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微机电系统(MEMS, Micro-Electro-Mechanical System),也叫做微电子机械系统、微系统、微机械等,是在微电子技术(半导体制造技术)基础上发展起来的,融合了光刻、腐蚀、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密机械加工等技术制作的高科技电子机械器件。
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ApexCore系列红外探测器在便携式设备中的核心优势与应用案例
在红外技术向便携化、智能化加速演进的今天,ApexCore系列红外探测器以“极致性能”与“场景破界”为核心,突破传统红外热成像设备在灵敏度、环境适应性、...
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在追求精准的世界里,方向是行动的基石。想象一下,如果钻井数千米后偏离了目标矿脉,如果高速列车在隧道中失去了方位,如果卫星天线无法锁定遥远的目标——这些代...
椭偏仪在MEMS的应用:Er/Sc-AlN薄膜的厚度和光学常数精确表征
随着5G通信技术的快速发展,智能手机对射频前端滤波器的需求急剧增加,声表面波(SAW)滤波器因其高声速、高机电耦合系数和低温漂特性成为研究热点。传统Li...
如今,MEMS器件已成为我们日常生活中不可或缺的一部分,尽管它们的存在常常被人忽略,其应用范围从耳机中的麦克风到用于工业天线稳定的惯性传感器,无所不包。...
2025-12-15 标签:mems 5.7k 0
意法半导体LSM6DSV320X IMU传感器在Linux平台的驱动移植与姿态感知应用实现
本期我们聚焦论坛网友短笛君的实测体验。他首先分享了MEMS上位机体验并进行MLC数据预采集,随后实现了LSM6DSV320X IMU传感器在Linux平...
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