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电子发烧友网>今日头条>对于不同KOH和异丙醇浓度溶液中Si面蚀刻各向的研究

对于不同KOH和异丙醇浓度溶液中Si面蚀刻各向的研究

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2023-05-30 11:32:22167

硅在氢氧化钠和四甲基氢氧化铵中的温度依赖性蚀刻

过去利用碱氢氧化物水溶液研究了硅的取向依赖蚀刻,这是制造硅中微结构的一种非常有用的技术。以10M氢氧化钾(KOH)为蚀刻剂,研究了单晶硅球和晶片的各向异性蚀刻过程,测量了沿多个矢量方向的蚀刻速率,用单晶球发现了最慢的蚀刻面。英思特利用这些数据,提出了一种预测不同方向表面的倾角的方法
2023-05-29 09:42:40618

基于物联网网关的煤矿井下粉尘浓度监测系统

对于煤矿井下的生产工作来说,粉尘浓度过高容易引发工作人员患上肺部疾病,同时也埋下粉尘爆炸的隐患,威胁工作人员的生命安全,造成巨大的经济损失,如何对粉尘浓度进行实时监测至关重要。 通过引入物联网系统
2023-05-25 17:43:56352

红外可调谐光纤飞秒激光器UltraTune 3400

紧凑、免维护和可调谐激光系统是科学研究的理想工具。相对于传统激光器操作复杂、机械调谐、笨重且昂贵,红外可调谐光纤飞秒激光器Femtum UltraTune 34
2023-05-24 10:54:02

氨水浓度检测仪实现安全精准的氨水测量-欧森杰

氨水是一种重要的化学物质,其在各种工业应用中发挥着重要的作用,但是它也具有一定的毒性,因此对于氨水的浓度检测与控制显得尤为重要。氨水浓度检测仪是一种用于检测氨水浓度的仪器,它可以帮助用户准确、安全地
2023-05-22 17:40:45351

如何在蚀刻工艺中实施控制?

蚀刻可能是湿制程阶段最复杂的工艺,因为有很多因素会影响蚀刻速率。如果不保持这些因素的稳定,蚀刻率就会变化,因而影响产品质量。如果希望利用一种自动化方法来维护蚀刻化学,以下是你需要理解的基本概念。
2023-05-19 10:27:31575

PCB常见的五种蚀刻方式

一般适用于多层印制板的外层电路图形的制作或微波印制板阴板法直接蚀刻图形的制作抗蚀刻 图形电镀之金属抗蚀层如镀覆金、镍、锡铅合金
2023-05-18 16:23:484917

高速硅湿式各向异性蚀刻技术在批量微加工中的应用

蚀刻是微结构制造中采用的主要工艺之一。它分为两类:湿法蚀刻和干法蚀刻,湿法蚀刻进一步细分为两部分,即各向异性和各向同性蚀刻。硅湿法各向异性蚀刻广泛用于制造微机电系统(MEMS)的硅体微加工和太阳能电池应用的表面纹理化。
2023-05-18 09:13:12700

硅晶片的酸基蚀刻:传质和动力学效应

抛光硅晶片是通过各种机械和化学工艺制备的。首先,硅单晶锭被切成圆盘(晶片),然后是一个称为拍打的扁平过程,包括使用磨料清洗晶片。通过蚀刻消除了以往成形过程中引起的机械损伤,蚀刻之后是各种单元操作,如抛光和清洗之前,它已经准备好为设备制造。
2023-05-16 10:03:00584

一种AI增强离子淌度与中红外光谱的协同方法

异丙醇(IPA)分子作为抗病毒诊断的生物标志物,在与环境安全和医疗保健相关的挥发性有机化合物(VOC)领域发挥着重要作用。
2023-05-08 14:15:08859

《炬丰科技-半导体工艺》单晶的湿法蚀刻和红外吸收

书籍:《炬丰科技-半导体工艺》 文章:单晶的湿法蚀刻和红外吸收 编号:JFKJ-21-206 作者:炬丰科技 摘要 采用湿法腐蚀、x射线衍射和红外吸收等方法研究了物理气相色谱法生长AlN单晶的缺陷
2023-04-23 11:15:00118

