记者２３日从中科院光电技术研究所获悉，该所微电子专用设备研发团队自主研制成功紫外纳米压印光刻机。
2016-03-24 08:28:51
13846 压印光刻是许多新兴应用的关键技术，例如微光学、增强现实、MEMS和光电传感器;但它是什么以及它是如何工作的?
2022-07-25 16:15:071254 
极紫外 (EUV) 光刻系统是当今使用的最先进的光刻系统。本文将介绍这项重要但复杂的技术。
2023-06-06 11:23:54688 
2013年韩国首尔纳米技术展NANO KOREA2013年韩国纳米展 韩国纳米展 首尔纳米展新材料展 微电子技术展 精密陶瓷展展会时间:2013年7月 10-12日主办单位：韩国纳米组织委员会 韩国
2013-02-24 13:52:34
随着半导体技术的发展，光刻技术传递图形的尺寸限度缩小了2～3个数量级（从毫米级到亚微米级），已从常规光学技术发展到应用电子束、 X射线、微离子束、激光等新技术；使用波长已从4000埃扩展到 0.1埃
2012-01-12 10:51:59
本帖最后由 iweimo 于 2014-10-20 15:07 编辑
先分享光刻的参考资料。============================2014-10-17========光刻分类
2014-09-26 10:35:02
一、光刻胶的选择光刻胶包括两种基本的类型：正性光刻和负性光刻，区别如下
2021-01-12 10:17:47
关于光刻工艺的原理，大家可以想象一下胶片照片的冲洗，掩膜版就相当于胶片，而光刻机就是冲洗台，它把掩膜版上的芯片电路一个个的复制到光刻胶薄膜上，然后通过刻蚀技术把电路“画”在晶圆上。 当然
2020-07-07 14:22:55
芯片制造流程其实是多道工序将各种特性的材料打磨成形，经循环往复百次后，在晶圆上“刻”出各种电子特性的区域，最后形成数十亿个晶体管并被组合成电子元件。那光刻，整个流程中的一个重要步骤，其实并没有
2020-09-02 17:38:07
MEMS、芯片封装和微加工等领域。目前，直接采用 SU8光刻胶来制备深宽比高的微结构与微零件已经成为微加工领域的一项新技术。在微流控芯片加工中，SU-8主要用于快速模塑法加工PDMS微流控芯片。运用
2018-07-12 11:57:08
（电子科技大学 微电子与固体电子学院，成都 610054）摘 要：光刻胶技术是曝光技术中重要的组成部分,高性能的曝光工具需要有与之相配套的高性能的光刻胶才能真正获得高分辨率的加工能力。主要围绕光刻
2018-08-23 11:56:31
纳米传感器和纳米级物联网将对医学产生巨大影响让开放式人工智能系统成为你的个人健康助理升级光遗传技术照亮神经学人体器官芯片技术为医药研究带来了新的机遇器官芯片的工作原理
2021-02-01 06:43:21
纳米定位平台跟纳米平台的区别是什么？
2015-07-19 09:42:13
关于纳米级电接触电阻测量的新技术看完你就懂了
2021-04-09 06:43:22
纳米技术的在中国是一个新技术，中国能做的就一两家。纳米防水技术要有特殊的设备，都要自我研发，加纳米材料，以及技术。应用领域可满足手机等消费电子产品，服饰，登山鞋等纺织品以及医疗领域相关产品防水抗潮
2018-09-19 13:34:06
、东南亚产品，衣鞋等。注意：1.网上很多自己喷上去的，还很好卖，这些附着力很差的，可以说是一次性的，上面有灰尘、水分。鞋子有纳米防水镀膜始需要可靠性测试的。某国际品牌已经在做测试2.街头的那个纳米防水技术，还现场演示。实践是检验真理的唯一标准。忽悠老板姓。
2018-10-09 09:54:28
随着纳米技术和生物传感器交叉融合的发展，越来越多的新型纳米生物传感器涌现出来，如量子点、DNA、寡核苷配体等纳米生物传感器。
2020-04-21 06:27:50
