造光刻机需要哪些技术？

没有任何一个国家的人比中国人更想造出顶级光刻机。网友甚至表示，只要造出光刻机，无论一个人做错了什么都可以原谅。

因为光刻机，这种高精密芯片制造设备，是当前中国半导体的软肋。2002年，光刻机就被列入国家863重大科技攻关计划，

造光刻机需要哪些技术？

虽然制造光刻机涉及的产业体系非常庞大，但简单来说，主要是两点。

首先，制造光刻机需要数万个零部件。

一台光刻机含有80000个零件，最先进的极紫外光EUV光刻机所需的零部件更是超过10万个。整机光刻机包含曝光系统（照明系统和投影物镜）、工件台掩模台系统、自动对准系统、整机软件系统等。

所需要的核心部件如下：

制图：华秋商城

而在这些核心部件中，光学镜头、光学光源和工件台又是核心中的核心。

高数值孔径的镜头决定了光刻机的分辨率以及套值误差能力，重要性不言而喻。EUV极紫外光刻机唯一可使用的镜头由卡尔蔡司生产。

光源波长决定了光刻机的工艺能力。光刻机需要体积小、功率高而稳定的光源。如EUV光刻机所采用的波长13.5nm的极紫外光，光学系统极为复杂。

光刻机工件台系其中承载硅片完成光刻过程中一系列超精密动作的运动系统（包括上下片、对准、晶圆面型测量和曝光等），将影响光刻机的精度和产效，综合技术难度较高。

其次，需要精准的组装技术。

集齐所需的零部件后，需要精准的组装技术，把零部件组装起来，变成光刻机。ASML本质上更像是一家组装企业，毕竟其光刻机90%的部件是全球采购的，来自全球不同国家的超过5000家供应商。ASML能够打败尼康和佳能，称霸全球光刻机市场，离不开其超强组装技术。

而且ASML是一个知识密集型企业，拥有大量的受保护的专利和知识产权。他们的工程师非常擅长系统集成方面的知识，了解如何将这些制作光刻机所需要的元件集成在一起，也知道如何组装一个光刻机。ASML已经掌握了超过一半制造光刻机的核心技术。

编辑：jq