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电子发烧友网>制造/封装>什么是EUV***?

什么是EUV***?

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EUV技术量产进入最后冲刺阶段

尽管极紫外光(EUV)步进机的大量生产面临复杂的问题以及紧迫的时间,专家们仍然抱持乐观态度...
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三星首次分享了基于EUV技术的7nm工艺细节

另外,7nm EUV的好处还在于,比多重曝光的步骤要少,也就是相同时间内的产量将提升。当然,这里说的是最理想的情况, 比如更好的EUV薄膜以减少光罩的污染、自修正机制过关堪用等。三星称,7nm EUV若最终成行,将被证明是成本更优的方案。
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ASML将于明年出货30台EUV光刻机

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EUV光刻工艺终于商业化 新一代EUV光刻工艺正在筹备

随着三星宣布7nm EUV工艺的量产,2018年EUV光刻工艺终于商业化了,这是EUV工艺研发三十年来的一个里程碑。不过EUV工艺要想大规模量产还有很多技术挑战,目前的光源功率以及晶圆产能输出还没有
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英特尔确定的7纳米制程会支援新一代EUV技术

随着晶圆代工厂台积电及记忆体厂三星电子的7纳米逻辑制程均支援极紫外光(EUV)微影技术,并会在2019年进入量产阶段,半导体龙头英特尔也确定正在开发中的7纳米制程会支援新一代EUV技术。
2019-01-03 11:31:593812

台积电将购入18台EUV光刻机!

据台媒2月12日报道,为延续7纳米制程领先优势,台积电支持极紫外光(EUV)微影技术的7nm加强版制程将按既定时间于3月底正式量产,而全程采用EUV技术的5nm制程也将在今年第2季进入风险试产。
2019-02-16 11:11:154482

一种基于最先进激光器的新型实验室EUV光源

将光刻技术转移到EUV波段意味着材料和光源的巨大变化。新的13.5纳米EUV等离子体光源取代了193纳米波长的紫外激光器。光子能量随着波长的减小而增加,因此来自激光驱动的新型等离子体EUV光源的每个光子所携带的能量是来自旧激光光源的光子的14倍。
2019-03-16 10:32:215629

EUV技术再度突破 但发展EUV仍需大力支持

多重成像技术结合起来使用,但这在无形中提升了制造成本,拉长了工艺周期。为了通过提升技术成本来平衡工序成本和周期成本,厂商们将底牌压在了EUV光刻机身上,但是EUV真的能够满足厂商们的期盼吗?
2019-04-03 17:26:554449

台积电将包揽ASML这批EUV光刻机中的18台

由于三星去年就小规模投产了7nm EUV,同时ASML(荷兰阿斯麦)将EUV光刻机的年出货量从18台提升到今年的预计30台,显然促使台积电不得不加快脚步。
2019-04-30 17:30:037913

多家DRAM厂商开始评估采用EUV技术量产

继台积电、三星晶圆代工、英特尔等国际大厂在先进逻辑制程导入极紫外光(EUV)微影技术后,同样面临制程微缩难度不断增高的DRAM厂也开始评估采用EUV技术量产。三星电子今年第四季将开始利用EUV技术生产1z纳米DRAM,SK海力士及美光预期会在1α纳米或1β纳米评估导入EUV技术。
2019-06-18 17:20:312438

DRAM厂将陆续导入EUV技术

DRAM厂商在面对DRAM价格不断下跌的困境下,已经在考虑导入EUV技术用于制造DRAM,主要目的是为了降低成本。
2019-06-21 09:10:012047

DRAM开始进入EUV时代?