提到纳米技术，人们可能会觉得离自己好远。其实纳米材料在几个世纪前，就已经在陶瓷釉和有色窗玻璃染色剂中使用。1990年代末以来，纳米技术越来越多的投入到应用中。现在，全球各地的科学家和工程师都在对这个
2021-08-31 08:13:56
纳米技术是怎么回事看完你就懂了
2021-05-13 07:26:16
`纳米防水技术还在推广当中。很多人没接触过。纳米技术的防水、防潮，耐腐蚀。技术的应用的比较广，比如音响喇叭网，容易吸潮，纳米镀膜后完全不会吸潮。对音质测试完全无影响。蓝牙耳机耐汗耐腐蚀。鞋子防水抗溅，莫高档品牌已经在做了。LED防水防潮等等。`
2018-09-21 15:26:09
详细介绍ATECLOUD智能云测试平台。产品特点：零代码编程；快速搭建测试方案；多台设备多线程测试；远程监
2022-01-03 07:34:15
;互联网的出现让我们与世界的联系更加紧密。科技改变着生活，也改变着世界。 在去年，有一个新的科学技术逐渐被我们所认识和关注。它已经较为普遍的应用于我们的出行、工作中，但我们对它却知之甚少，甚至没有太多人知道它的名字。今天笔者就向各位介绍一下它——NFC。
2019-07-12 06:11:38
三种常见的光刻技术方法根据暴光方法的不同,可以划分为接触式光刻,接近式光刻和投影式光刻三种光刻技术。 ◆投影式暴光是利用透镜或反射镜将掩膜版上的图形投影到衬底上的暴光方法.在这种暴光方法中,由于掩膜
2012-01-12 10:56:23
什么是纳米？为什么制程更小更节能？为何制程工艺的飞跃几乎都是每2年一次？
2021-02-01 07:54:00
现代化战争对吸波材料的吸波性能要求越来越高，一般传统的吸波材料很难满足需要。由于结构和组成的特殊性，使得纳米吸波涂料成为隐身技术的新亮点。纳米材料是指三维尺寸中至少有一维为纳米尺寸的材料，如薄膜
2019-08-02 07:51:17
纳米级电气的特性是什么？
2021-05-12 06:22:56
，小米9pro，oppo Reno3以及vivo X30）分别采用了什么芯片？ 3协同通信的方式有哪些？ 4大数据及认知无线电（名词解释） 4半导体工艺的4个主要步骤： 4简叙半导体光刻技术基本原理 4给出4个全球著名的半导体设备制造商并指出其生产的设备核心技术： 5卫
2021-07-26 08:31:09
的韦亚一研究员及其团队具有多年的学术界及工业界的光刻技术经验积累，并出版有多本专著，其中《计算光刻与版图优化》一书更是列入中国科学院大学研究生教学辅导书系列。本号获授权将陆续介绍《集成电路先进光刻技术
2021-10-14 09:58:07
纳米防水防潮技术，就是通过真空的状态（我们自己做的设备几百万）在产品任何一个方位360°镀上一层0-200纳米厚的膜。问题一：肉眼看的到吗回答：纳米级别的，我们一般人的肉眼是看到的。问题二：那
2018-09-28 23:44:17
。 SuPR-NaP法是向氟类聚合物层照射紫外线，使图案部分形成潜影，然后在上面扫过银纳米墨，以化学方式使银纳米墨仅吸附在图案部分，形成布线。产综研等单位在介绍该技术的发布会上，向新闻媒体公开了实验室水平
2016-04-26 18:30:37
据国外媒体报道，英国伦敦皇家学院生物物理和纳米技术小组的科学家研究出了一种新的纳米技术，该技术能让具有纳米结构的物质把光线散射成不同的颜色而形成彩虹。这种纳米结构能够使金属表面的不同位置捕获不同波长
2013-09-17 17:09:20
求介绍纳米定位台是怎么运行的？、
2013-06-21 15:21:53
碳纳米纤维是指具有纳米尺度的碳纤维，依其结构特性可分为纳米碳管即空心碳纳米纤维和实心碳纳米纤维。
2019-09-20 09:02:43
`一、照明用LED光源照亮未来 随着市场的持续增长，LED制造业对于产能和成品率的要求变得越来越高。激光加工技术迅速成为LED制造业普遍的工具，甚者成为了高亮度LED晶圆加工的工业标准。 激光刻
