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微机电系统（MEMS, Micro-Electro-Mechanical System），也叫做微电子机械系统、微系统、微机械等，是在微电子技术（半导体制造技术）基础上发展起来的，融合了光刻、腐蚀、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密机械加工等技术制作的高科技电子机械器件。

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mems技术

利于气溶胶喷射打印技术制备高频SAW温度传感器

声表面波（SAW）器件是微机电系统（MEMS）的一个子类，其在受到电激励时会产生声波辐射。

2023-05-20 标签：温度传感器 mems 探测器 968 0

怎样使用虹科DLO-M1液体密度传感器进行密度测量呢

亚毫米级的测量系统使传感器的结构更加紧凑。它的尺寸只有80×30×15mm，可以放入非常狭小的空间。测量值通过RS232接口和虹科TrueDyne传感器...

2022-11-12 标签：传感器 mems RS232接口 967 0

通过LPCVD制备氮化硅低应力膜

本文介绍了通过LPCVD制备氮化硅低应力膜氮化硅膜在MEMS中应用十分广泛，可作为支撑层、绝缘层、钝化层和硬掩膜使用。SiN极耐化学腐蚀，疏水...

2025-05-09 标签：mems 工艺制造氮化硅 967 0

低压驱动RF MEMS开关设计与改进

近年来射频微电子系统(RF MEMS)器件以其尺寸小、功耗低而受到广泛关注，特别是MEMS开关构建的移相器与天线，是实现上万单元相控阵雷达的关键技术，在...

2017-12-07 标签：mems RF 949 0

三轴冲击加速度传感器462系列：精准捕捉极端环境下的动态冲击--森瑟科技

在工业测试、运动学研究和爆炸冲击监测等领域，对高g值冲击加速度的精确测量至关重要。Senther推出的462系列三轴冲击加速度传感器，凭借其卓越的性能和...

2025-09-22 标签：mems 监测加速度传感器 948 0

MEMS加速度传感器双赢局面仍有趋势

市场容量持续扩张从加速度传感器实现的功能来看，无论是国际知名品牌的手机，还是普通的手机，其主要功能是通过倾斜、晃动等动作来实现用户界面控制、游戏控制...

2018-04-10 标签：mems 加速度传感器 947 0

利用MEMS惯性感测转变应用

例如，具有活动检测功能的加速度计可以在确定设备在没有移动或振动的情况下处于非活动状态时，通过告诉设备进入最低功耗模式来启用电源管理技术。复杂的控件和物理...

2023-01-04 标签：传感器 mems 942 0

Analog Devices Inc. ADXL359低功耗3轴MEMS加速度计数据手册

Analog Devices Inc. ADXL359低功耗3轴MEMS加速度计是一款低噪声密度、低0g失调漂移微机电系统(MEMS)加速度计，具有可选...

2025-06-20 标签：mems 低功耗加速度计 938 0

ADGM1144 0 Hz/DC至18 GHz、SP4T、MEMS开关技术手册

ADGM1144 是一款宽带单刀四掷 (SP4T) 开关，使用 ADI 公司的微机电系统 (MEMS) 开关技术制造。该技术可实现小尺寸、宽射频带宽、高...

2025-05-15 标签：开关 mems SP4T 937 0

陶瓷基板在MEMS传感器封装中的优势

当今的科学技术如翩翩起舞的蝴蝶，追求着微型化、集成化及智能化的新境界。随着微机电系统（Micro-Electro-Mechanical System，M...

2023-10-31 标签：传感器 mems 陶瓷基板 936 0

航裕电源汽车传感器测试解决方案

汽车传感器是汽车电子控制系统的关键部件，是汽车电子控制系统信息的主要来源，它的主要功能是利用安装在汽车各部位的信号转换装置，测量或检测汽车在各种运行状态...

2024-08-14 标签：mems 汽车传感器无人驾驶 926 0

基于MEMS技术的理想开关即将开启

二十年前，专门研究射频电路的工程师设想了一种“理想的开关”。这种开关“打开”时，它将具有超低电阻，“关闭”时将具有超高电阻等等。

2020-07-21 标签：mems MEMS技术 920 0

宽视场角MEMS超声波传感器在双足机器人避障系统中的关键作用

通过持续优化传感器融合架构，双足机器人的环境适应性将进一步提升，为灾难救援、社会服务等场景提供可靠技术支持。

2025-08-25 标签：mems 超声波传感器避障系统 915 0

MEMS降低地震仪的抗冲击能力和动态范围

泛林集团如何利用MEMS+®仿真模型设计地震仪

2023-07-11 标签：传感器 mems 预警系统 913 0

简述运动传感器在未来蜂窝手持设备领域的关键作用

以微机电系统（MEMS）集成电路（IC）形式实现的运动传感器正在蜂窝手持设备的未来发挥关键作用，这些MEMS加速计使移动电话更便于使用，而且还能够提高手...

2018-01-17 标签：集成电路 mems 903 0

热式测量原理：未来氢气燃气表的理想选择

什么是热式测量原理基于微机电系统(MEMS)的量热传感器元件（见图1a）是所有热式流量传感器的核心元件，比如燃气表中使用的传感器。传感器元件位于硅芯片表...

2024-11-28 标签：传感器 mems 测量 896 0

从辅助驾驶到自动驾驶: 感知型车辆建立在底层高质量的传感器数据基础之上

这些传感器技术包括摄像头、激光探测与测距(LiDAR)、无线电探测与测距(radar)、微机电传感器(MEMS)、惯性测量单元(IMU)、超声波和GPS...

2023-06-15 标签：传感器 mems 无线电 888 0

ADXRS290用于稳定应用的超低噪声、双轴MEMS陀螺仪技术手册

ADXRS290是一款高性能俯仰和滚动（层内双轴）角速率传感器（陀螺仪），设计用于稳定应用。 ADXRS290提供±100°/s输出满量程性能，灵...

2025-05-07 标签：传感器 mems 陀螺仪 884 0

MEMS陀螺仪的寻北原理是什么？精度如何？

MEMS陀螺仪的寻北技术核心原理基于地球自转特性，通过测量角速度分量解算出地理北向。随着MEMS技术的不断进步，MEMS陀螺仪性能也在不断提升，已经具备...

2025-06-04 标签：mems 陀螺仪陀螺寻北仪 862 0

ADIS16260 ADIS16265可编程低功耗陀螺仪技术手册

ADIS16260和ADIS16265可编程数字陀螺仪在单个紧凑型封装内集成了业界领先的MEMS和信号处理技术，具有同类MEMS陀螺仪需要全动校准才能达...

2025-05-07 标签：mems 陀螺仪信号处理 860 0

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IoT是Internet of Things的缩写，字面翻译是“物体组成的因特网”，准确的翻译应该为“物联网”。物联网（Internet of Things）又称传感网，简要讲就是互联网从人向物的延伸。
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数字隔离技术常用于工业网络环境的现场总线、军用电子系统和航空航天电子设备中，尤其是一些应用环境比较恶劣的场合。数字隔离电路主要用于数字信号和开关量信号的传输。另一个重要原因是保护器件（或人）免受高电压的危害。本文详细介绍了数字隔离器工作原理及特点，选型及应用，各类数字隔离器件性能比较等内容。
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