六轴压电纳米运动平台的详细介绍

热热闹闹的新春假期结束了，新的一个农历年到来，大家也都回到了自己的岗位上，芯明天祝大家开工大吉!

此次推文为大家带来一款芯明天的六轴压电纳米运动平台-H61.XYZTR0S!芯明天六轴压电纳米定位台H61.XYZTR0S是一款六轴运动的压电平台，精度高、承载大，适用于静态六轴的直线纳米定位及角度纳弧度偏转，中心具有通孔，适于进行纳米级高精度定位调节的透射光应用。

H61.XYZTR0S六轴压电纳米定位台的驱动形式不同于六自由度结构，它的外形更加常规化，运动区域局限于中心方形移动台面，非常易于平台与负载的安装固定。

大型通孔，适于透光应用

H61.XYZTR0S六轴压电纳米定位台的中心具有50mm×50mm的方形通孔，非常适合透射光的应用，如样品的观测与显微成像等。

承载能力强，适于大负载应用

H61.XYZTR0S六轴压电纳米定位台的承载能力可达10.5kg!非常适合较大型样品负载的六轴纳米定位。

H61.XYZTR0S六轴压电纳米定位台在X Y方向的位移为80μm(或±40μm)，Z向位移达35μm，θx θy方向的偏转行程为0.7mrad/轴(或±0.35mrad/轴)，θz方向的偏转行程为0.3mrad/轴(或±0.15mrad/轴)。在如此小的运动范围下，六轴压电平台可进行更加精确的纳米级直线运动与纳弧度级角度运动，为应用环境提供超高精度的运动控制。

六轴纳米定位，更高精度

配套控制器-E51.D7S压电控制器

如下图所示，E51.D7S压电控制器是专用于驱动六轴压电定位平台而设计研发的低功耗、低纹波控制器，结构紧凑易于集成。与H61.XYZTR0S压电定位平台构成高精度六轴纳米定位系统。在E51.D7S压电控制器的控制下H61.XYZTR0S压电定位平台X、Y、Z、θx、θy、θz六个维度的操作与控制将更加灵活，即使在10kg的超大负载下。

使得H61.XYZTR0S压电定位平台的应用范围扩展到多个领域。

H61.XYZTR0S六轴定位系统

(图左：E51.D7S压电控制器，图右：H61.XYZTR0S)

典型应用

• 六轴超精密位置调整

• 棱镜位置调整

• 光学应用

• 透射光应用

实测数据曲线

1)角度与电压曲线

2)直线位移与电压曲线

3)阶跃时间曲线

技术参数

型号：H61.XYZTR0S

运动方向：X、Y、Z、θx、θy、θz

驱动控制：7路驱动

XYZ标称行程范围(0~120V)：

XY：±32μm/轴

Z：28μmXYZ

行程范围(0~150V)：

XY：±40μm/轴

Z：35μm

θxθy 标称偏转行程(0~120V)：

±0.28mrad/轴

θz 标称偏转行程(0~120V)：

±0.12mrad/轴

θxθy 偏转行程(0~150V)：

±0.35mrad/轴

θz 偏转行程(0~150V)：

±0.15mrad/轴

空载谐振频率：350Hz

负载10.5kg谐振频率：50Hz

传感器：SGS

承载能力：10.5kg

中心通孔：50mm×50mm

外形尺寸：L200×W200×H64 mm^3

使用方式：正向使用、静态

静电容量：

XYZ 29μF/轴

θxθyθz 15μF/轴

重量：<4kg

材质：钢、铝

审核编辑：汤梓红