2011-12-01 11:48:46
GK-1000光刻掩膜版测温仪，光刻机曝光光学系统测温仪光刻机是一种用于微纳米加工的设备，主要用于制造集成电路、光电子器件、MEMS（微机电系统）等微细结构。光刻机是一种光学投影技术，通过将光线通过
2023-07-07 11:46:07
主要介绍了集成门极换流晶闸管(IGCT)的光刻技术。IGCT器件的光刻次数多，精度要求高，如何保证光刻质量是关键。根据IGCT光刻的特点，从光刻机的性能、光刻胶的选用以及刻
2010-06-24 16:48:43
14 据Pixelligent Technologies LLC表示，该公司开发出一种据称可提高现有光刻设备分辨率的纳米晶（nanocrystalline）材料，使光学光刻（Optical lithography）可扩展至32纳米以下。
2009-06-07 18:31:181475 纳米技术概念介绍
一张信用卡大小的卡片，只要放入冰箱，不仅可以清除异味，还有保鲜的功效，储存半个月的蔬果拿出来还是水灵灵的；一件看似很普
2010-01-16 10:05:202545 英特尔认为浸入式光刻能延伸到11纳米
英特尔的先进光刻和制造部的Yan Borodovsky表明,英特尔希望EUV或者无掩模电子束光刻能作为193纳米浸入式光刻在11纳米的后补者
2010-02-25 10:17:55966 
随着 纳米加工 技术的发展,纳米结构器件必将成为将来的集成电路的基础. 本文介绍了几种用电子束光刻、反应离子刻蚀方法制备硅量子线、量子点和用电子束光刻、电子束蒸发以及剥
2011-06-20 16:16:0935 本文提到MEMS技术中所应有的光刻技术，帮助读者了解光刻技术的原理，应用。
2016-04-28 11:35:320 本文主要介绍集成电路加工-光刻技术与光刻胶。集成电路加工主要设备和材料：光刻设备，半导体材料：单晶硅等，掩膜，化学品：光刻胶（光致抗蚀剂），超高纯试剂，封装材料及光刻机的介绍
2017-09-29 16:59:0218 对于逻辑器件、存储器件等主流IC行业，可以利用不同技术实现10nm以下工艺的光刻设备商只有三家：荷兰ASML–EUV（极紫外光）光刻、日本尼康–浸没式DUV（深紫外光）光刻、日本佳能–纳米压印光刻（NIL）
2018-03-24 10:10:001569 
稳定的微纳集成结构不仅能为研究纳米材料的光、电等方面的性能提供方便，还可能为功能微/纳米电子器件的研制打下基础。
2018-06-12 19:16:1512451 西村凉博士表示，液晶聚合物相位差膜的价格原来比较高，10年以来一直在降低成本，JXTG也通过很多其他材料特性来做验证，而最终成功研发出纳米压印技术来实现更简单的工艺和制造成本。JXTG的纳米压印技术，可通过周期性的纳米尺寸凹凸构造从而实现相位延迟。
2018-07-13 10:51:345678 近日，国家重大科研装备研制项目“超分辨光刻装备研制”通过验收。该光刻机由中国科学院光电技术研究所研制，光刻分辨力达到22纳米，结合双重曝光技术后，未来还可用于制造10纳米级别的芯片。
2018-11-30 10:40:542815 中科院理化技术研究所许祖彦院士等验收组专家一致表示，该光刻机在365纳米光源波长下，单次曝光最高线宽分辨力达到22纳米。
2018-12-01 09:29:4513312 光刻技术是包含光刻机、掩模、光刻材料等一系列技术，涉及光、机、电、物理、化学、材料等多个研究方向。目前科学家正在探索更短波长的F2激光（波长为157纳米）光刻技术。由于大量的光吸收，获得用于光刻系统
2019-01-02 16:32:2323706 11月29日，中科院研制的超分辨光刻装备通过验收。消息传着传着，就成了谣言《国产光刻机伟大突破，国产芯片白菜化在即》《突破荷兰技术封锁，弯道超车》《厉害了我的国，新式光刻机将打破芯片荒》 笔者正好
