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电子发烧友网>今日头条>臭氧辅助硅蚀刻技术的研究

臭氧辅助硅蚀刻技术的研究

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2022-04-22 14:04:19591

一种臭氧氧化和硅蚀刻技术

本文章提出了一种新的半导体超卤素深度分析方法,在通过臭氧氧化去除一些硅原子层,然后用氢氟酸蚀刻氧化物后重复测量,确定了成分和表面电位的深度分布,因此这种分析技术提供了优于0.5纳米的深度分辨率,通过
2022-05-06 15:50:39366

硅结构的深且窄的各向异性蚀刻研究

在使用低温卡盘的低压高密度等离子体反应器中研究了硅结构的深且窄的各向异性蚀刻。我们华林科纳以前已经证明了这种技术在这种结构上的可行性。已经研究蚀刻速率和轮廓的改进,并且新的结果显示
2022-05-11 15:46:19730

M111N蚀刻速率,在碱性溶液中蚀刻

本文讲述了我们华林科纳研究了M111N蚀刻速率最小值的高度,以及决定它的蚀刻机制,在涉及掩模的情况下,M111N最小值的高度可以受到硅/掩模结处的成核的影响,以这种方式影响蚀刻或生长速率的结可以
2022-05-20 17:12:59853

臭氧传感器的作用是什么,臭氧传感器的原理说明

Gravity:臭氧传感器的探头已经经过出厂标定,可以快速、准确的测量环境中臭氧的浓度。可广泛应用于工业及环保领域进行臭氧的检测。
2022-05-23 17:51:572915

硅KOH蚀刻:凸角蚀刻特性研究

引用 本文介绍了我们华林科纳半导体研究了取向硅在氢氧化钾水溶液中的各向异性腐蚀特性和凸角底切机理。首先,确定控制底切的蚀刻前沿的晶面,并测量它们的蚀刻速率。然后,基于测量数据,检验了凸角补偿技术
2022-06-10 17:03:481113

金属蚀刻残留物对蚀刻均匀性的影响

蚀刻,加入CHCI以控制各向异性。大量的氦有助于光致抗蚀剂的保存。已经进行了支持添加剂作用的参数研究。 高速率各向异性等离子体蚀刻工艺对于提高加工VLSI晶片器件的机器的效率非常重要。这篇论文描述了这样一种用于以高速率( 5000埃/分
2022-06-13 14:33:14904

用于减薄硅片的蚀刻技术

高效交错背接触(IBC)太阳能电池有助于减少太阳能电池板的面积,以提供足够的家庭消费能源。我们认为,即使在20μm的厚度下,借助光捕获方案,适当钝化的IBC电池也能保持20%的效率。在这项工作中,光刻和蚀刻技术被用于对厚度小于20μm的晶硅(cSi)晶片的深度蚀刻
2022-06-28 11:20:260

ITO薄膜的蚀刻速率研究

在本研究中,我们华林科纳研究了在液晶显示(LCD)技术中常用的蚀刻剂中相同的ITO薄膜的蚀刻速率,保持浴液温度恒定,并比较了含有相同浓度的酸的溶液,对ITO在最有趣的解决方案中的行为进行了更详细的研究,试图阐明这些浴液中的溶解机制。
2022-07-04 15:59:581434

臭氧检测仪品牌

时一定要考虑它的稳定性,仪器零点偏移与全幅偏移越小越好。 2.便利性:在仪器具有稳定性的前提下,便利性也是比较重要的因素,便携式臭氧检测仪携带与维修保养更加容易。 3.适用性:在选择仪器之前一定要先和技术人员对气体类型进
2022-11-11 16:37:362542

臭氧检测仪如何测出臭氧的浓度?-欧森杰

臭氧是目前空气污染源中最常见的一种。臭氧虽然来去无踪,但对健康的危害不容忽视。臭氧浓度达到50%ppb(十亿分率,1ppb也就是十亿分之一),人就会开始出现鼻粘膜和咽喉粘膜的影响,随着浓度的增加
2022-11-21 15:20:592503

简要说明湿法蚀刻和干法蚀刻每种蚀刻技术的特点和区别

蚀刻不是像沉积或键合那样的“加”过程,而是“减”过程。另外,根据刮削方式的不同,分为两大类,分别称为“湿法蚀刻”和“干法蚀刻”。简单来说,前者是熔法,后者是挖法。
2023-01-29 09:39:003850

什么是金属蚀刻蚀刻工艺?

