尺寸的OLED板材。 然而，这仅仅是一个开始。LG Display的声明证实，其目的是增加两家工厂的板材产量，它们的计划是实现每
2019-09-02 11:24:24
7913 10月15日，据国外媒体报道，目前全球顶尖的光刻机生产商ASML正在研发第三款EUV光刻机，并计划于明年年中出货。 从其所公布的信息来看，新款光刻机型号命名为TWINSCAN NXE:3600D
2020-10-17 05:02:003456 据外媒Korea Times消息，三星电子在本月初派出包括一名执行副总裁在内的团队访问ASML总部，计划引进最新的NXE3400光刻机，为7nm制程量产作准备。
2016-05-18 09:08:236512 5月23日消息，据韩国媒体报道称，LG Display将会进入到“Dual-Edge”曲面OLED显示屏市场，这个市场是三星显示器公司开创的，它占据了垄断地位，LG Display可以打破三星的垄断
2016-05-23 15:46:231356 电子发烧友早八点讯：据外媒报道，今年5月底曾有消息传出，LG Display计划投资4万亿韩元(约合35亿美元)在韩国本土建设一家全新的智能手机OLED屏幕生产工厂。不过显然根据LG的最新财报来看，这轮投资的4万亿韩元还远远不够，公司计划继续向OLED业务追加9.6万亿(约合85亿美元)的投资。
2017-07-27 08:50:36778 7月10日，LG Display今日宣布，其在中国广州建立8.5代OLED面板生产线的投资计划已正式通过中国国家市场监督管理总局审批，预计将于2019年下半年建成投产。
2018-07-11 14:01:054128 据cnBeta、环球网、快科技等多家媒体证实，近日长江存储从荷兰阿斯麦（ASML）公司订购的一台光刻机已抵达武汉。这台光刻机价值高达7200万美元，约合人民币4.6亿元。
2018-11-22 15:32:0920331 
7月23日，LG Display正式宣布，其在中国广州建设的8.5代OLED面板生产线正式投入量产，OLED电视市场普及迎来大提速。 当天下午，LG Display在广州高新技术产业开发区科学城开泰
2020-07-24 09:50:194776 坚持开发并扩展自己的光刻机业务。 尼康 尼康的光刻机产品阵容比较全面，包括ArF浸没式扫描光刻机、ArF步进扫描光刻机、KrF扫描光刻机、i线步进式光刻机和FPD面板光刻机，基本涵盖了除EUV以外的主流光刻机。其中最新的NSR-S635E为ArF浸没
2022-11-24 01:57:004865 电子发烧友网报道（文/周凯扬）随着欧美韩等国家均已引进EUV光刻机，为其晶圆代工厂提供最先进的工艺支持，日本虽然半导体制造水平这些年来提升不大，却也计划引进EUV光刻机来打破这一困局，重回行业一流
2023-10-10 01:13:001438 2015年年底完成。此举是LG希望更快地推进OLED照明业务的发展。LG化学自2012年以来就开始考虑是否要建立一条第五代OLED照明生产线。并购前，其已计划在2017年前建立一条价值1.85亿美元
2016-02-18 11:27:35
`光刻机MPA500FAb用光栅尺传感器(扫描部位)供应。型号：SONY SR-721 150mm SCALE UNIT with HK-105C`
2020-01-31 18:04:14
时期用上EUV光刻，国内的中芯国际也从ASML订购了一台EUV光刻机，但因为种种问题，现在交货时间还未明确。
2020-07-07 14:22:55
！光刻机本身的原理，其实和相机非常相似，同学们可以把光刻机就想成是一台巨大的单反相机。相机的原理，是被摄物体被光线照射所反射的光线，透过相机的镜头，将影像投射并聚焦在相机的底片（感光元件）上，如此便可
2020-09-02 17:38:07
`现在处理一批MA-1200光刻机的零件，有需要的朋友请直接联系我：137-3532-3169`
2020-02-06 16:24:39
是分步投影光刻机.利用分步投影光刻机,再结合移相掩膜等技术,已经得到了最小线宽0.10微米的图形。 ◆接近式暴光与接触式暴光相似,只是在暴光时硅片和掩膜版之间保留有很小的间隙,这个间隙一般在10~25
2012-01-12 10:56:23
如何利用L298N驱动一台两相步进电机或四相步进电机？
2021-10-20 06:50:35