R1LV0816ABG-5SI 7SI 数据表

R1LV0816ABG-5SI 7SI 数据表
2023-04-20 18:42:210

直读式粉尘浓度检测仪

      XKCON祥控粉尘浓度检测仪XKCON-GCG1000是济南祥控新研发的粉尘在线监测报警装置,满足企业对于作业场所粉尘浓度的监测需要,具有实时报警功能,由
2023-04-19 10:28:35

《炬丰科技-半导体工艺》 HQ2和HF溶液循环处理  

书籍:《炬丰科技-半导体工艺》 文章:HQ2和HF溶液循环处理 编号:JFKJ-21-213 作者:炬丰科技 摘要 采用原子显微镜研究了湿法化学处理过程中的表面形貌。在SC-1清洗过程中,硅表面
2023-04-19 10:01:00129

光子晶体用硅中圆柱形纳米孔的深反应离子蚀刻

反应离子蚀刻 (RIE)是一种干法蚀刻工艺,与半导体工业中使用的互补金属氧化物半导体(CMOS)方法兼容。
2023-04-14 14:26:161253

干法蚀刻与湿法蚀刻-差异和应用

干法蚀刻与湿法蚀刻之间的争论是微电子制造商在项目开始时必须解决的首要问题之一。必须考虑许多因素来决定应在晶圆上使用哪种类型的蚀刻剂来制作电子芯片,是液体(湿法蚀刻)还是气体(干法蚀刻
2023-04-12 14:54:331004

从头到尾的半导体技术

湿法蚀刻工艺的原理是使用化学溶液将固体材料转化为液体化合物。选择性非常高
2023-04-10 17:26:10453

集成光纤传感器的微流控芯片用于同步监测葡萄糖溶液浓度和温度

近年来,越来越多的人患有高血糖症。高血糖症是指患者血液中葡萄糖浓度水平高于正常值的症状,其典型指标为患者的血糖浓度在餐后2小时高于7.7 mmol/L。
2023-04-03 14:10:531327

对于T2080处理器的预布局仿真,请共享IBIS文件?

对于 T2080 处理器的预布局仿真,请共享 IBIS 文件(用于仿真 Hyperlynx SI
2023-04-03 08:51:23

低温蚀刻重新出现_

经过多年的研发,随着该行业在内存和逻辑方面面临新的挑战,一种称为低温蚀刻的技术正在重新出现,成为一种可能的生产选择。
2023-03-29 10:14:41392

PCB加工的蚀刻工艺

印刷线路板从光板到显出线路图形的过程是一个比较复杂的物理和化学反应的过程,本文就对其最后的一步--蚀刻进行解析。目前,印刷电路板(PCB)加工的典型工艺采用"图形电镀法"。即先在
2023-03-29 10:04:07886

0433BM15A0001E

高频陶瓷溶液
2023-03-28 18:21:12

新技术使蚀刻半导体更容易

研究表明,半导体的物理特性会根据其结构而变化,因此半导体晶圆在组装成芯片之前被蚀刻成可调整其电气和光学特性以及连接性的结构。
2023-03-28 09:58:34251

板内盘孔设计狂飙,细密间距线路中招

孔的孔铜和VIP铜→后面正常流程……从上图中的流程上,我们可以看出,做POFV的PCB,铜需要被电镀两次,一次是盘孔电镀孔铜时,一次是非盘孔电镀,另一次是其它非盘孔的电镀。按照
2023-03-27 14:33:01

使用 ClF 3 H 2远程等离子体在氧化硅上选择性蚀刻氮化硅

在湿蚀刻的情况下,随着SiNx/SiOy层的厚度减小,剩余的SiOy层由于表面张力而坍塌,蚀刻溶液对孔的渗透变得更具挑战性。
2023-03-27 10:17:49402

各向异性润湿过程中的表面形态

在过去的几年中,随着器件尺寸的不断减小,蚀刻表面的粗糙度开始发挥越来越重要的作用。
2023-03-24 10:11:13251

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