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除ASML之外的光刻机厂商们近况如何?

E4Life 来源:电子发烧友网 作者:周凯扬 2022-11-24 01:57 次阅读
尽管ASML作为目前占据主导地位的光刻机厂商,凭借独有的EUV光刻机一骑绝尘,主导着半数以上的市场份额,但这并不代表着其他光刻机厂商也就“听天由命”了。以两大国外光刻机厂商尼康和佳能为例,他们就仍在坚持开发并扩展自己的光刻机业务。

尼康

尼康的光刻机产品阵容比较全面,包括ArF浸没式扫描光刻机、ArF步进扫描光刻机、KrF扫描光刻机、i线步进式光刻机和FPD面板光刻机,基本涵盖了除EUV以外的主流光刻机。其中最新的NSR-S635E为ArF浸没式扫描光刻机,可以做到小于等于38nm的分辨率,1.35的数值孔径和大于275晶圆/小时的吞吐量。
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NSR-S635E光刻机 / 尼康

虽然这样的机器在分辨率上与ASML的EUV光刻机还存在着不小的差距,但已经足以覆盖不少成熟工艺的晶圆制造,以及部分次先进节点的辅助制造了。而在去年的SPIE先进光刻机技术会议上,尼康展示了名为双光束EUV光刻技术。

虽然仍在概念阶段,但从论文上看基于该技术打造的光刻系统可以做到10nm的分辨率,0.4的数值孔径和200晶圆/小时以上的吞吐量,这样的参数甚至可以与ASML正在制造的高NA EUV光刻机一较高下了。不过要想造出这样的机器光有概念可不够,与之相关的元件与设备生态都得建立起来才行。

从尼康最新季度的财报来看,由于工厂建设的投入被推迟,FPD光刻系统市场有所下滑,所以销量有所降低,上季度只卖出了6台FPD光刻机,6台i线光刻机、1台KrF光刻机和1台ArF浸没式光刻机。由于ArF光刻机仍有着较为强劲的需求,所以尼康仍然看好这一市场的未来趋势,目前核心客户因为人员短缺或能源供应等问题,只是在交付上有所推迟。所以哪怕是半导体市场有些许低迷,尼康也并没有任何订单因此被取消。

值得一提的是,虽然尼康本身目前并没有生产EUV光刻机,却有为EUV系统生产光学组件的。不过与EUV光刻机本身一样,EUV的光学组件拥有极长的交期。除EUV系统以外,一些先进测量设备、先进封装设备用到的光学组件同样是高附加值、长交货周期的产品,即便半导体市场增速减缓,也不太会受到设备厂商资本支出变化的影响。

佳能

对于佳能来说,光刻机业务隶属于他们的工业与其他事业部,除了光刻机以外还有贴片机等设备。但从具体数额看来,佳能的主要营收来源还是他们的印刷和影像部门,包括打印机、数码相机等等,从2021年的年报来看,两部门分别贡献了55.2%和18.6%的营收。
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FPA-6300ES6a光刻机 / 佳能

佳能与尼康一样,同样拥有影像和光刻机两大业务,但在光刻机上,佳能的主要产品是i线和KrF光刻机,其中主打高分辨率高产量的KrF扫描光刻机FPA-6300ES6a可以做到小于等于90nm的分辨率。虽然分辨率不高,但佳能正在以纳米压印技术打造下一代nm级的光刻机,以该技术打造的光刻系统制造成本将比EUV低40%,同时将运行功耗90%。不过这类设备目前仍在研发中,从目前已经展示的结果来看,还只能做到10nm工艺的图形化。

而今年的第三季度,佳能的光刻系统营收相较去年同比增长了22.9%,达到645亿日元,主要来自50台半导体光刻机、15台FPD光刻机的销量。佳能预计将在今年卖出180台半导体光刻机,52台FPD光刻机。

在财报中,佳能指出,2022年的半导体设备市场中,虽然存储市场有所下滑,但功率设备和逻辑设备的需求依然在强劲增长。与此同时,佳能计划在宇都宫扩建一座新的光刻机工厂,用于加倍产能,进一步扩大在半导体光刻机市场的份额。

