12亿美元，中芯国际订购光刻机

中芯国际继3月1日获得美国成熟工艺设备供应许可后，再次迎来好消息：中芯国际与ASML修订了总额为12亿美元（约合人民币77.6亿元）的光刻机批量采购协议。

12亿美元，中芯国际订购光刻机

3月3日晚间，中芯国际公告披露，公司于2月1日与阿斯麦（ASML）上海签订了经修订和重述的阿斯麦批量采购协议，将采购协议的期限延长一年至2021年12月31日。根据批量采购协议，公司已就购买用于生产晶圆的阿斯麦产品（即光刻机）与阿斯麦集团签订购买单，订单金额12亿美元。

来源：中芯国际公告 中芯国际表示，本公司为中国内地最先进及最大的集成电路制造商。为应对客户的需要，本公司继续扩大其产能、把握市场商机及增长。批量采购协议及阿斯麦购买单乃于本公司正常业务过程中就购置用于生产晶圆（为本公司主要业务）的相关机器作出。由于阿斯麦批量采购协议的期限已到期，本公司签订经修订和重述的阿斯麦批量采购协议。 合约的另一方阿斯麦（ASML）即荷兰阿斯麦，是全球最大的半导体设备制造商之一，主要业务为光刻机的研发和生产，在全球处于绝对领先地位。具体来看，ASML在45nm以下制程的高端光刻机市场中占有85%的份额；在EUV（极紫外）光刻机领域则处于绝对垄断地位，市场占有率100%。

业内关注：是否包含EUV光刻机？

光刻机在芯片生产中极为关键。其中极紫外光刻机（EUV）仅有ASML能够生产，这种设备主要用于生产7纳米及更先进制程的芯片。 中芯国际的芯片工艺目前已发展至14nm，若想将芯片工艺进一步提升至7nm乃至3nm等先进制程，EUV光刻机设备就必不可少。那么，中芯国际此次12亿美元的采购协议都有哪些类型的光刻机，包含EUV光刻机吗？ ASML的EUV光刻机当前主力出货型号是3400B，价格约1.2亿美元，其最新款的3600D定于2021年出货交付。 中芯国际本次公告并未就光刻机具体型号进行披露，但本次修订的订单或并不包括EUV光刻机。在2020年年底，中芯国际被美国列入实体清单时，美国商务部就特别明确，将原则上拒绝向其出口EUV等支持先进制程开发的技术。美国在2021年3月1日最新宣布的中芯国际设备的供应许可并不包括EUV光刻机。 且有业内资深人士透露，除了EUV光刻机，中芯国际几乎可以买到其他所有型号的光刻机，包括DUV（深紫外）光刻机。 此前，ASML的CFO在财报会议的视频采访中表示：如果宽泛地理解相关规则对AMSL的整体意义，ASML将能够从荷兰向中国客户（包括中芯国际）提供DUV光刻系统，且无需出口许可证。不过，如果涉及直接从美国运往此类客户的零件或系统，ASML则需要为此申请出口许可证。 在DUV光刻机方面，ASML的最新一代产品型号是NXT 2050i。公开资料显示，ASML于2020年第三季度对第一台TWINSCAN NXT 2050i进行了质量认证，并于第四季度初发货。由于对掩模版工作台、晶圆工作台、投影物镜和曝光激光器的技术改进，NXT2050i提供了比其前身更好的套刻精度控制，具有更高的生产率。 公开报道显示，ASML的上一代DUV产品NXT2000i光刻机，光刻精度可以达到1.9nm，远低于5nm要求的2.4nm以及7nm的3.5nm精度。 不过，考虑到EUV光刻机对于研发和生产先进制程芯片的重要性，传言中芯国际也没有就此放弃。此前业界有消息称，中芯国际在新任副董事长蒋尚义的"牵线下"，已经开始对EUV设备再次进行洽谈，但中芯国际并未对此作出官方回应，具体情况如何尚不得知。可以确定的是目前美国芯片禁令虽已有所松绑，但对象仅针对成熟制程芯片技术（14纳米及以上），EUV光刻机的获取仍是敏感话题。

保持盈利，中芯国际积极扩产

眼下正值全球芯片紧缺之际，中芯国际在积极扩张产能。此前，中芯国际联合CEO赵海军在业绩会上表示：“中芯国际会继续满载运行，预计一季度营收会回到10亿美元以上，同时是继续扩产，12英寸增加1万片，8英寸增加不少于4万5千片，但由于设备采购的等待时间越来越长，大部分设备都是在下半年才能到位，所以对今年的营收贡献不大，全年营收成长预计在中到高个位数。我们希望公司28纳米及以上产能，在未来的几年能够稳步增长，在扩大产能的同时，保持一定的盈利水平。” 中芯国际预测，上半年收入目标约21亿美元；全年毛利率目标为10%到20%的中部。赵海军还说道：“如果没有这些（外部制裁）影响，今年本应可以保持去年一样的快速成长态势。但我们一定会在危机中遇新机，继续全力自救，以服务全球客户为我们的目标。” 此外，根据中芯国际最新资本开支计划，2021年，公司计划资本支出进一步下降至43亿美元，其中大部分用于成熟工艺的扩产，小部分用于先进工艺（14纳米及以下工艺）、北京新合资项目的土建等。 在此前中芯国际发布的2020年第四季度和全年财报中，中芯国际季内收入为9.81亿美元，环比下降9.4%，同比上升16.9%。期内归母利润为2.57亿美元，环、同比分别增长0.3%、189.7%，达到历史新高。公司CFO高永岗当时解释称，收入下降主要是因为先进工艺出货下降以及整体产能利用率下降。 对比中芯国际在列入美国实体清单后的困境，现在全球芯片进一步紧缺，各晶圆厂几乎都满载运行，中芯国际喜迎美国14纳米及以上（14纳米及28等成熟工艺）设备的供应许可后，又重新确定了与ASML的新设备订单，中芯国际的运营前景在进一步明朗。

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