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电子发烧友网>今日头条>KOH溶液中氮化铝的湿化学蚀刻

KOH溶液中氮化铝的湿化学蚀刻

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硅在氢氧化钠和四甲基氢氧化铵中的温度依赖性蚀刻

过去利用碱氢氧化物水溶液研究了硅的取向依赖蚀刻,这是制造硅中微结构的一种非常有用的技术。以10M氢氧化钾(KOH)为蚀刻剂,研究了单晶硅球和晶片的各向异性蚀刻过程,测量了沿多个矢量方向的蚀刻速率,用单晶球发现了最慢的蚀刻面。英思特利用这些数据,提出了一种预测不同方向表面的倾角的方法
2023-05-29 09:42:40618

氮化镓在射频领域的优势盘点

氮化镓是一种二元III/V族直接带隙半导体晶体,也是一般照明LED和蓝光播放器最常使用的材料。另外,氮化镓还被用于射频放大器和功率电子器件。氮化镓是非常坚硬的材料;其原子的化学键是高度离子化的氮化化学键,该化学键产生的能隙达到3.4 电子伏特。
2023-05-26 10:10:41758

湿式化学蚀刻法制备硅片微孔

微孔利用光和物质的相互作用来获得独特的性质,特别是,当用紫外光、可见光或近红外光在其表面等离子体极化频率附近照射时,金属微孔结构表现出强烈的共振。然而,用于制造微孔的技术是耗时的,并且需要昂贵的设备和专业人员。因此,英思特开发了一种通过湿化学蚀刻硅衬底来制造微孔的方法。
2023-05-25 13:47:51846

一种新型氮化铝(AlN)压电传感器

休斯顿大学研究团队之前开发出了III-N压电传感器,该传感器由单晶氮化镓薄膜制成,但在温度高于350℃时,其灵敏度会降低。
2023-05-25 12:49:19362

美国休斯顿大学:开发出一种新型氮化铝传感器,并证实其可以在高达900℃的高温下工作

    传感新品 【美国休斯顿大学:开发出一种新型氮化铝传感器,并证实其可以在高达900℃的高温下工作】 航空航天、能源、运输和国防等关键行业需要能在极端环境下工作的传感器,以测量和监测多种
2023-05-23 08:39:45596

如何在蚀刻工艺中实施控制?

蚀刻可能是湿制程阶段最复杂的工艺,因为有很多因素会影响蚀刻速率。如果不保持这些因素的稳定,蚀刻率就会变化,因而影响产品质量。如果希望利用一种自动化方法来维护蚀刻化学,以下是你需要理解的基本概念。
2023-05-19 10:27:31575

PCB常见的五种蚀刻方式

一般适用于多层印制板的外层电路图形的制作或微波印制板阴板法直接蚀刻图形的制作抗蚀刻 图形电镀之金属抗蚀层如镀覆金、镍、锡铅合金
2023-05-18 16:23:484917

高导热填料球形氮化铝的作用应用领域

,且热膨胀不匹配导致的高热应力会导致永久的结构层面的机械故障。AlN的熔点高达2500℃,可用作高温耐热材料。同时,氮化铝的热膨胀系数(CTE,4.5×10–6/℃)相对较低,接近于Si及SiC,能够提供更好的热可靠性。因此,基于氮化铝陶瓷芯片级封装的超高温(500℃以上)微电子器件成为有效方案。
2023-05-17 15:34:32418

硅晶片的酸基蚀刻:传质和动力学效应

抛光硅晶片是通过各种机械和化学工艺制备的。首先,硅单晶锭被切成圆盘(晶片),然后是一个称为拍打的扁平过程,包括使用磨料清洗晶片。通过蚀刻消除了以往成形过程中引起的机械损伤,蚀刻之后是各种单元操作,如抛光和清洗之前,它已经准备好为设备制造。
2023-05-16 10:03:00584

氮化铝陶瓷在陶瓷线路板行业中的占比越来越高

以上这些问题和挑战,对于氮化铝陶瓷的应用和发展都是有一定影响的,但随着斯利通技术的不断进步,相信这些问题都可以得到逐步解决。
2023-05-11 17:35:22768

99氧化铝陶瓷基板为什么比96氧化铝陶瓷贵

探讨这个问题前,我们先来了解下什么是99%氧化铝陶瓷:99.6%的氧化铝陶瓷是一种高纯度、高硬度、高温度抗性和高耐腐蚀性的工程陶瓷材料,其中氧化铝含量高达99.6%以上。它具有良好的物理、化学
2023-05-11 11:02:13955

氮化铝陶瓷基板高导热率的意义

随着新能源汽车的快速发展。陶瓷基板,特别是氮化铝陶瓷基板作为绝缘导热材料得到了很大的应用。目前市场以170w/m.k的材料为主,价格很贵,堪称陶瓷界的皇冠。而120-130w/m.k的价格就要实惠
2023-05-07 13:13:16408