根据国外媒体报导,曾表示目前制程技术还用不上EUV技术的各大DRAM厂在目前DRAM价格直直落,短期看不到止跌讯号的情况下,也顶不住生产成本的压力,开始考量导入EUV技术,以降低生产成本。南韩三星将在2019 年底前正式导入。
2019-06-21 10:13:343319

ASML最新一代EUV设备2025年量产

当前半导体制程微缩到10纳米节点以下,包括开始采用的7纳米制程,以及未来5纳米、3纳米甚至2纳米制程,EUV极紫外光光刻技术已成为不可或缺的设备。藉由EUV设备导入,不仅加快生产效率、提升良率,还能
2019-07-05 15:32:482520

关于ASML EUV工艺的最新信息进展

在上周的Semicon West上,ASML提供了有关当前EUV系统以及正在开发的0.55高NA系统的最新信息。
2019-07-27 10:37:333351

关于EUV光刻机的分析介绍

格芯首席技术官Gary Patton表示,如果在5nm的时候没有使用EUV光刻机,那么光刻的步骤将会超过100步,这会让人疯狂。所以所EUV光刻机无疑是未来5nm和3nm芯片的最重要生产工具,未来围绕EUV光刻机的争夺战将会变得异常激烈。因为这是决定这些厂商未来在先进工艺市场竞争的关键。
2019-09-03 17:18:1812845

半导体巨头为什么追捧EUV光刻机

近些年来EUV光刻这个词大家应该听得越来越多,三星在去年发布的Exynos 9825 SoC就是首款采用7nm EUV工艺打造的芯片,台积电的7nm+也是他们首次使用EUV光刻的工艺,苹果的A13
2020-02-29 10:58:473149

EUV光刻机到底是什么?为什么这么贵?

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2020-02-29 11:42:4529308

三星EUV技术成功应用于DRAM生产

据ZDnet报道,三星宣布,已成功将EUV技术应用于DRAM的生产中。
2020-03-25 16:24:392783

半导体设备厂翔名打入台积电EUV供应链

台媒称,翔名切入台积电5nm极紫外光(EUV)光罩盒表面处理业务,与EUV光罩盒大厂接洽合作机会,以独家专利无电镀镍(ENP)表面处理技术来提升产品良率,目前该光罩盒厂正进行评估测试,未来获台积电EUV制程指定产品入场门票机会大增。
2020-07-24 17:27:20671

EUV光刻机全球出货量达57台

与此同时, 他指出,EUV继续为ASML的客户提高产量,迄今为止,他们的客户已经使用EUV光刻机曝光了超过1100万个EUV晶圆,并交付了57个3400x EUV系统(3400平台是EUV生产平台)。
2020-08-14 11:20:552048

台积电采购的EUV设备已超35台占ASML过半产量

据估算,ASML今年下半年可能会再出货 22 台EUV设备,明年全年最多50台。据台媒DIGITIMES报导,台积电也将扩大采购 EUV 设备,抢下ASML明年超过1/3的供货,这样一来台积电明年
2020-09-29 17:26:24802

美光声明:目前并无采用三星EUV计划

据中国台湾经济日报报道,三星(Samsung)明年可能导入极紫外光(EUV)技术生产内存,美光(Micron)企业副总裁、中国台湾美光董事长徐国晋表示,美光不打算跟进,目前并无采用 EUV 计划
2020-10-12 09:36:181660

EUV光刻机还能卖给中国吗?

ASML的EUV光刻机是目前全球唯一可以满足22nm以下制程芯片生产的设备,其中10nm及以下的芯片制造,EUV光刻机必不可缺。一台EUV光刻机的售价为1.48亿欧元,折合人民币高达11.74亿元
2020-10-19 12:02:499647

ASML的EUV光刻机已成台积电未来发展的“逆鳞”

台积电是第一家将EUV(极紫外)光刻工艺商用到晶圆代工的企业,目前投产的工艺包括N7+、N6和N5三代。
2020-10-22 14:48:561425

EUV光刻机加持,SK海力士宣布明年量产EUV工艺内存

ASML公司的EUV光刻机全球独一份,现在主要是用在7nm及以下的逻辑工艺上,台积电、三星用它生产CPU、GPU等芯片。马上内存芯片也要跟进了,SK海力士宣布明年底量产EUV工艺内存。
2020-10-30 10:54:211646

