0
  • 聊天消息
  • 系统消息
  • 评论与回复
登录后你可以
  • 下载海量资料
  • 学习在线课程
  • 观看技术视频
  • 写文章/发帖/加入社区
会员中心
创作中心

完善资料让更多小伙伴认识你,还能领取20积分哦,立即完善>

3天内不再提示

标签 > mems

mems

厂商产品 +关注 0人关注

微机电系统(MEMS, Micro-Electro-Mechanical System),也叫做微电子机械系统、微系统、微机械等,是在微电子技术(半导体制造技术)基础上发展起来的,融合了光刻、腐蚀、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密机械加工等技术制作的高科技电子机械器件。

文章: 3508
视频: 12
浏览: 192871
帖子: 462

mems简介

微机电系统(MEMS, Micro-Electro-Mechanical System),也叫做微电子机械系统、微系统、微机械等,指尺寸在几毫米乃至更小的高科技装置。

微机电系统是在微电子技术(半导体制造技术)基础上发展起来的,融合了光刻、腐蚀、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密机械加工等技术制作的高科技电子机械器件。

 

mems百科

微机电系统(MEMS, Micro-Electro-Mechanical System),也叫做微电子机械系统、微系统、微机械等,指尺寸在几毫米乃至更小的高科技装置。

微机电系统是在微电子技术(半导体制造技术)基础上发展起来的,融合了光刻、腐蚀、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密机械加工等技术制作的高科技电子机械器件。

微机电系统是集微传感器、微执行器、微机械结构、微电源微能源、信号处理和控制电路、高性能电子集成器件、接口、通信等于一体的微型器件或系统。MEMS是一项革命性的新技术,广泛应用于高新技术产业,是一项关系到国家的科技发展、经济繁荣和国防安全的关键技术。
MEMS侧重于超精密机械加工,涉及微电子、材料、力学、化学、机械学诸多学科领域。它的学科面涵盖微尺度下的力、电、光、磁、声、表面等物理、化学、机械学的各分支。
常见的产品包括MEMS加速度计、MEMS麦克风、微马达、微泵、微振子、MEMS光学传感器、MEMS压力传感器、MEMS陀螺仪、MEMS湿度传感器、MEMS气体传感器等等以及它们的集成产品。

查看详情

mems知识

展开查看更多

mems技术

MEMS制造领域中光刻Overlay的概念

MEMS制造领域中光刻Overlay的概念

在 MEMS(微机电系统)制造领域,光刻工艺是决定版图中的图案能否精确 “印刷” 到硅片上的核心环节。光刻 Overlay(套刻精度),则是衡量光刻机将...

2025-06-18 标签:芯片mems光刻工艺 107 0

Analog Devices Inc. ADGM1121 0Hz/直流至18GHz DPDT MEMS开关IC数据手册

Analog Devices Inc. ADGM1121 0Hz/直流至18GHz DPDT MEMS开关IC数据手册

Analog Devices ADGM1121 0Hz/直流至18GHz DPDT MEMS开关IC是宽带、双刀双掷 (DPDT) 开关,采用An...

2025-06-14 标签:memsAnalogDPDT 195 0

陀螺仪在钻井或测井中有何用途?

陀螺仪在钻井或测井中有何用途?

钻井与测井作业对定向和井眼轨迹控制要求较高,传统光纤陀螺仪和磁性测斜仪体积大、抗干扰能力弱、成本高。MEMS陀螺仪凭借其微型化、高可靠性和环境适应性,成...

2025-06-10 标签:mems陀螺仪光纤陀螺仪 195 0

瑞之辰锐评MEMS传感器在打气泵上的应用与原理

瑞之辰锐评MEMS传感器在打气泵上的应用与原理

应用场景MEMS传感器在打气泵中的应用主要集中在压力监测和流量控制方面。通过集成MEMS压力传感器和流量传感器,打气泵可以实现更精准的气压控制和流量调节...

