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中科院半导体所

文章:839 被阅读:200.4w 粉丝数:130 关注数:0 点赞数:25

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为什么叫shot?为什么shot比掩膜版尺寸小很多?

其中,步进投影式光刻机(stepper)的一个shot一个shot进行曝光的,并不是一整张晶圆同时曝....
的头像 中科院半导体所 发表于 10-09 18:13 2252次阅读
为什么叫shot?为什么shot比掩膜版尺寸小很多?

微沟槽效应的产生机理是什么?有什么表现?怎么抑制这种现象?

在干法的深刻蚀过程中,精细的刻蚀控制成为一个至关重要的因素,它直接影响到芯片的性能。
的头像 中科院半导体所 发表于 10-08 18:10 979次阅读
微沟槽效应的产生机理是什么?有什么表现?怎么抑制这种现象?

Cu-Clip互连技术有哪些特点呢?

Cu-Clip技术,它可以应用在很多模块封装形式当中。它的特点有:降低寄生电感和电阻,增加载流能力,....
的头像 中科院半导体所 发表于 10-07 18:18 888次阅读
Cu-Clip互连技术有哪些特点呢?

Rigid-Flex的多层叠该如何设计呢?

Rigid-Flex刚柔电路的三大特征是 Multi-bending(多弯曲),Multi-stac....
的头像 中科院半导体所 发表于 10-07 17:17 967次阅读
Rigid-Flex的多层叠该如何设计呢?

铌酸锂基光量子器件与集成技术的机遇与挑战

近年来,量子光学得到了迅速发展,不仅仅表现在量子物理基础研究取得一系列突破,光量子信息也逐步走出实验....
的头像 中科院半导体所 发表于 10-07 14:51 594次阅读
铌酸锂基光量子器件与集成技术的机遇与挑战

无线充电是如何做到不用数据线就能轻松充电的呢?

现如今,手机几乎已经成了现代人的标配。出门在外,可以不带钱包,但是不能忘记手机,可是手机没电了怎么办....
的头像 中科院半导体所 发表于 10-07 14:48 1143次阅读
无线充电是如何做到不用数据线就能轻松充电的呢?

什么是刻蚀的选择性?刻蚀选择比怎么计算?受哪些因素的影响呢?

刻蚀(或蚀刻)是从晶圆表面去除特定区域的材料以形成相应微结构。但是,在目标材料被刻蚀时,通常伴随着其....
的头像 中科院半导体所 发表于 10-07 14:19 2491次阅读
什么是刻蚀的选择性?刻蚀选择比怎么计算?受哪些因素的影响呢?

干法刻蚀的负载效应是怎么产生的?有什么危害?如何抑制呢?

有过深硅刻蚀的朋友经常会遇到这种情况:在一片晶圆上不同尺寸的孔或槽刻蚀速率是不同的。
的头像 中科院半导体所 发表于 10-07 11:29 1918次阅读
干法刻蚀的负载效应是怎么产生的?有什么危害?如何抑制呢?

CD-SEM是怎样测线宽呢?CD-SEM与普通SEM有哪些区别?

CD-SEM,全名Critical Dimension Scanning Electron Micr....
的头像 中科院半导体所 发表于 10-07 10:34 1685次阅读
CD-SEM是怎样测线宽呢?CD-SEM与普通SEM有哪些区别?

如何使用压缩空气制冷?涡流管—麦克斯韦妖管

在炎热的夏天,我们总是渴望空气变得凉爽些。通过一个管子就可以实现我们的目的。这个神奇的管子叫做涡流管....
的头像 中科院半导体所 发表于 09-27 18:22 1208次阅读
如何使用压缩空气制冷?涡流管—麦克斯韦妖管

干法刻蚀与湿法刻蚀各有什么利弊?

在半导体制造中,刻蚀工序是必不可少的环节。而刻蚀又可以分为干法刻蚀与湿法刻蚀,这两种技术各有优势,也....
的头像 中科院半导体所 发表于 09-26 18:21 3755次阅读
干法刻蚀与湿法刻蚀各有什么利弊?

半导体所等在莫尔异质结层间激子研究方面取得进展

近日,新加坡南洋理工大学高炜博教授与中国科学院半导体研究所半导体超晶格国家重点实验室张俊研究员合作,....
的头像 中科院半导体所 发表于 09-25 10:14 403次阅读
半导体所等在莫尔异质结层间激子研究方面取得进展

面向集成电路产业的电子电镀研究方法

电子信息与科学技术的迅猛进展, 极大地提升了国民经济生活水平、引领者科技进步和社会前进, 关乎国家发....
的头像 中科院半导体所 发表于 09-22 16:02 258次阅读

一文详解TIRF和SPR成像系统的环形照明

众所周知,入射角的正弦值与折射角的正弦值满足如下关系:n1sin(i)=n2sin(r) ,假设n1....
的头像 中科院半导体所 发表于 09-20 18:24 1952次阅读
一文详解TIRF和SPR成像系统的环形照明