三星要求ASML在一个月内交付9台EUV光刻设备

据韩媒报道,三星副董事长李在镕在访问荷兰期间,在会议上要求ASML在一个月内交付三星已购买的9台EUV光刻设备。 报道称,ASML正在审查三星的要求,这部分EUV设备最早可于11月运往韩国。 据悉
2020-10-30 14:13:081269

三星EUV专利首次超过国外公司

在半导体工艺进入7nm之后,EUV光刻机就成为兵家必备大杀器了,全球也只有ASML公司能生产,单价达到10亿人民币一台。不过在EUV技术上,ASML还真不一定就是第一,专利比三星还少。
2020-11-17 09:33:371298

全球EUV光刻专利哪家强?卡尔蔡司位居第一

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2020-11-17 10:25:182211

极紫外(EUV)光刻技术将如何影响掩模收入?

体上,三分之二的调查参与者认为这将产生积极的影响。前往EUV时,口罩的数量减少了。这是因为EUV将整个行业带回单一模式。具有多个图案的193nm浸入需要在高级节点处使用更多的掩模。
2020-11-23 14:42:091096

三星2021年将投产EUV工艺生产的内存

目前,EUV光刻机的部署安装主要在台积电、三星的晶圆代工厂。不过,内存厂商们也开始着手上马了。
2020-11-27 09:09:091651

台积电现采购 35 台 EUV 光刻机,占 ASML 过半产量

据中国台湾经济日报报道,EUV 光刻机制造商 ASML 首席执行官 Peter Wennink 带领高管拜访三星,双方寻求技术与投资合作。三星希望能抢在台积电之前,取得 ASML 下一代 EUV
2020-12-02 11:16:571536

三星扩大部署EUV光刻工艺

继SK海力士日前宣布在M14和建设中的M16工厂均引入EUV光刻机后,三星也坐不住了。 按照三星的说法,自2014年以来,EUV光刻参与的晶圆超过了400万片,公司积累了丰富的经验,也比其它厂商掌握
2020-12-04 18:26:542201

消息称美光或开发EUV应用技术

根据韩国媒体《Etnews》报导指出,目前全球3大DRAM存储器中尚未明确表示采用EUV极紫外光刻机的美商美光(Micron),因日前招聘网站开始征求EUV工程师,揭露美光也在进行EUV运用于DRAM先进制程,准备与韩国三星、SK海力士竞争
2020-12-25 14:33:101459

美光科技开始提速EUV DRAM开发速度

美国美光科技开始提速EUV DRAM。加入到三星电子、SK海力士等全球第一、第二EUV厂商选择的EUV阵营后,后续EUV竞争或将更为激烈。
2020-12-25 14:43:131642

台积电为1nm制程狂购EUV光刻机

之前有消息称,台积电正在筹集更多的资金,为的是向ASML购买更多更先进制程的EUV光刻机,而这些都是为了新制程做准备。
2020-12-29 09:22:482192

为何EUV光刻机会这么耗电呢

EUV(极紫外光)光刻机,是目前半导体产业已投入规模生产使用的最先进光刻机类型。近来,有不少消息都指出,EUV光刻机耗电量非常大,甚至它还成为困扰台积电的一大难题。 为何EUV光刻机会这么耗电
2021-02-14 14:05:003915

日本的EUV实力如何?