如果国家以两弹一星的精神投入光刻机的研发制造，结果会怎样？
2020-06-10 19:23:14
您好，我想请教下，我想控制三台步进电机和三个直流电机，步进电机一个在20W左右，两个在50W左右；直流电机在100W左右，控制器一个可以做到吗？请问贵公司可以提供一些你们的参考设计吗?期待您的解答。
2020-05-08 08:58:56
据羊城晚报报道，近日中芯国际从荷兰进口的一台大型光刻机，顺利通过深圳出口加工区场站两道闸口进入厂区，中芯国际发表公告称该光刻机并非此前盛传的EUV光刻机，主要用于企业复工复产后的生产线扩容。我们知道
2021-07-29 09:36:46
光刻机的工作台是一个六自由度的运动台，其中X/Y向运动台是的核心基础工序。管控XY轴角度Yaw和Pitch，直线度Horizontal Straightness和Vertical
2023-02-20 15:49:07
GK-1000光刻掩膜版测温仪，光刻机曝光光学系统测温仪光刻机是一种用于微纳米加工的设备，主要用于制造集成电路、光电子器件、MEMS（微机电系统）等微细结构。光刻机是一种光学投影技术，通过将光线通过
2023-07-07 11:46:07
韩国媒体BusinessKorea与Korea Herald报导，三星显示器（Samsung Display）与乐金显示器（LG Display）两家面板巨擘，为了明年苹果iPhone的OLED面板的订单争夺战已经开打。
2016-11-02 17:43:29637 “未来，OLED将改变显示产业的规则，一统显示市场。”日前，平板显示产业的引领者LG Display在京召开发布会，展示OLED技术优势及战略规划。
2016-11-04 10:41:48510 此前，LG Display社长吕相德在中国OLED显示产业联盟举办的“2016中国OLED显示产业峰会”上表示，2017年将是全球OLED市场大幅增长的拐点。此前有外媒消息称LG将对其显示业务做出一些重大调整，未来LG将着力发展OLED显示业务。
2016-12-20 09:40:13463 海为S系列PLC有一路的高速脉冲输出，一般情况下只能控制一台步进电机进行工作。但是为了充分利用资源节约成本，可以利用正转/反转输出脉冲的模式再增加两个输出端来控制两台步进电机进行工作。正转脉冲和反转
2017-10-09 09:06:14
3 不过三星独家为苹果供应OLED屏的局面将很快被打破，因为又一家供应商LG Display也将为苹果提供OLED屏。
2018-06-29 15:49:00362 本文以光刻机为中心，主要介绍了光刻机的分类、光刻机的结构组成、光刻机的性能指标、光刻机的工艺流程及工作原理。
2017-12-19 13:33:01161180 
荷兰作为光刻的生产大国，很多人纷纷都在问为什么荷兰能生产二中国不行.本文主要分析了中国光刻机的发展分析以及与荷兰之间的差距，详细的说明了荷兰光刻机为什么厉害，为何光刻机不卖给中国的原因。
2017-12-19 14:56:42124548 之前就有传言LG Display将计划在中国广州建造OLED面板厂，此后 7 月，LG Display 确认了这个消息，并表示该工厂主要用于生产大尺寸 OLED 面板，以满足海外市场对这种电视屏幕快速增长的需求。现在终于获得韩国的审批通过，但是也有前提。
2017-12-26 16:44:12918 苹果新 iPhone 用 OLED 面板传出新进展。 韩媒报导，苹果新款 iPhone 很快将采用 LG Display 的 OLED 面板，初期出货量约 300 万到 500 万组。
2018-07-10 09:48:00321 HIS Markit分析师Jerry Kang透露，LG Display对于苹果来说至关重要，因为它可以让苹果减少对三星的依赖，同时加速OLED屏的普及，同时也意味着OLED屏的价格有望下调。
2018-06-29 15:04:00284 2017年7月，LG Display宣布计划在中国广州建设8.5代（2200×2500）OLED生产线，用以制造OLED电视面板。
2018-05-04 15:12:513486 近日消息，长江存储从荷兰阿斯麦(ASML)公司订购的一台光刻机（非EUV光刻机）已抵达武汉。这台光刻机价值高达7200万美元，约合人民币4.6亿元。此外，中芯国际中芯国际也向阿斯麦下单了一台价值高达1.2亿美元的EUV。
