中芯国际表示深圳工厂进口光刻机不是EUV光刻机

IT之家3月6日消息 据中国证券报报道，3月6日下午从中芯国际获悉，日前中芯国际深圳工厂从荷兰进口了一台大型光刻机，但这是设备正常导入，用于产能扩充，并非外界所称的EUV光刻机。

IT之家今天早些时候报道，3月4日早上8点不到，中芯国际集成电路制造（深圳）有限公司从从荷兰进口的一台大型光刻机顺利通过出口加工区场站两道闸口进入厂区，这台机器主要用于企业复工复产后的生产线扩容。

据IT之家获悉，EUV光刻机主要用于7nm及以下制程。中芯国际目前量产的最先进制程为第一代FinFET 14nm，已贡献2019年第四季度1%营收。