毫米行程柔性驱动压电纳米定位台：超大行程，纳米级精度

在精密制造与科研领域，纳米级的定位精度往往是决定成败的关键。为了满足大行程与高精度的平衡需求，芯明天推出全新P15.XY1000压电纳米定位台，在继承P15系列卓越性能的基础上，将单轴行程提升至1mm，同时延续纳米级精度与高稳定性，为更大范围的精密应用提供全新解决方案。

一、P15.XY1000S/K：超大行程与高精度的双重突破

作为P15系列的大行程新成员，P15.XY1000S/K在保留系列核心优势的基础上，针对大范围精密运动需求做了关键升级，核心亮点集中在两点：

1.1mm/轴超大行程：覆盖更广阔的应用场景

P15.XY1000S/K实现了单轴行程可达1000μm，XY二维运动可覆盖1mm×1mm的范围，这意味着在处理大尺寸样品，如更大面积的晶圆、生物组织切片时，无需频繁移动样品台或调整光路，既能减少重复定位误差，又能显著提升检测和加工效率。

2.纳米级精度：温度漂移零影响

高精度是压电纳米定位台的核心价值，P15.XY1000S/K通过两大设计保障精度：

1）内置高性能压电陶瓷：响应速度快、输出力稳定，确保运动的平顺性与重复性；

2）闭环版本全桥设计：通过特殊的闭环全桥连接方式，可实时补偿环境温度变化带来的误差，避免温度漂移对定位精度的影响，即使在长时间连续工作或温度波动环境中，仍能稳定保持纳米级定位精度。

二、产品优势

P15.XY1000S/K延续了P15系列经过市场验证的高可靠性优点，这些共同优势让P15.XY1000S/K系列成为众多行业的首选：

1.无摩擦、高精度挠性导向系统：摒弃传统机械导轨的摩擦磨损问题，挠性结构无间隙、无损耗，不仅寿命更长，还能保证长期使用后的精度稳定性，适合高频次、长时间的精密操作如连续显微成像、高频激光扫描；

2.可选配闭环传感器：根据需求灵活选择开环或闭环版本，闭环版本精度更高，可达纳米级；

3.扫描平整度高：运动过程中XY轴的线性度与角度跳动极小，FEA优化设计，确保在扫描过程中（如表面检测、三维成像）数据无畸变、画面无偏移；

4.具有中心通孔：专为透射光应用设计，如共焦显微镜、近场扫描光学显微镜等；

5.真空版本可选：可选拓展至真空环境应用，突破常规定位台的环境限制。

三、典型应用

结合1mm超大行程与高稳定性，P15.XY1000S/K能在以下领域发挥关键作用：

1.半导体制造

大尺寸晶圆的加工和缺陷检测中，1mm行程可覆盖晶圆局部更大范围区域，减少晶圆移动次数，提升加工效率与对准精度。

2.表面检测与三维成像

对大面积金属表面、复合材料样品的微观形貌检测，P15.XY1000S/K可实现一次扫描覆盖更大面积，避免多次拼接带来的误差，让检测数据更精准。

3.生物技术与微操作

在生物工程如胚胎操作、细胞分选中，大行程可适配更大的培养皿或生物芯片，同时纳米级精度确保了微操作（如细胞注射）的成功率。

4.激光技术与微纳加工

激光刻蚀、激光打标等微加工场景中，可帮助实现更大面积的微结构加工，同时高精度保障刻蚀图案的一致性。

5.度量衡学与精密对准

在计量测量、光学对准等高精度测算场景中，可覆盖更大的测量范围，配合纳米级精度，快速实现定位状态，提升工作效率。

四、技术参数

推荐控制器

E70.D2S-L多通道压电控制器是基于标准E70压电控制器进行通信接口变换的两通道压电控制器，可通过串口、USB或网口进行数字通信，非常适用于驱动P15.XY1000S/K系列压电纳米定位台。E70.D2S-L控制器采用DC24V供电，带宽达10kHz，可通过模拟或数字信号进行控制，开/闭环可选。

审核编辑 黄宇