度检测

使用德国析塔FluoScan 3D自动表面污染物检测仪检测不锈钢等离子清洗表面的油污清洗,对不锈钢等离子清洗效果进行评估。翁开尔是德国析塔中国独家代理。
2022-06-27 11:48:08363

通过检测金刚石线锯硅片表面颗粒负荷来评价清洗工艺的新方法

高效硅太阳能电池的加工在很大程度上取决于高几何质量和较低污染的硅晶片的可用性。在晶圆加工结束时,有必要去除晶圆表面的潜在污染物,例如有机物、金属和颗粒。当前的工业晶圆加工过程包括两个清洁步骤。第一个
2023-11-01 17:05:58135

半导体湿法清洗工艺

随着技术的不断变化和器件尺寸的不断缩小,清洁过程变得越来越复杂。每次清洗不仅要对晶圆进行清洗,所使用的机器和设备也必须进行清洗。晶圆污染物的范围包括直径范围为0.1至20微米的颗粒有机和无机污染物以及杂质。
2023-12-06 17:19:58562

在湿台工艺中使用RCA清洗技术

半导体制造业依赖复杂而精确的工艺来制造我们需要的电子元件。其中一个过程是晶圆清洗,这个是去除硅晶圆表面不需要的颗粒或残留物的过程,否则可能会损害产品质量或可靠性。RCA清洗技术能有效去除硅晶圆表面有机和无机污染物,是一项标准的晶圆清洗工艺。
2023-12-07 13:19:14235

使用ICP-MS/MS进行光伏硅片表面Ti纳米颗粒表征的实验过程

较高,极易吸附杂质粒子,从而导致硅片表面污染且性能变差,比如颗粒杂质会导致硅片的介电强度降低,金属离子会增大光伏电池P-N结的反向漏电流和降低少子的寿命等。当前越来越多的新材料被广泛
2024-01-11 11:29:04348

SMT电子组件清洗方案

、灰尘、焊盘氧化层、手印、有机污染物及Particle等进行清洗。Kelisonic超声波清洗清洗就是清除污染物的过程,主要是采用溶液清洗方法,通过污染物和溶剂
2023-12-24 11:22:08

已全部加载完成