2018-05-27 07:46:007496 LG Display是LCD和OLED显示器的主要制造商之一，据悉，LG已经计划开始生产可折叠OLED显示器。
2018-08-04 08:27:143929 目前，LG Display几乎是垄断了全球业务的大型OLED电视面板市场，2018年第2季，受OLED电视销售量提升的影响，LG Display提高了相关面板的供货价格。
2018-10-11 10:56:351083 关键词：OLED , LG Display 200亿元资金的注入，为LG Display广州8.5代OLED生产线的如期投产加上了一道保险。 12月5日，LG Display与中国建设银行
2018-12-06 15:50:01190 在2年前尼康向ASML以及其合作伙伴蔡司发起法律诉讼，指二者在未经尼康允许将微影技术用于旗下光刻机，扯皮两年多后，三方总算达成和解。
2019-01-24 15:58:024630 LG显示（LG Display）将加快坡州10.5代大型OLED产线投资的速度。最近，OLED TV市场上确保价格竞争力的必要性增加，10.5代线量产后大尺寸OLED面板生产性将能提高，可以节减成本。
2019-01-27 09:15:205037 LG Display广州面板厂将于下月投产，或将加速OLED电视普及
2019-07-18 09:12:103450 研究所作为战略投资者，两家机构以无形资产作价10亿元入股，对应持股比例为33.33%。这意味着北京在推动国产光刻机核心部件生产方面迈出实质性步伐，将加快突破国产中高端光刻机制造“卡脖子”技术难题。
2019-08-12 16:22:223222 2019年8月29日，LG Display宣布，其在中国广州建设的8.5代OLED面板生产线正式投产。当天下午，LG Display在广州高新技术产业开发区科学城开泰大道的工厂内举行OLED面板工厂
2019-09-05 11:20:013452 据韩媒报道，由于LCD（液晶显示）价格持续下降，导致LCD业务盈利能力减弱，韩国LG Display正加速从LCD面板转向OLED面板。
2019-10-11 16:10:12915 据韩国方面报道，显示器制造商LG Display在最近的重组中，有超过20位公司高管被裁员，约占其行政工作人员的17%。这些高管包括广州大型OLED生产公司的负责人、电视营销和销售小组负责人、IT销售和营销小组的负责人以及与该公司CTO一起工作的高级研究人员。
2019-10-24 14:26:202343 华为计划制造具5G通信功能的60寸智能电视，韩媒报道指出，LG显示器（LG Display）将供给OLED面板给华为，两公司正在协商供应量。
2019-11-20 11:13:032944 据中国证券报报道，3月6日下午从中芯国际获悉，日前中芯国际深圳工厂从荷兰进口了一台大型光刻机，但这是设备正常导入，用于产能扩充，并非外界所称的EUV光刻机。
2020-03-07 10:55:144167 据韩媒Business Korea报道，LG Display的LCD市场份额已跌至第四位。从LCD市场排名的下降可以看出，该公司正将重点从LCD转向OLED面板。
2020-03-09 14:57:152576 在EUV光刻机方面，荷兰ASML（阿斯麦）公司垄断了目前的EUV光刻机，去年出货26台，创造了新纪录。据报道，ASML公司正在研发新一代EUV光刻机，预计在2022年开始出货。
2020-03-17 09:21:194670 光刻机是芯片制造的核心设备之一，作为目前世界上最复杂的精密设备之一，其实光刻机除了能用于生产芯片之外，还有用于封装的光刻机，或者是用于LED制造领域的投影光刻机。目前，我国高端的光刻机，基本上是从荷兰ASML进口的。
2020-03-18 11:12:0244389 3 月 18 日讯，据韩媒报道，LG Display 计划本月从尼康引进步进式光刻机，用于坡州市 P10 工厂内的 10.5 代 OLED 产线，以加快将业务重心转向 OLED。
2020-03-18 16:50:121081 近日，据韩媒the elec报道，LG Display广州厂将于今年5月开始大规模生产大尺寸OLED面板。这比原计划推迟了3个月之久，主要是受到新冠肺炎疫情的影响。