2025-06-10 标签:传感器mems压力传感器 323 0

MEMS陀螺仪的寻北原理是什么?精度如何?

MEMS陀螺仪的寻北原理是什么?精度如何?

MEMS陀螺仪的寻北技术核心原理基于地球自转特性,通过测量角速度分量解算出地理北向。随着MEMS技术的不断进步,MEMS陀螺仪性能也在不断提升,已经具备...

2025-06-04 标签:mems陀螺仪陀螺寻北仪 196 0

Analog Devices Inc. ADXL382 3轴MEMS加速度计数据手册

Analog Devices Inc. ADXL382 3轴MEMS加速度计数据手册

Analog Devices ADXL382 3轴MEMS加速度计支持±15g、±30g和±60g的可选测量范围。这款3轴加速度计具备低噪声密度和低功耗...

2025-06-03 标签:mems加速度计Analog 174 0

陶瓷基板在MEMS传感器封装中的优势

陶瓷基板在MEMS传感器封装中的优势

当今的科学技术如翩翩起舞的蝴蝶,追求着微型化、集成化及智能化的新境界。随着微机电系统(Micro-Electro-MechanicalSystem,ME...

2025-05-19 标签:传感器mems封装 203 0

ADGM1304具有集成驱动器的0 Hz/直流至14GHz单刀四掷MEMS交换芯片技术手册

ADGM1304具有集成驱动器的0 Hz/直流至14GHz单刀四掷MEMS交换芯片技术手册

ADGM1304 是一款宽带单刀四掷 (SP4T) 开关,使用 ADI 公司的微机电系统 (MEMS) 开关技术制造。该技术可实现小尺寸、宽 RF 带宽...

2025-05-15 标签:开关memsSP4T 146 0

ADGM1004带集成驱动器的0 Hz至13 GHz、2.5kV HBM ESD SP4T MEMS开关技术手册

ADGM1004带集成驱动器的0 Hz至13 GHz、2.5kV HBM ESD SP4T MEMS开关技术手册

ADGM1004是一款宽带、单刀四掷(SP4T)开关,采用ADI公司的微型机电系统(MEMS)开关技术制造而成。利用该技术可实现小型、宽RF带宽、高线性...

2025-05-15 标签:开关memsSP4T 145 0

ADGM1001/ADGM1002/ADGM1003 0 Hz/DC至34 GHz SPDT MEMS开关技术手册

ADGM1001/ADGM1002/ADGM1003 0 Hz/DC至34 GHz SPDT MEMS开关技术手册

ADGM1001/[ADGM1002]/[ADGM1003]是一款宽带、单刀双掷(SP2T)开关,采用ADI公司的微型机电系统(MEMS)开关技术制造而...

2025-05-15 标签:开关mems 152 0

查看更多>>

mems资讯

从技术到战略,解码瑞之辰MEMS传感器进取之路

从技术到战略,解码瑞之辰MEMS传感器进取之路

在工业自动化与智能化浪潮下,传感器作为工业系统的“神经末梢”,其性能决定了数据采集的精度和可靠性。深圳市瑞之辰科技有限公司(以下简称“瑞之辰”)凭借在M...

2025-06-17 标签:传感器mems压力传感器 363 0

高华科技出席EDSSC 2025并发表主题演讲

此前,6月12日至6月15日,由IEEE电子器件协会(EDS)和IEEE固态电路协会(SSCS)联合主办的第十六届IEEE国际电子器件与固态电路会议(E...

2025-06-16 标签:传感器mems固态电路 347 0

全球最大MEMS芯片代工厂瑞典Silex易主!中国企业赛微电子出售控股权

2025年6月13日,赛微电子宣布重大资产交易计划,拟向Bure、Creades等七名交易方转让公司所持有的瑞典Silex Microsystems A...