至于面板市场,由于全球通胀和经济下行等原因,PC、电视和智能手机的销量下滑,全球市场相较去年会有所下滑。但佳能认为,从中长期角度来看,被用于各种产品中的OLED面板势必会带来显著的增长。不过佳能面临的处境还是组件短缺和客户延迟工厂建设,所以部分FPD光刻机的交付都被推迟到了明年。

小结

从尼康和佳能两家的财报来看,他们都没有屈服于ASML可怕的实力,仍在积极推动DUV光刻机、FPD光刻机的销售和交付,与此同时也都在低调地进行着下一代光刻系统的研究。对于整个半导体产业来说,有更多的厂商来搅局也未免不是一件好事。

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    ASML DUV光刻机亮相,让边缘定位精度不断提高

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    的头像 发表于 11-06 14:54 2121次阅读

    目前全球只有荷兰ASML有能力生产EUV光刻机

    11月5日,世界光刻机巨头荷兰阿斯麦ASML亮相第三届进博会。作为全球唯一能生产EUV(极紫外光)光刻机的企业,由于ASML目前仍不能向中国出口EUV光刻机,所以此次展示的是其DUV(深紫外光)光刻机。据悉,该产品可生产7nm及以上制程芯片。
    的头像 发表于 11-06 11:27 3633次阅读

    ASML承诺对向中国出口集成电路光刻机持开放态度

    11月5日,世界光刻机巨头荷兰阿斯麦ASML亮相第三届进博会。作为全球唯一能生产EUV(极紫外光)光刻机的企业,由于ASML目前仍不能向中国出口EUV光刻机,所以此次展示的是其DUV(深紫外光)光刻机。据悉,该产品可生产7nm及以上制程芯片。
    的头像 发表于 11-06 11:18 1762次阅读
    <b>ASML</b>承诺对向中国出口集成电路<b>光刻机</b>持开放态度

    EUV受限,ASML开绿灯,向中国展示7nmDUV光刻机

    正在进行的第三届进博会上,光刻机巨头ASML也参展了,并且还在自己的展台上晒出展示了DUV光刻机
    的头像 发表于 11-05 17:06 8541次阅读

    三星副会长跑ASML总部去催货光刻机

    作为半导体生产中的重要设备,光刻机不可或缺,尤其是7nm以下先进工艺生产离不开的EUV光刻机,目前全球只有荷兰ASML公司能够生产,而台积电、三星、英特尔等晶圆生产大厂,都有迫切需求,因此这个市场
    的头像 发表于 10-27 11:30 1595次阅读

    中科院宣布介入光刻机研发之后,ASML宣布将在中国加大布局

    无独有偶,在中科院宣布介入光刻机研发之后,ASML宣布将在中国加大布局。阿斯麦(ASML)全球副总裁、中国区总裁沈波近日对媒体表示:“ASML在中国已有700多台光刻机的装机,几乎所有主要芯片生产厂商都有我们的服务。
    的头像 发表于 10-22 18:11 6633次阅读

    ASML可以从荷兰向中国出口DUV(深紫外)光刻机,无需美国许可

    随后达森对ASML光刻机出口问题作出了解释,他说:“如果要解释一下美国的规定对ASML有什么影响的话,对于的中国客户,我们还是可以直接从荷兰向他们出口DUV光刻机,无需任何出口许可。”
    的头像 发表于 10-22 14:58 2364次阅读

    EUV光刻机还能卖给中国吗?

    。媒体称,台积电采购的EUV光刻机已经超过30台,三星累计采购的EUV光刻机不到20台。 围绕芯片制造要用到的关键设备光刻机,一直不缺话题。 比如,一台EUV光刻机卖多少钱?谁买走了这些EUV光刻机?大陆厂商还能买到光刻机吗?为何三星高管最近跑去荷兰拜访A
    的头像 发表于 10-19 12:02 7324次阅读
    EUV<b>光刻机</b>还能卖给中国吗?