2020-03-22 18:04:502298 集微网消息，近日，福建安芯半导体科技有限公司出货一台价值近千万元的光刻机，现已交付国内某研究所用于cmos领域研究。
2020-04-14 16:03:007522 众所周知，智能手机芯片制造所需的光刻机一直以来被荷兰ASML公司垄断，一台精密光刻机售价上百亿，而我国半导体行业起步较晚，光刻机技术与ASML的差距非常大。而近期美国对华为芯片制裁升级，引起众多国人激愤，并希望国产芯片技术能够打破壁垒，实现芯片自主。
2020-06-12 14:22:455184 作为芯片制造的核心设备之一，光刻机对芯片生产的工艺有着决定性影响。 据悉，光刻机按照用途可分为生产芯片的光刻机、封装芯片的光刻机以及用于LED制造领域的投影光刻机。其中，生产芯片的High End
2020-06-15 08:05:54999 顶级光刻机有多难搞？ASML的光刻机，光一个零件他就调整了10年！拿荷兰最新极紫外光EUV光刻机举例，其内部精密零件多达10万个，比汽车零件精细数十倍！
2020-07-02 09:38:3911513 芯片是半导体中的积分器，目前芯片的利用率很高，要想在技术领域有所突破，就必须在芯片领域发展。在芯片制造中，最受关注的是光刻机的发展。到目前为止，我国光刻机制造领域还比较缺乏机械。我们的光刻机技术相对
2020-08-02 10:32:3224156 近日据韩媒报道，LG Display计划在9月开始全力运营其广州的OLED产线，每月可加工6万片OLED面板。广州工厂将与LG Display旗下的京畿道坡工厂形成协同效应，第三季度将是LG Display大型OLED业务的分水岭。
2020-09-15 09:15:44445 阿斯麦这家公司有多牛呢？在去年全球的光刻机市场中，阿斯麦占据了74%的市场份额，是不折不扣的巨无霸。他们生产的光刻机，有“印钞机许可证”之称，一台就1.2亿美元。
2020-09-20 10:41:143356 近段时间有关芯片以及光刻机的话题非常热门，我们今天也来探讨一下光刻机的话题。一台能生产先进工艺芯片的光刻机后面究竟需要多少供应链去支持？制造一台光刻机需要多少个国家的公司参与其中？看看制造一台光刻机究竟有多困难。
2020-09-25 09:47:306316 
光刻机又名：掩模对准曝光机，曝光系统，光刻系统等，是制造芯片的核心装备。它采用类似照片冲印的技术，把掩膜版上的精细图形通过光线的曝光印制到硅片上。光刻机是半导体产业中最关键设备，光刻工艺决定了半导体线路的线宽，同时也决定了芯片的性能和功耗。
2020-09-30 16:17:135162 
近段时间有关芯片以及光刻机的话题非常热门，我们今天也来探讨一下光刻机的话题。
2020-10-17 11:32:148260 最近光刻机十分火，我们经常听到别人说7纳米光刻机、5纳米光刻机，但其实严格意义上来说并不存在7纳米光刻机，5纳米光刻机，我为什么会这样说呢？
2020-10-19 11:42:5120305 ASML的EUV光刻机是目前全球唯一可以满足22nm以下制程芯片生产的设备，其中10nm及以下的芯片制造，EUV光刻机必不可缺。一台EUV光刻机的售价为1.48亿欧元，折合人民币高达11.74亿元
2020-10-19 12:02:499648 
尼康公司日前宣布裁员10%，大约有2000人会失业，影响主要是光学系统部门，不过这次不只是相机部门裁员，尼康的光刻机部门也要寻求新客户了。 ASML现在是全球瞩目的光刻机巨头，EUV光刻机更是独一份
2020-11-23 17:51:371264 日本光学设备制造巨头佳能（Canon）正计划靠提升光刻机的生产效率来抢占市场。按照计划，今年3月份，佳能将时隔7年（自2013年来），面向市场推出新型光刻机“FPA-3030i5a”，这款新品较旧机型的生产效率提升了将近17%。
2021-01-06 15:47:073242 目前，还有ASML有能力生产最先进的EUV光刻机，三星、台积电都是ASML的客户。但受《瓦森纳协定》的制约，中国大陆没有从ASML买来一台EUV光刻机。
2021-01-21 08:56:184078 %，净利润达到36亿欧元。全球光刻机主要玩家有ASML、尼康和佳能三家，他们占到了全球市场90%。 ASML由于技术领先，一家垄断了第五代光刻机EUV光刻机，这类光刻机用于制造7nm以下先进制程的芯片。 2020年ASML对外销售了31台EUV光刻机，带来了45亿欧元（折合352.52亿