近期三星为争抢EUV设备,高层频频传出密访ASML,EUV的重要性早已不言而喻。提到EUV,大家首先想到的就是ASML,ASML并不是一个家喻户晓的名字,但他却是现代技术的关键。因为它提供了制造
2021-01-16 09:43:112542

三星EUV设备将会出现再度升级

近期三星为争抢EUV设备,高层频频传出密访ASML,EUV的重要性早已不言而喻。提到EUV,大家首先想到的就是ASML,ASML并不是一个家喻户晓的名字,但他却是现代技术的关键。因为它提供了制造半导体必不可少的“光刻”机器,在摩尔定律即将发展到尽头的现在,可以说,得EUV者得先进工艺。
2021-01-16 09:44:472137

日本在EUV光刻机部件地位上不可忽略

近期三星为争抢EUV设备,高层频频传出密访ASML,EUV的重要性早已不言而喻。提到EUV,大家首先想到的就是ASML,ASML并不是一个家喻户晓的名字,但他却是现代技术的关键。因为它提供了制造半导体必不可少的“光刻”机器,在摩尔定律即将发展到尽头的现在,可以说,得EUV者得先进工艺。
2021-01-16 10:32:574386

为什么都抢着买价格更昂贵的EUV光刻机?

目前,还有ASML有能力生产最先进的EUV光刻机,三星、台积电都是ASML的客户。但受《瓦森纳协定》的制约,中国大陆没有从ASML买来一台EUV光刻机。
2021-01-21 08:56:184078

ASML下一代EUV光刻机延期:至少2025年

ASML公司前两天发布了财报,全年净销售额140亿欧元,EUV光刻机出货31台,带来了45亿欧元的营收,单价差不多11.4亿欧元了。 虽然业绩增长很亮眼,但是ASML也有隐忧,实际上EUV光刻机
2021-01-22 17:55:242639

SK海力士豪掷4.8万亿韩元抢购EUV光刻机

随着半导体工艺进入10nm节点以下,EUV光刻机成为制高点,之前台积电抢购了全球多数的EUV光刻机,率先量产7nm、5nm工艺,现在内存厂商也要入场了,SK海力士豪掷4.8万亿韩元抢购EUV光刻机。
2021-02-25 09:28:551644

SK海力士砸4.8万亿韩元买EUV光刻机

随着半导体工艺进入10nm节点以下,EUV光刻机成为制高点,之前台积电抢购了全球多数的EUV光刻机,率先量产7nm、5nm工艺,现在内存厂商也要入场了,SK海力士豪掷4.8万亿韩元抢购EUV光刻机。
2021-02-25 11:39:091844

三星积极向唯一EUV光刻机厂商ASML争取订单

三星一方面在积极向唯一的EUV光刻机厂商ASML争取订单,另外一方面也在增资为EUV产业链输血。
2021-03-04 09:52:411757

三星砸430亿韩元研发EUV光罩保护膜

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2021-03-04 10:13:051665

ASML分享未来四代EUV光刻机的最新进展

日前,ASML产品营销总监Mike Lercel向媒体分享了EUV(极紫外)光刻机的最新进展。
2021-03-19 09:39:404630

EUV防护膜的使用和改进将是一个循序渐进的过程

从2019年开始,晶圆厂就开始有限度地将极紫外线(EUV)光刻技术用于芯片的大批量制造(HVM)。在当时,ASML的Twinscan NXE系列光刻机能够满足客户的基本生产需求,然而整个EUV
2021-04-08 11:09:401989

厂商们“慌慌张张”,不过EUV几台

因此除了台积电、三星及英特尔等晶圆厂争抢EUV,后续包含美光、SK海力士也需要大量EUV设备。乘着5G普及的“顺风”,半导体微缩化需求逐步高涨,半导体厂家加速导入EUVEUV设备成为炙手可热的产品。
2021-05-18 09:49:512182

EUV光刻机何以造出5nm芯片

电子发烧友网报道(文/周凯扬)作为近乎垄断的光刻机巨头,ASML的EUV光刻机已经在全球顶尖的晶圆厂中获得了使用。无论是英特尔、台积电还是三星,EUV光刻机的购置已经是生产支出中很大的一笔,也成了
2021-12-07 14:01:1010742