2025-06-16 标签:memsmems芯片Silex 262 0

清醒地坚持,瑞之辰等芯片企业以实践推动国产化替代

清醒地坚持,瑞之辰等芯片企业以实践推动国产化替代

“干就完了”已成为当下中国芯片人的共识。在科技竞争与外部封锁交织下,中国芯片人正在以这样的底气,走出一条苦练内功、长期务实的破局之路。这条路上不仅有华为...

2025-06-13 标签:传感器芯片mems 304 0

Yole最新MEMS行业报告出炉:出货量310亿颗,2030年规模将达192亿美元

Yole最新MEMS行业报告出炉:出货量310亿颗,2030年规模将达192亿美元

根据Yole Group的最新《Status of the MEMS Industry 2025》行业报告显示,2024年全球MEMS行业收入达到154...

2025-06-12 标签:memsMEMS传感器压电MEMS振荡器 476 0

瑞之辰:国内芯片须踏实前行,回归技术本质

瑞之辰:国内芯片须踏实前行,回归技术本质

半导体芯片产业,一直以高门槛和技术密集著称,在这个务实的行业,技术实力和产品性能才是立足之本。近年来高科技产业飞速发展,低空经济、人工智能等上下游产业的...

2025-06-11 标签:传感器芯片半导体 456 0

瑞之辰MEMS传感器在工业控制领域的智能解决方案

瑞之辰MEMS传感器在工业控制领域的智能解决方案

在工业自动化浪潮的推动下,以满足复杂多变的生产流程和严苛的环境要求,工业控制领域亟待精准、高效且可靠的MEMS传感器解决方案。对此,深圳市瑞之辰科技有限...

2025-06-10 标签:传感器mems压力传感器 606 0

国产声学硅麦传感器关键指标看哪些?华芯邦带你一探究竟

国产声学硅麦传感器关键指标看哪些?华芯邦带你一探究竟

国产声学硅麦传感器关键指标看哪些?华芯邦带你一探究竟

2025-06-10 标签:传感器mems 80 0

xMEMS将µCooling片上风扇扩展至固态硬盘xMEMS将µCooling片上风扇扩展至固态硬盘

用于固态硬盘的µCooling可将温度降低30%,有望彻底变革高密度数据中心和消费计算设备的热管理。 xMEMS Labs正在将其µCooling片上风...

2025-06-09 标签:半导体mems固态硬盘 177 0

模拟硅麦还是数字?解码智能终端声学传感器的‘芯’选择

模拟VS数字?华芯邦双技术路线破解声学硅麦选型难题 在智能终端设备快速迭代的今天,麦克风作为语音交互的核心组件,其技术路线和应用场景的选择直接影响设备的...

2025-06-06 标签:传感器mems智能终端 188 0

查看更多>>

mems数据手册

型号 描述 数据手册 参考价格
MSM321A3729H9BP 模拟输出MEMS麦克风 MIC_3.76X2.95MM_SM
MSM261DHP006 MEMS硅麦 1.6~3.6V ±1dB