2021-01-22 10:38:164677 
中芯国际的芯片工艺目前已发展至14nm，若想将芯片工艺进一步提升至7nm乃至3nm等先进制程，EUV光刻机设备就必不可少。那么，中芯国际此次12亿美元的采购协议都有哪些类型的光刻机，包含EUV光刻机吗？
2021-03-10 14:36:559466 上海新阳表示，公司采购的ASML干法光刻机设备顺利交付，对加快193nmArF干法光刻胶产品开发进度有积极影响，有利于进一步提升公司光刻胶产品的核心竞争力，加快落实公司发展战略，提高公司抗风险能力和可持续发展能力。
2021-03-10 17:13:002500 以下内容由对话音频整理 本期话题 ● EUV光刻机产能如何？ ● 晶圆为什么是圆的？ ● 不同制程的芯片之间有何区别？ ● 什么是逻辑芯片，逻辑芯片又包括哪些？ ● 专用芯片与通用芯片 ● 中科院
2021-03-14 09:46:3023476 光刻机，是现代光学工业之花，是半导体行业中的核心技术。 可能有很多人都无法切身理解光刻机的重要地位，光刻机，是制造芯片的机器，要是没有了光刻机，我们就没有办法造出芯片，自然也就
2021-07-07 14:31:18125772 没有任何一个国家的人比中国人更想造出顶级光刻机。网友甚至表示，只要造出光刻机，无论一个人做错了什么都可以原谅。
2021-08-26 17:32:3760119 
10月1日，国庆当天，“光刻机10亿一台仍供不应求”相关话题登上微博热搜。
2021-10-09 09:54:211665 荷兰ASML作为全球最大的光刻机制造商，占据了世界80%的市场份额。一台高端的光刻机内部零件高达10万件之多，但是其中的零件也并非出自ASML一家，而是集众于多家高科技厂商。
2022-01-03 17:31:009049 一台高端的光刻机由上万个零部件构成，光刻机的主要核心部件主要分为两个部分：分别是对准系统和紫外光源。
2022-01-03 17:09:0016944 刻蚀机不能代替光刻机。光刻机的精度和难度的要求都比刻蚀机高出很多，在需要光刻机加工的时候刻蚀机有些不能办到，并且刻蚀机的精度十分笼统，而光刻机对精度的要求十分细致，所以刻蚀机不能代替光刻机。
2022-02-05 15:47:0039915 光刻胶是光刻机研发的重要材料，换句话说光刻机就是利用特殊光线将集成电路映射到硅片的表面，如果想要硅片的表面不留下痕迹，就需要网硅片上涂一层光刻胶。
2022-02-05 16:11:0011281 光刻机是芯片制造的核心设备之一。目前有用于生产的光刻机，有用于LED制造领域的光刻机，还有用于封装的光刻机。光刻机是采用类似照片冲印的技术，然后把掩膜版上的精细图形通过光线的曝光印制到硅片上。
2022-02-05 16:03:0085814 按照光刻机的理想工作状态，一台光刻机一天能生产800×600颗芯片，也就是48万颗芯片，除去产品中的一部分次品，一天剩下的大概在40万颗芯片左右。
2022-02-05 16:15:00203957 光刻机又被称为掩膜对准曝光机，在芯片生产中用于光刻工艺，而光刻工艺又是生产流程中最关键的一步，所以光刻机又是芯片生产中不可缺少的设备，总得来说光刻机是用来制造芯片的。
2022-02-06 07:25:0029437 日前，在台积电召开的会议上，有一名高管称台积电将于2024年引进ASML正在研发的最新的High-NA EUV光刻机。 会议中，该高管称：为了满足客户所需的相关基础设施的开发等，台积电将于2024
2022-06-17 16:33:276499 中国芯的进步那是有目共睹，我国在光刻机，特别是在EUV光刻机方面，更是不断寻求填补空白的途径。
2022-07-05 10:38:3516743 三星电子和ASML就引进今年生产的EUV光刻机和明年推出高数值孔径极紫外光High-NA EUV光刻机达成采购协议。
2022-07-05 15:26:155634 光刻机是芯片制造的核心设备之一。目前世界上最先进的光刻机是荷兰ASML的EUV光刻机。
2022-07-06 11:03:077000 说到芯片，估计每个人都知道它是什么，但说到光刻，许多人可能不知道它是什么。光刻机是制造芯片的机器和设备。没有光刻机的话，就无法生产芯片，因此每个人都知道光刻机对芯片制造业的重要性。那么euv光刻机