关于EUV光刻机的缺货问题

台积电和三星从7nm工艺节点就开始应用EUV光刻层了,并且在随后的工艺迭代中,逐步增加半导体制造过程中的EUV光刻层数。
2022-05-13 14:43:202077

EUV照片源

先进光刻工艺EUV相关知识,适合对半导体工艺有兴趣的人员,或者是从事光刻工艺的工程师
2022-06-13 14:48:231

HVM中用于光刻的EUV源:历史和前景

HVM中的EUV光刻 •背景和历史 •使用NXE的EUV光刻:3400B •EUV生成原理 •EUV来源:架构 •现场EUV源 •电源展望 •总结
2022-06-13 14:45:450

euv光刻机三大核心技术 哪些公司有euv光刻机

中国芯的进步那是有目共睹,我国在光刻机,特别是在EUV光刻机方面,更是不断寻求填补空白的途径。
2022-07-05 10:38:3516742

euv光刻机出现时间 ASML研发新一代EUV光刻机

EUV光刻机是在2018年开始出现,并在2019年开始大量交付,而台积电也是在2019年推出了7nm EUV工艺。
2022-07-07 09:48:444523

euv光刻机是哪个国家的

说到芯片,估计每个人都知道它是什么,但说到光刻,许多人可能不知道它是什么。光刻机是制造芯片的机器和设备。没有光刻机的话,就无法生产芯片,因此每个人都知道光刻机对芯片制造业的重要性。那么euv光刻机
2022-07-10 11:42:276977

euv光刻机是干什么的

可以生产出纳米尺寸更小、功能更强大的芯片。 小于5 nm的芯片晶片只能由EUV光刻机生产。 EUV光刻机有光源系统、光学镜头、双工作台系统三大核心技术。 目前,最先进的光刻机是荷兰ASML公司的EUV光刻机。预计在光路系统的帮助下,能
2022-07-10 14:35:066173

duv光刻机和euv光刻机区别是什么

目前,光刻机主要分为EUV光刻机和DUV光刻机。DUV是深紫外线,EUV是非常深的紫外线。DUV使用的是极紫外光刻技术,EUV使用的是深紫外光刻技术。EUV为先进工艺芯片光刻的发展方向。那么duv
2022-07-10 14:53:1078127

euv光刻机原理是什么

euv光刻机原理是什么 芯片生产的工具就是紫外光刻机,是大规模集成电路生产的核心设备,对芯片技术有着决定性的影响。小于5 nm的芯片只能由EUV光刻机生产。那么euv光刻机原理是什么呢? EUV
2022-07-10 15:28:1015099

密度提升近3倍,高NA EUV光刻机有何玄机

电子发烧友网报道(文/ 周凯扬 )到了3nm这个工艺节点之后,单靠现有的0.33NA EUV光刻机就很难维系下去了。 为了实现2nm乃至未来的埃米级工艺,将晶体管密度推向1000MTr/mm2,全面
2022-12-07 07:25:02952

EUV的垄断终将结束 EUV***逐步走向“落末”

从出货量的不断增多,再到产品的更新换代。ASML尝到了EUV带给他的红利,但是ASML的首席技术官透露EUV即将走到尽头,之后的技术可能根本实现不了。
2023-01-30 16:31:492509

下一代EUV***,关键技术拆解!

但imec先进成像、工艺和材料高级副总裁斯蒂芬·希尔(Steven Scheer)在接受采访时非常理性地指出,要经济高效地引入High NA EUV光刻机,还需翻越“四堵墙”,包括改进EUV光刻胶的厚度、底层材料的属性、3D掩膜效应对成像的影响,以及与新型逻辑晶体管、存储芯片组件进行协同设计。
2023-03-17 09:27:091230

国产***EUV与DUV的分类

DUV是深紫外线(Deep Ultraviolet Lithography),EUV是极深紫外线(Extreme Ultraviolet Lithography)。前者采用极紫外光刻技术,后者采用深紫外光刻技术。
2023-03-20 14:23:2412166