2019-01-04 17:50:02535 近日，据外媒报道，一个国际研究团队报告说，在制造纳米芯片方面取得了突破性进展。这一突破可能对纳米芯片的生产和全球各地的纳米技术实验室产生深远的影响。
2019-02-11 09:28:392362 德克萨斯州奥斯汀 - 国际Sematech公司的研究经理表示，他们对将光刻技术扩展到生产的可能性更加乐观一组专家回顾了下一代157纳米曝光工具关键材料的最新发展后，低于0.10微米技术节点的集成电路。
2019-08-13 10:53:593443 联合工作将在EVG的NILPhotonics能力中心开展，这是一个开放式的光刻/纳米压印（NIL）技术创新孵化器，同时也是全球唯一可及的300-mm光刻/纳米压印技术线 2019年8月28日，奥地利
2019-08-29 22:48:032368 ），2019年11月27日 EV 集团 (EVG) 这一全球领先的为微机电系统、纳米技术与半导体市场提供晶圆键合与光刻设备的供应商，今天宣布与高科技工业粘合剂制造商 DELO 在晶圆级光学元件
2019-11-27 22:35:561679 光刻是集成电路最重要的加工工艺，他的作用，如同金工车间中车床的作用。在整个芯片制造工艺中，几乎每个工艺的实施，都离不开光刻的技术。光刻也是制造芯片的最关键技术，他占芯片制造成本的35%以上。在如今的科技与社会发展中，光刻技术的增长，直接关系到大型计算机的运作等高科技领域。
2019-12-21 09:58:4020180 本文首先介绍了纳米技术的定义，其次阐述了生活中中纳米技术的应用，最后介绍了纳米技术给人类带来好处。
2020-04-09 15:07:1822472 近日，埃眸科技与常熟高新区正式签署项目协议，打造纳米压印光刻机生产线。
2020-04-13 16:18:058152 台，完成图像的纳米定位加工。纳米光刻技术是制作纳米结构的关键，具有广阔的应用前景。 利用芯明天P12系列XY二维扫描台，可带动镀膜镜片对读取的图像信息进行优化，同时控制激光器及扫描台，二者配合完成图像的纳米精度加工。
2020-04-21 15:30:31783 纳米压印光刻技术及其应用的需求正在不断变化。因此，此次合作的基本目标是了解市场最新需求，进而通过双方在工艺和材料方面的优势，合力开发出相应的解决方案，从而应对该行业不断出现的严峻挑战。
2020-06-17 14:27:424803 EVG技术开发和知识产权总监Markus Wimplinger表示：“为推动纳米压印技术的发展，我们成立了NILPhotonics Competence Center。EVG与纳米压印产业链的企业合作，如Inkron等
2020-10-13 14:43:542241 最近光刻机十分火，我们经常听到别人说7纳米光刻机、5纳米光刻机，但其实严格意义上来说并不存在7纳米光刻机，5纳米光刻机，我为什么会这样说呢？
2020-10-19 11:42:5120304 产业的基础技术。目前，纳米压印技术在国际半导体蓝图（ITRS）中被列为下一代32nm、22nm和16nm节点光刻技术的代表之一。国内外半导体设备制造商、材料商以及工艺商纷纷开始涉足这一领域，短短25年，已经取得很大进展。 纳米压印技术首先通过接触式压印
2021-01-03 09:36:0023509 
经常听到别人说7纳米光刻机、5纳米光刻机，但其实严格意义上来说并不存在7纳米光刻机，5纳米光刻机，我为什么会这样说呢？
2021-03-30 09:19:412681 
在今年慕尼黑光博会举办的3D人脸识别大会上，3D光学器件厂商均拿出了自己的光学解决方案，无论是采用散斑结构光方案，还是i-TOF、d-TOF方案，其核心光学器件DOE和Diffuser的制造都是采用纳米压印技术量产的。
2021-05-06 15:41:184732 