    ASML明年将发布新一代EUV光刻机 三星太子急赴荷兰

    10月15日,据国外媒体报道,目前全球顶尖的光刻机生产商ASML正在研发第三款EUV光刻机,并计划于明年年中出货。 从其所公布的信息来看,新款光刻机型号命名为TWINSCAN NXE:3600D
    的头像 发表于 10-17 05:02 3009次阅读

    ASML公布新一代EUV光刻机

    ASML共获得60台光刻机的销售收入,总额31亿欧元,其中EUV光刻机14台,但收入占比达到了66%。 地区方面
    的头像 发表于 10-16 14:27 3177次阅读

    1.2亿美元光刻机

    荷兰阿斯麦(ASML)公司的光刻机作为世界上最贵最精密的仪器,相信大家都有耳闻,它是加工芯片的设备。其最先进的EUV(极紫外光)光刻机已经能够制造7nm以下制程的芯片,据说一套最先进的7纳米EUV
    的头像 发表于 10-15 09:20 2873次阅读

    中国厂商购买光刻机是否需要出口许可证?AMSL回应

    对于我国的芯片行业而言,更为先进的光刻机的确是个很大逾越的障碍,而全球的设备也都来自ASML
    的头像 发表于 10-15 09:17 1001次阅读

    擦肩而过的光刻机

    1964年中国科学院研制出65型接触式光刻机;1970年代,中国科学院开始研制计算机辅助光刻掩膜工艺;清华大学研制第四代分部式投影光刻机,并在1980年获得成功,光刻精度达到3微米,接近国际主流水平。而那时,光刻机巨头ASML还没诞生。
    的头像 发表于 09-20 10:35 4852次阅读

    收购光刻机光刻掩膜版、提供光刻方案以及激光加工服务

    1、光刻相关收购--各公司及个人闲置激光和电子束直写光刻机光刻版、以及各类aligner(stepper不收)。提供--各类直写光刻解决方案以及配套光刻工艺主、辅材。2、提供精密机加工以及激光切割
    发表于 09-04 09:05

    光刻机是干什么用的

    的要求则反过来,我们要确保影像要绝对清晰,就要将对焦点落在光阻上,并且确保光阻绝对不可落到景深范围之外。那ASML光刻机景深有多大呢?  所以我们就是要把光阻移到这个100nm的范围之内,是不是有点
    发表于 09-02 17:38

    收购光刻机光刻掩膜版、提供光刻方案以及激光加工服务

    1、光刻相关收购--各公司及个人闲置激光和电子束直写光刻机光刻版、以及各类aligner(stepper不收)。提供--各类直写光刻解决方案以及配套光刻工艺主、辅材。2、提供精密机加工以及激光切割
    发表于 08-19 12:02

    光刻机巨头ASML将在中国台湾建立海外首个培训中心

    据媒体报道,光刻机巨头ASML(阿斯麦)日前宣布,将在中国台湾的南部科学园区建立自己在海外(荷兰之外)的首个培训中心,旨在就近辅导台积电所领导EUV光刻制造集群。
    的头像 发表于 08-18 10:04 1871次阅读

    收购光刻机光刻掩膜版、提供光刻方案以及激光加工服务

    1、光刻相关收购--各公司及个人闲置激光和电子束直写光刻机光刻版、以及各类aligner(stepper不收)。提供--各类直写光刻解决方案以及配套光刻工艺主、辅材。2、提供精密机加工以及激光切割
    发表于 08-03 08:50

    收购 光刻机光刻版、提供光刻和激光加工服务。

    1、光刻相关收购--各公司及个人闲置激光和电子束直写光刻机光刻版、以及各类aligner(stepper不收)。提供--各类直写光刻解决方案以及配套光刻工艺主、辅材。2、提供精密机加工以及激光切割
    发表于 07-31 16:06

    光刻机工艺的原理及设备

    实际过程肯定没这么简单,上图是ASML典型的沉浸式步进扫描光刻机为例来看下光刻机是怎么工作的——首先是激光器发光,经过矫正、能量控制器、光束成型装置等之后进入光掩膜台,上面放的就设计公司做好的光掩膜
    发表于 07-07 14:22

    上海研发28nm光刻机的背后:开发顶级光刻机的困难

    顶级光刻机有多难搞?美国曾有一位工程师感叹道:ASML光刻机,光一个零件他就调整了10年!拿荷兰最新极紫外光EUV光刻机举例,其内部精密零件多达10万个,比汽车零件精细数十倍!
    的头像 发表于 07-02 09:38 8951次阅读

    为什么只有ASML才能制造出顶级光刻机,其技术难度有多高

    大家都知道,目前我国光刻机技术至少落后荷兰ASML15年,目前荷兰ASML的顶级光刻机可以达到7nm工艺,目前他们正大研发5nm工艺光刻机
    的头像 发表于 04-19 23:43 8948次阅读