理论物理学中的一个重要数学函数

δ函数实际上不需要专门在x等于0时处于尖峰,我们实际上可以将尖峰移动到不同的位置。如果我们取因变量x....
的头像 中科院半导体所 发表于 09-18 15:53 347次阅读
理论物理学中的一个重要数学函数

磷化氢在半导体工艺中的用途

PH₃ 是常用的n型掺杂气体。什么是n型掺杂?硅是四价元素,每个硅原子与四个邻近的硅原子共享电子形成....
的头像 中科院半导体所 发表于 09-18 14:50 1034次阅读
磷化氢在半导体工艺中的用途

通向大贝里曲率的新途径简析

包括 Ising 在内的黎民百姓,崇尚眼见为实,在周围实空间中看到什么就描述什么。这是认识客观世界的....
的头像 中科院半导体所 发表于 09-15 09:48 437次阅读
通向大贝里曲率的新途径简析

详细讲解核辐射和量子隧穿

1896年,当时法国物理学家亨利·贝克勒尔听说了最近发现的X射线,他决定寻找发射出类似于X射线的东西....
的头像 中科院半导体所 发表于 09-11 11:37 371次阅读
详细讲解核辐射和量子隧穿

详细讲解傅里叶变换

提到傅里叶变换,你是不是又想起了大学课程里被它支配的恐惧。其实,傅里叶分析不仅仅是一个数学工具,更是....
的头像 中科院半导体所 发表于 09-11 11:21 1141次阅读
详细讲解傅里叶变换

常见的晶圆显影方式

晶圆显影过程是光刻工序中必不可少的步骤,显影过程已经经历了几十年的创新和进步。那么常见的显影方式有几....
的头像 中科院半导体所 发表于 09-11 11:19 796次阅读
常见的晶圆显影方式

利用量子的冷原子测量真空压力

真空压力是指在一个封闭的容器中,几乎没有任何物质存在时,容器壁上所受到的压力。这种压力是由于容器内部....
的头像 中科院半导体所 发表于 09-11 11:09 239次阅读

集成电路为什么要做失效分析?失效分析流程?

失效分析(FA)是根据失效模式和现象,通过分析和验证,模拟重现失效的现象,找出失效的原因,挖掘出失效....
的头像 中科院半导体所 发表于 09-06 10:28 1435次阅读
集成电路为什么要做失效分析?失效分析流程?

湿法去胶液的种类有哪些?去胶液都有哪些种类?去胶原理是什么?

光刻技术通过光刻胶将图案成功转移到硅片上,但是在相关制程结束后就需要完全除去光刻胶,那么这个时候去胶....
的头像 中科院半导体所 发表于 09-06 10:25 1339次阅读
湿法去胶液的种类有哪些?去胶液都有哪些种类?去胶原理是什么?

高功率、低噪声量子点DFB单模激光器研究进展

分布反馈 (DFB) 激光器具有结构紧凑、动态单模等特性,是高速光通信、大规模光子集成、激光雷达和微....
的头像 中科院半导体所 发表于 08-31 15:49 387次阅读
高功率、低噪声量子点DFB单模激光器研究进展

磁放大器如何实现放大功能?

20世纪50年代和60年代人们见证了磁放大器的复兴,在此期间,磁放大器被广泛应用于航空航天等其他行业....
的头像 中科院半导体所 发表于 08-31 15:16 1494次阅读
磁放大器如何实现放大功能?

半导体所等在手性分子产生自旋极化研究的进展

利用手性与自旋极化的相互转换产生自旋流是近年来自旋电子学领域的研究热点,相关现象被称之为“手性诱导自....
的头像 中科院半导体所 发表于 08-30 17:14 833次阅读
半导体所等在手性分子产生自旋极化研究的进展

什么是自相互作用呢?中微子之间超越标准模型的相互作用,

中微子是一种非常微小的基本粒子,它几乎不与其他物质相互作用,所以它可以穿透整个地球而不被阻挡。
的头像 中科院半导体所 发表于 08-30 16:02 526次阅读

什么叫次声?次声的信号过程分析

陨石撞击会产生两种信号源,一者直接在地下传播进而到达地震仪,二者在大气底部的大气传播形成次声导波,最....
的头像 中科院半导体所 发表于 08-30 11:18 691次阅读
什么叫次声?次声的信号过程分析

计算数学中的函数迭代介绍

函数迭代是数学中一个非常重要和有趣的主题,它在不同的领域有着不同的应用和着眼点。在动力系统中,函数迭....
的头像 中科院半导体所 发表于 08-30 10:11 721次阅读
计算数学中的函数迭代介绍

浅析用几何描绘物理学的统一理论

在二维中,我们可以在平面上放置一个网格,然后每个点都用一对数字来表示。
的头像 中科院半导体所 发表于 08-29 15:23 434次阅读
浅析用几何描绘物理学的统一理论