日本的EUV***引进之路

电子发烧友网报道（文/周凯扬）随着欧美韩等国家均已引进EUV***，为其晶圆代工厂提供最先进的工艺支持，日本虽然半导体制造水平这些年来提升不大，却也计划引进EUV***来打破这一困局，重回行业一流水平。

美光的1γ节点

在今年五月，美光宣布将在日本引入EUV***，用于开发下一代DRAM，基于最先进的1γ节点。此消息一出，美光也就成为第一个为日本引入EUV***的企业，美光计划在未来几年内，为位于广岛的设施投资5000亿日元持续开发1γ技术。

在1γ节点之前，美光已经在广岛工厂实现了1β节点的大规模量产，而随着EUV***的引进，这类为逻辑工艺带来巨大的进步的天价设备，也将进一步加剧内存制造工艺竞争，毕竟来自韩国的两大竞争对手，三星和SK海力士更早就已经布局了。

不过哪怕是美光这样的行业巨头，在引进EUV***制造时付出的成本依旧难以忽略，为此日本政府也加入了该项目的投资。根据美光公开的情报，为了确保该节点晶圆厂的如期建成，日本经济产业省也在近日将补贴提高至1920亿日元，达到原计划的4倍。

除此之外，高NA EUV***的利用与研发投资已经在计划中。美光今年已经成功量产1β节点存储，且推出了HBM3E的样品，未来面向生成式AI并基于1γ节点打造的HBM4必将成为大带宽内存的下一个爆点。

日本半导体联合企业Rapidus剑指2nm

想必大家都还记得2022年8月成立的日本半导体晶圆厂Rapidus，在日本政府和八大日本公司的支持下，包括电装、铠侠、软银、索尼和丰田等厂商，Rapidus的计划是在2027年实现2nm逻辑工艺的制造。由此可见，即便有了出海建厂的台积电，日本仍计划在本地打造他们的半导体制造王牌。

不过要想实现2nm工艺的制造，自然是少不了EUV***的，甚至需要专门的人员支持。为此，ASML宣布将在Rapidus晶圆厂所在地北海道千岁市建立一个基地，用于支持这家日本晶圆厂未来的生产。根据日经新闻的报道，约50名ASML工程师将入驻该基地，帮助Rapidus在当地安装最先进的ASML EUV***。

不过，该晶圆厂的建设在上个月初才正式动工，离建成还有一段时间，所以此时EUV***的交付还不紧要。更重要的是与EUV***有关的制造技术的研究，为此Rapidus也与全球领先的EUV研究组织合作，比如IMEC和IBM等。

从报道上来看，日本政府已经为这家本土晶圆厂准备了不少资金，现在调用的补贴就达到了24亿美元，再加上8大日本公司的支持，可以说冲击2nm完全不是问题。不过Rapidus似乎也打算走一条与台积电、三星和英特尔不尽相同的赛道，他们并不打算走大批量量产通用芯片的路线，而是专注于专用芯片的制造，比如低功耗AI芯片等等。

这样的选择也算情有可原，毕竟即便有八大公司半导体专家的支持，Rapidus也依然缺少足够的人才做到台积电那样的体量，要知道目前Rapidus只有200多号员工，而台积电则有70000多名员工，而且后者也在日本招募半导体人才。所以Rapidus只要能够做到供应日本本土的半导体产业，提升其工艺水平，就已经算完成任务了。

写在最后

尽管日本的半导体制造产业链非常发达，比如材料、设备等，都有全球领先的企业，但在本土的晶圆厂上却始终没能赶上国际先进水平。所以日本政府为了改善这一现状，无论是海外入驻的企业，还是本土成立的新厂商，都为其提供了大量补贴用于厂房建设和EUV***的购置。

但引入EUV***带来的不仅是机遇，还有挑战，尤其是以上提到的两家厂商都在探索最新的半导体工艺，如果不能确保良率和效率的话，再先进的设备也难以带来可观的利润。