2022-07-10 11:42:276977 目前，光刻机主要分为EUV光刻机和DUV光刻机。DUV是深紫外线，EUV是非常深的紫外线。DUV使用的是极紫外光刻技术，EUV使用的是深紫外光刻技术。EUV为先进工艺芯片光刻的发展方向。那么duv
2022-07-10 14:53:1078128 euv光刻机原理是什么 芯片生产的工具就是紫外光刻机，是大规模集成电路生产的核心设备，对芯片技术有着决定性的影响。小于5 nm的芯片只能由EUV光刻机生产。那么euv光刻机原理是什么呢？ EUV
2022-07-10 15:28:1015100 芯片想必大家都很熟悉，光刻机是是制造芯片的核心装备，并且光刻机只有一小部分国家拥有，那么光刻机为什么这么难呢？ 据说越小的东西，建造起来就越困难。 这句话不是没有道理的。 尽管手机中的芯片只有指甲
2022-07-10 17:37:228523 一台EUV光刻机工作一天大概需要耗电3万度。如果关闭1台EUV光刻机，一天就能省下3万度电。台湾目前工业用电价格约为2.45新台币（约合人民币0.55元），也就是说一天能省个1.65万元人民币的电费。
2022-09-08 10:54:061358 LG Display 的硅基OLED技术是直接在薄膜封装上形成彩色滤光片，保护 OLED 免受湿气和氧气的影响。为了在薄膜封装上形成彩色滤光片，还开发了可以在低于100度（℃）的低温下形成的彩色滤光片材料和工艺。
2022-11-04 20:39:441694 相较于半导体光刻机，显示面板设备其实更能算作佳能主场。尤其OLED蒸镀机——从市场份额来看，应当还没有敌手；而曝光机市场，则基本与尼康长期保持对半分。
2022-11-23 10:44:501528 厂商尼康和佳能为例，他们就仍在坚持开发并扩展自己的光刻机业务。 尼康 尼康的光刻机产品阵容比较全面，包括ArF浸没式扫描光刻机、ArF步进扫描光刻机、KrF扫描光刻机、i线步进式光刻机和FPD面板光刻机，基本涵盖了除EUV以外的主流光刻机
2022-11-24 07:10:033222 5月21日，LG Display对外表示，其关于超大尺寸OLED和可伸缩显示(Stretchable Display)的两篇新技术研究论文在国际信息显示学会(The Society for Information Display,简称SID)上被评为杰出论文(Distinguished Paper)。
2023-06-12 16:43:44511 LG Display在2019年推出了全球首款满足以上所有条件的车载P-OLED，为高端车载显示市场带来利好消息。
LG Display的车载P-OLED结合了Tandem OLED与具有弹性的塑料基板。尤其是P-OLED面板凭借其轻盈且可弯曲的特性，实现了更贴合人体工学的曲面设计。
2023-08-04 12:24:46629 
三星集团明年的电视市场也不稳定，因此不同意lg display扩大w-oled的供应。在三星display的量子点（qd） oled生产线启动率较低的情况下，如果三星电子增加lg display的w-oled供应，三星display的启动率可能会进一步下降。
2023-09-18 14:21:38550 自2021年末起，LG Display开始投用重氢至其OLED面板。然而，氘的应用需耗费大量时间与财力，包括制材与替换氢气等环节，目前仅限于大型OLED面板且仅限于蓝色区域。
2024-01-02 09:56:06170 WitDisplay消息，1月19日，LG Gram新产品在首尔汝矣岛现代百货店LG电子店展出，采用了 LG Display 的可折叠 OLED，重量轻且无折痕。
2024-01-22 10:04:06393 WitDisplay消息，三星电子和LG Display的合作关系将扩大。据悉，三星电子和LG Display正在推进OLED面板长期供应合同。
2024-01-23 09:46:22379 光刻机经历了5代产品发展，每次改进和创新都显著提升了光刻机所能实现的最小工艺节点。按照使用光源依次从g-line、i-line发展到KrF、ArF和EUV；按照工作原理依次从接触接近式光刻机发展到浸没步进式投影光刻机和极紫外式光刻机。
2024-03-21 11:31:4145 
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