光刻机，是现代光学工业之花，是半导体行业中的核心技术。 可能有很多人都无法切身理解光刻机的重要地位，光刻机，是制造芯片的机器，要是没有了光刻机，我们就没有办法造出芯片，自然也就
2021-07-07 14:31:18125770 在过去几十年的发展中，纳米加工技术促进了集成电路的迅速发展，实现了器件的高集成度，纳米加工技术是人类认识学习微观世界的工具，通过理解这一技术可以帮助我们更好认识纳米技术以及纳米技术支撑的现代高科技产业。
2021-07-16 15:54:122041 压印技术是指将“模具”压在柔软的树脂等，将形状转印的技术。如下示意图，可将树脂压在模具（mold）上转印形状，同理也可将形状从金属或玻璃制圆筒形模具上将形状转印到薄膜等。
2022-06-30 10:48:172521 大家都知道，芯片制造的核心设备之一就是光刻机了。现在，全球最先进的光刻机是荷兰ASML的EUV光刻机，那么euv光刻机目前几纳米呢？ 到现在，世界上最先进的光刻机能够实现5nm的加工。也就是荷兰
2022-07-10 11:17:4242760 MicroFAB-3D双光子聚合3D纳米光刻机是一款超紧凑、超高分辨率交钥匙型3D打印机。双光子聚合3D纳米光刻机基于双光子聚合(TPP)激光直写技术，兼容多种高分子材料，包括生物材料。MicroFAB-3D 3D纳米光刻机帮助您以百纳米级的分辨率生产出前所未有的复杂的微部件.
2022-08-08 13:54:185884 
与常规红外材料不同，富硫聚合物可溶解在有机溶剂中，这意味着其可应用于基于溶液的旋涂方法。此外，富硫聚合物拥有的粘滞弹性和动态共价二硫键使其可被热纳米压印光刻（热NIL）技术模塑成不同的纳米结构。
2023-01-05 16:08:27364 过去二十年见证了193 nm以下波长光刻技术的发展。在使用 F2 准分子激光器开发基于 157 纳米的光刻技术方面付出了一些努力，但主要关注点是使用 13.5 纳米软 X 射线作为光源的极紫外 (EUV) 光刻技术。
2023-02-02 11:49:592234 ROG幻16 经典版2023吸纳宇宙炫彩射线灵感，新创时尚星际黑配色。A面除了更加精密的CNC开孔打造幻彩棱镜光效，还搭配纳米压印光刻炫彩铭牌，轻薄且高颜值。
2023-02-19 10:02:432212 .什么是纳米压印**
纳米压印技术，从字面的意思剖析。纳米代表了这个技术加工的尺度是（纳米：Nanometer，符号:nm，即为毫微米，是长度的度量单位。1纳米=10的负9次方米。）。压印则是代表
2023-02-20 15:20:1214184 
日本最寄望于纳米压印光刻技术，并试图靠它再次逆袭，日经新闻网也称，对比EUV光刻工艺，使用纳米压印光刻工艺制造芯片，能够降低将近四成制造成本和九成电量，铠侠 (KIOXIA）、佳能和大日本印刷等公司则规划在2025年将该技术实用化。
2023-03-22 10:20:391836 中国在芯片制造领域一直在追赶先进的技术，虽然在一些关键技术方面还存在一定差距，但近年来中国在光刻机领域取得了一些进展，下面将详细介绍中国目前最先进的光刻机是多少纳米。
2023-04-24 15:10:0159466 在整个芯片制造过程中，几乎每一道工序的实施都离不开光刻技术。光刻技术也是制造芯片最关键的技术，占芯片制造成本的35%以上。
2023-04-26 08:57:031033 压电纳米定位台在精密定位领域中发挥着至关重要的作用，可集成于各类高精密装备，为其提供纳米级运动控制，且应用非常广泛，例如显微扫描、光路调整、纳米操控技术、激光干涉、纳米光刻、生物科技、光通信、纳米
2023-05-11 08:56:02347 
纳米压印技术，即Nanoimprint Lithography（NIL），是一种新型的微纳加工技术。该技术将设计并制作在模板上的微小图形，通过压印等技术转移到涂有高分子材料的硅基板上。
2023-05-19 09:37:47950 