    光刻机能干什么_英特尔用的什么光刻机_光刻机在芯片生产有何作用

    光刻机是芯片制造的核心设备之一,作为目前世界上最复杂的精密设备之一,其实光刻机除了能用于生产芯片之外,还有用于封装的光刻机,或者是用于LED制造领域的投影光刻机。目前,我国高端的光刻机,基本上是从荷兰ASML进口的。
    的头像 发表于 03-18 11:12 3.5w次阅读

    ASML凭什么称霸光刻机市场

    近日,荷兰光刻机巨头阿斯麦(ASML)公司2019年的年报中披露了关于下一代EUV极紫光刻机的研发进程,预计2022年年初开始出货,2024年实现大规模生产。
    的头像 发表于 03-17 15:25 2444次阅读

    ASML新一代EUV光刻机预计2022年开始出货 将进一步提升光刻机的精度

    在EUV光刻机方面,荷兰ASML(阿斯麦)公司垄断了目前的EUV光刻机,去年出货26台,创造了新纪录。据报道,ASML公司正在研发新一代EUV光刻机,预计在2022年开始出货。
    的头像 发表于 03-17 09:21 3953次阅读

    ASML研发新一代EUV光刻机 分辨率能提升70%左右

    在EUV光刻机方面,荷兰ASML(阿斯麦)公司垄断了目前的EUV光刻机,去年出货26台,创造了新纪录。据报道,ASML公司正在研发新一代EUV光刻机,预计在2022年开始出货。
    的头像 发表于 03-17 09:13 2312次阅读

    光刻机公开全部图纸也模仿不了

    众所周知,说起芯片,大家就会想到光刻机,说起光刻机,大家就会想到ASML。因为在芯片生产中,光刻机特别重要,而ASML又是高端光刻机的垄断者,占了85%以上的高端市场。
    的头像 发表于 02-20 20:30 4614次阅读

    光刻机为何在我国是个难题

     光刻机是芯片制造最为重要的设备之一。目前,ASML垄断了全世界的高端光刻机。中国一直以来都想掌握光刻机技术,但是上海微电子经过17年的努力,才造出90nm的光刻机,这已经十分不容易了,这可是0的突破。那么为什么光刻机这么难造呢?
    的头像 发表于 01-29 11:07 6576次阅读

    终于能正常交付了,ASML官方表示继续向中国企业供应光刻机

    相信大家都知道,在前一段时间,关于ASML无法按期交付中芯国际所订购的极紫外光刻机的事件,也是引发了国内网友的高度关注,其中有网友更是直接认为:“ASML光刻机估计遭受到了美国方面的“禁运”,导致中芯国际无法正常收到货。”
    的头像 发表于 01-10 09:11 1.1w次阅读

    中芯国际与ASML光刻机问题解决,开始进入光刻阶段

    在半导体工艺进入 10nm 节点之后,制造越来越困难,其中最复杂的一步——光刻需要用到 EUV 光刻机了,而后者目前只有荷兰 ASML 阿斯麦公司才能供应。
    的头像 发表于 12-10 16:04 6216次阅读

    光刻机到底有多难,中国花费17年才能取得突破

    光刻机是芯片制造最为重要的设备之一。目前,ASML垄断了全世界的高端光刻机
    的头像 发表于 11-28 17:19 1.5w次阅读

    供应光刻机镜片

    供应光刻机镜片,除了二手配件还可以供应全新产品,型号如下:1、L5 BN9-5032-0002、L6 BN9-5033-0003、BN9-5015-0004、BN9-5021-0005
    发表于 09-16 08:56

    ASML发布2019年Q2季度财报 EUV光刻机最主要的问题还是产能不足

    掌握全球唯一EUV光刻机研发、生产的荷兰ASML(阿斯麦)公司今天发布了2019年Q2季度财报,当季营收25.68亿欧元,其中净设备销售额18.51亿欧元,总计出货了41台光刻机,其中EUV光刻机7台。
    的头像 发表于 07-18 16:02 2634次阅读
    <b>ASML</b>发布2019年Q2季度财报 EUV<b>光刻机</b>最主要的问题还是产能不足

    ASML光刻机机密被中国人窃取?

