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微机电系统(MEMS, Micro-Electro-Mechanical System),也叫做微电子机械系统、微系统、微机械等,是在微电子技术(半导体制造技术)基础上发展起来的,融合了光刻、腐蚀、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密机械加工等技术制作的高科技电子机械器件。
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我在上一篇关于MEMS压力传感器的博客中,谈到了从手表到复杂机械等众多设备中的HMI传感器如何改变了我们获取信息以及与技术交互的方式。过去,许多设备上只...
ABS系统必须增添额外的传感器来实现ESP功能,包括方向盘角度传感器、偏航速率传感器和低重力加速度传感器,这些传感器都用来测量车辆的动态响应。显然,这为...
尽管MEMS(微机电系统)技术在气囊和汽车压力传感器中的应用已有大约20年,但促使大众认识到惯性传感器作用的是Nintendo® Wii™和Apple®...
到2020年,世界上将安装有300亿个无线传感器节点,未来十年,传感器数量可能达到万亿级。在国内,随着汽车电子、新型数字消费电子和医疗电子等产业的快速发...
东南大学MEMS教育部重点实验室是以微电子学科为主题、结合电子工程系固体电子学研究室、工程力学系和机械工程系相关课题组,组建了跨学科的研究结构,于199...
2023-10-12 标签:mems 1.3k 0
mems(微机电系统)传感器;有三项MEMS技术产品:红外传感器、磁性传感器、测角传感器;在高档汽车中,大约采用25至40只MEMS传感器;
微机电系统(MEMS)是一种紧凑型设备,在单个硅芯片上组合各种功能,如机械、光学、流体和电子,是医疗、运输和电信领域发展的主要支持技术。MEMS加速度计...
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