导热基础材料导热填料填充硅脂导热工艺

导热填料顾名思义就是添加在基体材料中用来增加材料导热系数的填料,常用的导热填料有氧化铝、氧化镁、氧化锌、氮化铝氮化硼、碳化硅等;其中,尤以微米级氧化铝、硅微粉为主体,纳米氧化铝氮化物做为高导热
2023-05-05 14:04:03984

氮化铝陶瓷基板高导热率的意义

随着新能源汽车的快速发展。陶瓷基板,特别是氮化铝陶瓷基板作为绝缘导热材料得到了很大的应用。目前市场以170w/m.k的材料为主,价格很贵,堪称陶瓷界的皇冠。而120-130w/m.k的价格就要实惠很多。那他们的散热表现差别有多少?先说结论:差别很小,考虑装配应用等因素外,基本可以忽略。
2023-05-04 12:11:36301

酸性化学品供应控制系统

[技术领域] 本实用新型涉及半导体制造技术领域,具体地说是一种酸性化学品供应控制系 统。 由于半导体行业中芯片生产线的工作对象是硅晶片,而能在硅晶片上蚀刻图形 以及清洗硅晶片上的杂质、微粒子的化学
2023-04-20 13:57:0074

化铝陶瓷基片在电路中的应用优势

化铝陶瓷基片作为一种基板材料广泛应用于射频微波电子行业,其介电常数高可使电路小型化,其热稳定性好温漂小,基片强度及化学稳定性高,性能优于其他大部分氧化物材料,可应用于各类厚膜电路、薄膜电路、混合电路、微波组件模块等。
2023-04-19 16:14:48602

《炬丰科技-半导体工艺》 HQ2和HF溶液循环处理  

书籍:《炬丰科技-半导体工艺》 文章:HQ2和HF溶液循环处理 编号:JFKJ-21-213 作者:炬丰科技 摘要 采用原子显微镜研究了湿法化学处理过程中的表面形貌。在SC-1清洗过程中,硅表面
2023-04-19 10:01:00129

谁才是最有发展前途的封装材料呢?

目前,常用电子封装陶瓷基片材料包括氧化铝(Al2O3)、氮化铝(AlN)、氮化硅(Si3N4)、氧化铍(BeO)、碳化硅(SiC)等。那么,谁才是最有发展前途的封装材料呢?
2023-04-13 10:44:04801

干法蚀刻与湿法蚀刻-差异和应用

干法蚀刻与湿法蚀刻之间的争论是微电子制造商在项目开始时必须解决的首要问题之一。必须考虑许多因素来决定应在晶圆上使用哪种类型的蚀刻剂来制作电子芯片,是液体(湿法蚀刻)还是气体(干法蚀刻
2023-04-12 14:54:331004

从头到尾的半导体技术

湿法蚀刻工艺的原理是使用化学溶液将固体材料转化为液体化合物。选择性非常高
2023-04-10 17:26:10453

PCB制作干膜和湿膜可能会带来哪些品质不良的问题?

PCB制作干膜和湿膜可能会带来哪些品质不良的问题?以及问题如何解决呢?
2023-04-06 15:51:01

氮化铝单晶的湿法化学蚀刻

清洗过程在半导体制造过程中,在技术上和经济上都起着重要的作用。超薄晶片表面必须实现无颗粒、无金属杂质、无有机、无水分、无天然氧化物、无表面微粗糙度、无充电、无氢。硅片表面的主要容器可分为颗粒、金属杂质和有机物三类。
2023-03-31 10:56:19314

化铝陶瓷基板的晶体结构、分类及性能

化铝有许多同质异晶体,例如α-Al2o3、β-Al2o3、γ-Al2o3等,其中以α-Al2o3的稳定性较高,其晶体结构紧密、物理性能与化学性能稳定,具有密度与机械强度较高的优势,在工业中的应用也较多。
2023-03-30 14:10:221079

PCB加工的蚀刻工艺

印刷线路板从光板到显出线路图形的过程是一个比较复杂的物理和化学反应的过程,本文就对其最后的一步--蚀刻进行解析。目前,印刷电路板(PCB)加工的典型工艺采用"图形电镀法"。即先在
2023-03-29 10:04:07886

调温调湿箱的特点介绍

调温调湿箱全名“恒温恒湿试验箱”是航空、汽车、家电、科研等领域必备的测试设备,用于测试和确定电工、电子及其他产品及材料进行高温、低温、湿热度或恒定试验的温度环境变化后的参数及性能,它主要用于根据试验
2023-03-28 09:02:36

使用 ClF 3 H 2远程等离子体在氧化硅上选择性蚀刻氮化

在湿蚀刻的情况下,随着SiNx/SiOy层的厚度减小,剩余的SiOy层由于表面张力而坍塌,蚀刻溶液对孔的渗透变得更具挑战性。
2023-03-27 10:17:49402

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