EUV光刻技术优势及挑战

EUV光刻技术仍被认为是实现半导体行业持续创新的关键途径。随着技术的不断发展和成熟,预计EUV光刻将在未来继续推动芯片制程的进步。
2023-05-18 15:49:041792

ASML的EUV***研发历程

asml是euv技术开发的领先者。asml公司是半导体领域光刻机生产企业的领头羊,也是全球市场占有率最大的光刻机生产企业。2012年,asml推出了世界上第一个euv试制品,并于2016年推出了euv第一个商用显卡制造机asmlnxe:3400b。
2023-06-08 09:37:553202

EUV***市场:增长趋势、竞争格局与前景展望

EUV(Extreme Ultraviolet)光刻机是一种高级光刻设备,用于半导体制造业中的微电子芯片生产。EUV光刻机是目前最先进的光刻技术之一,它采用极端紫外光作为曝光光源,具有更短的波长
2023-07-24 18:19:471095

EUV光刻市场高速增长,复合年增长率21.8%

EUV掩膜,也称为EUV掩模或EUV光刻掩膜,对于极紫外光刻(EUVL)这种先进光刻技术至关重要。EUV光刻是一种先进技术,用于制造具有更小特征尺寸和增强性能的下一代半导体器件。
2023-08-07 15:55:02399

高数值孔径EUV的技术要求是什么

今年的大部分讨论都集中在 EUV 的下一步发展以及高数值孔径 EUV 的时间表和技术要求上。ASML战略营销高级总监Michael Lercel表示,目标是提高EUV的能源效率,以及他们下一代高数值孔径EUV工具的开发状况。
2023-08-11 11:25:25252

EUV光刻胶开发面临哪些挑战?

EUV光刻胶材料是光敏物质,当受到EUV光子照射时会发生化学变化。这些材料在解决半导体制造中的各种挑战方面发挥着关键作用,包括提高灵敏度、控制分辨率、减少线边缘粗糙度(LER)、降低释气和提高热稳定性。
2023-09-11 11:58:42349

EUV薄膜容错成本高 成芯片良率的关键

近20年来,EUV光源、EUV掩模和EUV光刻胶一直是EUV光刻的三大技术挑战。
2023-09-14 09:45:12563

什么是EUV光刻?EUV与DUV光刻的区别

EUV 光是指用于微芯片光刻的极紫外光,涉及在微芯片晶圆上涂上感光材料并小心地将其曝光。这会将图案打印到晶圆上,用于微芯片设计过程中的后续步骤。
2023-10-30 12:22:55615

三星希望进口更多ASML EUV***,5年内新增50台

EUV曝光是先进制程芯片制造中最重要的部分,占据总时间、总成本的一半以上。由于这种光刻机极为复杂,因此ASML每年只能制造约60台,而全球5家芯片制造商都依赖ASML的EUV光刻机,包括英特尔、美光、三星、SK海力士、台积电。目前,AMSL约有70%的EUV光刻机被台积电购买。
2023-11-22 16:46:56383

三星D1a nm LPDDR5X器件的EUV光刻工艺

三星D1a nm LPDDR5X器件的EUV光刻工艺
2023-11-23 18:13:02579

高数值孔径 EUV技术路线图

高数值孔径EUV 今年的大部分讨论都集中在EUV的下一步发展以及高数值孔径EUV的时间表和技术要求上。ASML战略营销高级总监Michael Lercel表示,其目标是提高EUV的能源效率,以及下一代高数值孔径EUV工具的发展状况。
2023-11-23 16:10:27255

ASML为什么能在EUV领域获胜?

在讨论ASML以及为何复制其技术如此具有挑战性时,分析通常集中在EUV机器的极端复杂性上,这归因于竞争对手复制它的难度。
2024-01-17 10:46:13116

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