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微机电系统(MEMS, Micro-Electro-Mechanical System),也叫做微电子机械系统、微系统、微机械等,是在微电子技术(半导体制造技术)基础上发展起来的,融合了光刻、腐蚀、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密机械加工等技术制作的高科技电子机械器件。
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低功耗应用的MEMS加速仪传感器功能,如何将之利用在系统设计上
低功耗可利用MEMS加速计(Accelerometer)传感器来增加电池寿命。传感器变得越来越省电,所嵌入的各种功能也有助于减少整体系统能耗。举例来说,...
微小的可变形微加工芯片边缘微悬臂梁对于各种表面探测技术都非常有用。例如,它们是近场显微术的关键元素,在近场显微术中,它们在小挠度状态下的力学行为被很好的...
2022-11-21 标签:mems 1.1k 0
许多压力传感器应用都需要具有集成信号调理功能的紧凑型 MEMS 器件; 然而,挑战在于找到一种能够支持应用的体积和成本要求(包括压力范围方面的灵活性)的...
MEMS惯性导航在过去数十年内得到了迅速发展,在无人系统领域内得到了越来越多的应用,其作为未来惯性导航的主要发展方向,正在展现出强大的潜力以及良好的应用前景。
MEMS测试技术是微机电系统技术的重要组成部分之一,微结构动态特性的测试对MEMS器件的性能及其设计、仿真、制造、以及质量控制和评价等方面均具有重要的意...
频率信号对于所有电子产品就像是心跳对所有动物的生命一般重要,所有电子电路的动作都以此重复性且稳定的频率信号作为参考信号源。设计优良的频率信号,几乎是系统...
2017-12-10 标签:mems 1.1k 0
探索 32KHz MEMS 振荡器的卓越性能:μPower MO1532、MO1552、MO1630、MO1566 和 MO1568
探索 32KHz MEMS 振荡器的卓越性能:μPower MO1532、MO1552、MO1630、MO1566 和 MO1568
量子传感器具有许多经典传感器所不具有的性质 ,设计量子传感器时 ,在重点考虑将量子领域不可直接测量量变换成可测量量外 ,还应从非破坏性 、实时性 、灵敏...
数据显示,2014年MEMS组件市场规模将达到80亿美元,增长率约14%,而其中一项重要的增长动力来源就是汽车电子领域,具体主要应用在汽车安全性方面。
Analog Devices Inc. ADXL382 3轴MEMS加速度计数据手册
Analog Devices ADXL382 3轴MEMS加速度计支持±15g、±30g和±60g的可选测量范围。这款3轴加速度计具备低噪声密度和低功耗...
1 简介 半导体组件有望在产品的整个生命周期内可靠地运行。 选择具有最高可靠性等级的设备可以限制故障组件导致现场产品出现故障的可能性。 SiTime 提...
基于MEMS的DMD领域内的不断创新正在为开发人员提供更多的机会,将基于投影的显示技术融入到多种针对工业、个人电子器件、可穿戴、数字标牌和企业市场等应用中。
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