金属蚀刻是一种通过化学反应或物理冲击去除金属材料的技术。金属蚀刻技术可分为湿蚀刻和干蚀刻。金属蚀刻由一系列化学过程组成。不同的蚀刻剂对不同的金属材料具有不同的腐蚀特性和强度。
2023-03-20 12:23:433172

干法蚀刻与湿法蚀刻-差异和应用

干法蚀刻与湿法蚀刻之间的争论是微电子制造商在项目开始时必须解决的首要问题之一。必须考虑许多因素来决定应在晶圆上使用哪种类型的蚀刻剂来制作电子芯片,是液体(湿法蚀刻)还是气体(干法蚀刻
2023-04-12 14:54:331004

载体晶圆对蚀刻速率、选择性、形貌的影响

等离子体蚀刻是氮化镓器件制造的一个必要步骤,然而,载体材料的选择可能会实质上改变蚀刻特性。在小型单个芯片上制造氮化镓(GaN)设备,通常会导致晶圆的成本上升。在本研究中,英思特通过铝基和硅基载流子来研究蚀刻过程中蚀刻速率、选择性、形貌和表面钝化的影响。
2023-05-30 15:19:54452

蚀刻技术蚀刻工艺及蚀刻产品简介

关键词:氢能源技术材料,耐高温耐酸碱耐湿胶带,高分子材料,高端胶粘剂引言:蚀刻(etching)是将材料使用化学反应或物理撞击作用而移除的技术蚀刻技术可以分为湿蚀刻(wetetching)和干蚀刻
2023-03-16 10:30:163504

臭氧检测仪的原理与应用

法是最常用的一种原理,它利用臭氧在紫外波段具有特定吸收特性的原理,通过光谱技术来测量臭氧浓度。 二、臭氧检测仪的应用领域 1. 环境监测 环境监测部门使用臭氧检测仪对大气中的臭氧浓度进行实时监测,以评估空气质量。通过长
2023-06-26 16:48:24547

深度解读硅微纳技术蚀刻技术

蚀刻是一种从材料上去除的过程。基片表面上的一种薄膜基片。当掩码层用于保护特定区域时在晶片表面,蚀刻的目的是“精确”移除未覆盖的材料戴着面具。
2023-07-12 09:26:03190

深度解读硅微纳技术之的蚀刻技术

蚀刻是一种从材料上去除的过程。基片表面上的一种薄膜基片。当掩码层用于保护特定区域时在晶片表面,蚀刻的目的是“精确”移除未覆盖的材料戴着面具。
2023-07-14 11:13:32183

臭氧老化试验箱:基本原理、技术参数、使用方法及注意事项

臭氧老化试验箱是一种专门用于模拟和测试材料在臭氧环境下的老化性能的设备。这种设备广泛应用于橡胶、塑料、涂料等高分子材料的研究、生产和质量控制等领域。本文将介绍臭氧老化试验箱的基本原理、技术
2023-08-22 10:16:31539

不同氮化镓蚀刻技术的比较

GaN作为宽禁带III-V族化合物半导体最近被深入研究。为了实现GaN基器件的良好性能,GaN的处理技术至关重要。目前英思特已经尝试了许多GaN蚀刻方法,大部分GaN刻蚀是通过等离子体刻蚀来完成
2023-12-01 17:02:39259

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