    在半导体制造过程中,最重要的一个过程就是光刻工艺,需要用到光刻机,7nm及以下节点工艺则需要EUV光刻机,目前只有荷兰ASML公司能生产,每台售价超过1亿欧元,可以说是半导体行业的明珠了,是门槛非常高的先进技术。
    的头像 发表于 07-12 10:38 3713次阅读

    ASML光刻机的工作原理,光刻机制造难度有多大?

    测量台、曝光台:承载硅片的工作台,也就是双工作台。一般的光刻机需要先测量,再曝光,只需一个工作台,而ASML有个专利,有两个工作台,实现测量与曝光同时进行。而本次“光刻机双工件台系统样机研发”项目则是在技术上突破ASML对双工件台系统的技术垄断。
    的头像 发表于 05-15 17:56 1.3w次阅读
    <b>ASML</b><b>光刻机</b>的工作原理,<b>光刻机</b>制造难度有多大?

    为何光刻机不卖给中国

    谈起光刻机相信大家首先想到的是荷兰,确实如此,荷兰光刻机在全球都是数一数二的,就连最顶尖的光刻机制造公司ASML也位于荷兰,二荷兰光刻机之所以这么出名,很大程度是由于荷兰在这方面下了很大的功夫,比如技术投入、研发团队以及资金投入都是其他国家难以比拟的。
    的头像 发表于 03-14 14:17 1.5w次阅读

    ASML竞争对手光刻机制造商Mapper宣布破产

    荷兰的光刻机制造是世界有名的,其中的ASML就是全球最大的光刻机厂商。上周有消息传出,其荷兰的竞争对手、代尔夫特的光刻机制造商Mapper证实正式宣布破产。
    的头像 发表于 01-07 11:29 3487次阅读

    光刻机巨头ASML供应商突发大火,影响2019年初出货

    关键词:光刻机 , ASML 来源:观察者网 全球芯片领域之争,“上游失火”尤为致命。 荷兰光刻机霸主ASML公司最近就突发一起事故。其元件供应商Prodrive工厂12月1日发生火灾,ASML预计
    发表于 12-10 16:14 159次阅读

    ASML正在着手开发新一代极紫外(EUV)光刻机

    ASML副总裁Anthony Yen表示,ASML已开始开发极紫外(EUV)光刻机,其公司认为,一旦当今的系统达到它们的极限,就将需要使用极紫外光刻机来继续缩小硅芯片的特征尺寸。
    的头像 发表于 12-09 10:35 6538次阅读

    为什么除了荷兰其他技术大国就不能生产顶尖光刻机呢?

    荷兰的ASML公司生产的光刻机可以说得上是世界性能最好的光刻机了,每年都会有许多人来预约、购买光刻机
    的头像 发表于 08-31 10:20 1.1w次阅读

    光刻机ASML拒收中国籍员工,缘由美国政府干涉

    光刻机领域,荷兰ASML公司几乎垄断了全球高端光刻机市场,在EUV光刻机中更是独一份,7nm及以后的工艺都要依赖EUV光刻机。在高科技领域,美国这一年来加强了对中国人的防范,不只限于美国本土,就连欧洲公司也受到了美国政府的压力,荷兰ASML被曝禁止招收中国籍员工。
    的头像 发表于 08-23 10:45 5492次阅读

    asml光刻机股东是谁_asml光刻机股东介绍

    本文首先介绍了asml公司,其次介绍了关于asml公司的股东以及各个股东的简介,最后带领大家了解一下荷兰光刻机为什么受到青睐的厉害之处。
    的头像 发表于 04-10 14:15 6.2w次阅读

    出售MPA600投影式光刻机

    `出售CANON MPA600-FA、CANON MPA500-FAb 、PE M600HT 投影式光刻机,有意者请联系:15952512646(沈女士),QQ:57070914`
    发表于 05-16 15:21

    关于光刻机与机床

    是先有光刻机才有高精机床呢,还是有了高精机床才有光刻机,高精机床的核心部件是伺服电机吗?  有了光刻机才能造出好的芯片,才能有好的数控系统,但是矛盾在这儿,没有高精机床,怎么能生产出好的光刻机
    发表于 05-28 20:37

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