非光刻图案化方法可以从图案设计的自由度上分为三大类，第一类能够自由形成任意图案，主要包括扫描探针刻印（SPL）和喷墨打印；第二类需要在模板或预图案化基材的辅助下形成复杂的图案，包括区域选择性沉积（ASD）、纳米压印（NIL）、微接触印刷（mCP）
2023-06-21 15:49:50522 
据新维度公司总经理罗钢博士介绍，新维度公司继承了刘忠范教授和瑞典lars montelius教授的纳米压印技术系统，是世界主要纳米压印技术路线之一。
2023-07-20 10:58:361179 2000年代初，芯片行业一直致力于从193纳米氟化氩（ArF）光源光刻技术过渡到157纳米氟（F 2 ）光源光刻技术。
2023-08-23 10:33:46798 
璞璘科技成立于2017年，致力于纳米压印设备及材料的生产和开发。据璞璘科技官方消息，公司是目前国内市场上唯一一家集纳米压印设备、材料、技术于一体的纳米压印尖端微纳米制造企业。
2023-10-13 10:03:231624 开盘拉升涨超11%，美迪凯、晶方科技、利和兴、苏大维格等纷纷大幅拉升。 据佳能介绍，传统的光刻设备通过将电路图案投射到涂有抗蚀剂的晶圆上，而佳能此新产品通过在晶圆上的抗蚀剂上压印有电路图案的掩模来实现这一点，就像邮票一样。 据了解，佳能的纳米压
2023-10-17 11:07:23230 纳米压印是微纳工艺中最具发展潜力的第三代光刻工艺，是最有希望取代极紫外光的新一代工艺。最近，海力士公司从佳能购买了一套奈米压印机，进行了大规模生产，并取得了不错的效果。
2023-11-08 14:34:02550 据DIGITIMES此前消息，SK海力士2023年引进佳能纳米压印设备，正在进行测试与研发，目标在2025年左右将该设备用于3D NAND量产。有业内人士表示：“与EUV相比，纳米压印技术形成图案
2023-11-10 16:25:06435 
“半导体研发机构 imec 的项目经理塞德里克-罗林（Cedric Rolin）说：”纳米压印技术很难在质量上与 EUV 相媲美。” 他说，纳米压印的缺陷率“相当高”。
2023-12-06 15:54:42314 对于纳米压印技术，佳能半导体设备业务部岩本和德介绍道，它是通过将刻有半导体电路图的掩膜压制于晶圆之上完成二维或三维电路成型的过程。岩本进一步补充道，若对掩膜进行改良，将有可能实现2nm级别的电路线条宽度。
2023-12-25 14:51:51316 佳能近日表示，计划年内或明年上市使用纳米压印技术的光刻设备FPA-1200NZ2C。对比已商业化的EUV光刻技术，虽然纳米压印的制造速度较传统方式缓慢，但由于制程简化，耗电仅为EUV的十分之一，且投资额也仅为EUV设备的四成。
2024-01-31 16:51:18551 Takeishi向英国《金融时报》表示，公司计划于2024年开始出货其纳米压印光刻机FPA-1200NZ2C，并补充说芯片可以轻松以低成本制造。2023年11月，该公司表示该设备的价格将比ASML的EUV机器便宜一位数。 佳能表示，与利用光曝光电路图案的传统光刻技术不同，纳米压印光刻不需要光源，利用
2024-02-01 15:42:05270 
电子发烧友网报道（文/李宁远）提及芯片制造技术，首先想到的自然是光刻机和光刻技术。众所周知在芯片行业，光刻是芯片制造过程中最重要、最繁琐、最具挑战也最昂贵的一项工艺步骤。在光刻机的支持下，摩尔定律
2023-07-16 01:50:153008 
压印光刻技术NIL在这条赛道上备受关注，是最有机会率先应用落地的技术路线。 今年早些时候，根据英国金融时报的报道，负责监督新型光刻机开发的佳能高管武石洋明在接受采访时称，采用纳米压印技术的佳能光刻设备FPA-1200NZ2C目标最快在
2024-03-09 00:15:002912
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