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微机电系统(MEMS, Micro-Electro-Mechanical System),也叫做微电子机械系统、微系统、微机械等,是在微电子技术(半导体制造技术)基础上发展起来的,融合了光刻、腐蚀、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密机械加工等技术制作的高科技电子机械器件。
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Analog Devices Inc. ADXL373微功耗3轴MEMS加速度计数据手册
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ADGM1304具有集成驱动器的0 Hz/直流至14GHz单刀四掷MEMS交换芯片技术手册
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基于Microchip DSA557系列PCIe时钟发生器的技术解析与应用
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Microchip DSA61xx MEMS振荡器技术解析:汽车电子时钟方案的革新选择
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