压电纳米定位台在精密定位领域中发挥着至关重要的作用,可集成于各类高精密装备,为其提供纳米级运动控制,且应用非常广泛,例如显微扫描、光路调整、纳米操控技术、激光干涉、纳米光刻、生物科技、光通信、纳米测量、显微操作、纳米压印等。随着科技不断进步,精密定位技术对于定位系统的行程、负载、精度要求也不断攀升,哈尔滨芯明天科技有限公司持续加强技术实力和研发能力,不断攻克技术壁垒,提升产品性能,以满足对大行程、大负载、高精度的应用要求。
此次为大家介绍的是一款具有大行程、大负载特点的一维压电纳米定位台,型号为XD770.300S,尺寸为130mm×100mm×33mm,实物外观如下图所示。

Z向运动,大负载、大行程
XD770.300S压电纳米定位台为Z轴方向的运动平台,行程可达300μm,负载可达5kg,实现行程范围和负载能力的双提升,为同时有大行程、大负载应用需求提供了优质的解决方案。配合芯明天压电控制器,分辨率高、响应速度快。

配置闭环传感,更高精度
XD770.300S压电纳米定位台内部配置有闭环传感器,反馈可体现精确位置的电信号,可对压电纳米定位台的运动位置进行实时调整,提供更高的精度。经过实测,它的线性度可达0.08%F.S.,重复定位精度可达0.02%F.S.。
| 线性度 | |
| 正向线性度(%F.S.) | 0.056% |
| 反向线性度(%F.S.) | 0.073% |
| 双向线性度(%F.S.) | 0.073% |
| 重复度 | |
| 正向重复度(%F.S.) | 0.011% |
| 反向重复度(%F.S.) | 0.009% |
| 双向重复度(%F.S.) | 0.017% |
紧凑尺寸,多孔安装
XD770.300S压电纳米定位台在具有大承载的情况下,体积并未有过大的增加,反而很紧凑。在它的移动上表面,具有16个负载安装孔,非常便于负载的安装。

技术参数
| 型号 | XD770.300S |
| 运动自由度 | Z |
| 驱动控制 | 1路驱动、1路传感 |
| 标称行程范围(0~120V) | 240μm |
| 行程范围(0~150V) | 300μm |
| 传感器 | SGS |
| 闭环分辨率 | 10nm |
| 线性度 | 0.08%F.S. |
| 重复定位精度 | 0.02%F.S. |
| 俯仰/偏航/滚动 | <15μrad |
| 空载谐振频率 | 380Hz |
| 带载5kg谐振频率 | 110Hz |
| 闭/开环空载阶跃时间 | 300/10ms |
| 承载能力 | 5kg |
| 静电容量 | 43.2μF |
| 工作温度 | -20~80℃ |
| 材质 | 钢、铝 |
| 重量 | 2kg |
推荐控制器
XD770.300S压电纳米定位台可使用芯明天E53.D系列压电控制器驱动,它是单通道压电控制器,可通过模拟输入控制或上位机软件控制。具有体积小、易集成等特点。

审核编辑黄宇
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