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微机电系统（MEMS, Micro-Electro-Mechanical System），也叫做微电子机械系统、微系统、微机械等，是在微电子技术（半导体制造技术）基础上发展起来的，融合了光刻、腐蚀、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密机械加工等技术制作的高科技电子机械器件。

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ADGM1004带集成驱动器的0 Hz至13 GHz、2.5kV HBM ESD SP4T MEMS开关技术手册

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DLP670RE数字微镜器件(DMD)技术解析与应用指南

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国产传感器罕见的时代机遇，是120万亿机器人市场

来源：传感器专家网机器人指数今年以来弹性突出，上半年指数涨幅达到25%，多个机器人传感器概念企业涨幅明显。编辑：感知芯视界从市场到资本，目前中国智...

2023-08-07 标签：传感器机器人 mems 835 0

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国产替代：W-TRS-5.5Dx红外温度传感器在电陶炉行业创新应用

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探索MEMS传感器制造：晶圆划片机的关键作用

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迪赛康高性能手持差分探针产品描述

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ADGM1001/ADGM1002/ADGM1003 0 Hz/DC至34 GHz SPDT MEMS开关技术手册

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2025-05-15 标签：开关 mems 799 0

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2023-06-01 标签：传感器 mems MEMS传感器 794 0

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虹科干货 | MEMS传感器“扫盲指南"（上）

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2023-07-21 标签：传感器 mems 785 0

STEVAL-MKI236A适配器板技术解析与应用指南

STMicroelectronics STEVAL-MKI236A 2xASM330LHB适配器板旨在方便ASM330LHB产品系列中MEMS设备的评估...

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【干货】北斗三号+ MEMS惯性传感器：国产高精度导航的突围路径

GNSS/INS惯系统（GNSS/INS，GlobalNavigationSatelliteSystem/InertialNavigationSyste...

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2025-08-21 标签：mems 调制器 DMD 746 0

MEMS惯性器件主要技术指标

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