一台高端的光刻机由上万个零部件构成,光刻机的主要核心部件主要分为两个部分:分别是对准系统和紫外光源。
目前对准系统主要有两大难题,精密的机械工艺和对准显微镜系统。精密的机械工艺目前只有美国、德国少数国家有这方面的专利,而对准显微镜系统其实就是镜片,在这方面我国一直处于落后的状态。
关于紫外光源,光刻机对光源的要求十分高,一是要有适当的波长,二是光要有足够的能量,三是光能量且必须要均匀的分布在曝光区。
审核编辑:姚远香
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