相关标签

相关话题

换一批
  • IOT
    IOT
    +关注
    IoT是Internet of Things的缩写,字面翻译是“物体组成的因特网”,准确的翻译应该为“物联网”。物联网(Internet of Things)又称传感网,简要讲就是互联网从人向物的延伸。
  • 海思
    海思
    +关注
  • STM32F103C8T6
    STM32F103C8T6
    +关注
    STM32F103C8T6是一款集成电路,芯体尺寸为32位,程序存储器容量是64KB,需要电压2V~3.6V,工作温度为-40°C ~ 85°C。
  • 数字隔离
    数字隔离
    +关注
    数字隔离技术常用于工业网络环境的现场总线、军用电子系统和航空航天电子设备中,尤其是一些应用环境比较恶劣的场合。数字隔离电路主要用于数字信号和开关量信号的传输。另一个重要原因是保护器件(或人)免受高电压的危害。本文详细介绍了数字隔离器工作原理及特点,选型及应用,各类数字隔离器件性能比较等内容。
  • 硬件工程师
    硬件工程师
    +关注
    硬件工程师Hardware Engineer职位 要求熟悉计算机市场行情;制定计算机组装计划;能够选购组装需要的硬件设备,并能合理配置、安装计算机和外围设备;安装和配置计算机软件系统;保养硬件和外围设备;清晰描述出现的计算机软硬件故障。
  • wifi模块
    wifi模块
    +关注
    Wi-Fi模块又名串口Wi-Fi模块,属于物联网传输层,功能是将串口或TTL电平转为符合Wi-Fi无线网络通信标准的嵌入式模块,内置无线网络协议IEEE802.11b.g.n协议栈以及TCP/IP协议栈。传统的硬件设备嵌入Wi-Fi模块可以直接利用Wi-Fi联入互联网,是实现无线智能家居、M2M等物联网应用的重要组成部分。
  • MPU6050
    MPU6050
    +关注
    MPU-6000(6050)为全球首例整合性6轴运动处理组件,相较于多组件方案,免除了组合陀螺仪与加速器时间轴之差的问题,减少了大量的封装空间。
  • 74ls74
    74ls74
    +关注
    74LS74是双D触发器。功能多,可作双稳态、寄存器、移位寄存器、振荡器、单稳态、分频计数器等功能。本章详细介绍了74ls112的功能及原理,74ls74引脚图及功能表,74ls112的应用等内容。
  • Protues
    Protues
    +关注
    Proteus软件是英国Lab Center Electronics公司出版的EDA工具软件(该软件中国总代理为广州风标电子技术有限公司)。它不仅具有其它EDA工具软件的仿真功能,还能仿真单片机及外围器件。
  • UHD
    UHD
    +关注
    UHD是”超高清“的意思UHD的应用在电视机技术上最为普遍,目前已有不少厂商推出了UHD超高清电视。
  • STC12C5A60S2
    STC12C5A60S2
    +关注
    在众多的51系列单片机中,要算国内STC 公司的1T增强系列更具有竞争力,因他不但和8051指令、管脚完全兼容,而且其片内的具有大容量程序存储器且是FLASH工艺的,如STC12C5A60S2单片机内部就自带高达60K FLASHROM,这种工艺的存储器用户可以用电的方式瞬间擦除、改写。
  • 循迹小车
    循迹小车
    +关注
    做单片机的工程师相比都堆循迹小车有所认识,它是自动引导机器人系统的基本应用,那么今天小编就给大家介绍下自动自动循迹小车的原理,智能循迹小车的应用,智能循迹小车程序,循迹小车用途等知识吧!
  • LM2596
    LM2596
    +关注
    LM2596是降压型电源管理单片集成电路的开关电压调节器,能够输出3A的驱动电流,同时具有很好的线性和负载调节特性。固定输出版本有3.3V、5V、12V,可调版本可以输出小于37V的各种电压。
  • 光立方
    光立方
    +关注
    光立方是由四千多棵光艺高科技“发光树”组成的,在2009年10月1日天安门广场举行的国庆联欢晚会上面世。这是新中国成立六十周年国庆晚会最具创意的三大法宝之首。
  • 光模块
    光模块
    +关注
    光模块(optical module)由光电子器件、功能电路和光接口等组成,光电子器件包括发射和接收两部分。简单的说,光模块的作用就是光电转换,发送端把电信号转换成光信号,通过光纤传送后,接收端再把光信号转换成电信号。
  • K60
    K60
    +关注
  • STM32单片机
    STM32单片机
    +关注
    STM32系列基于专为要求高性能、低成本、低功耗的嵌入式应用专门设计的ARM Cortex-M3内核
  • Nexperia
    Nexperia
    +关注
    Nexperia是大批量生产基本半导体的领先专家,这些半导体是世界上每个电子设计都需要的组件。该公司广泛的产品组合包括二极管、双极晶体管、ESD 保护器件、MOSFET、GaN FET 以及模拟和逻辑IC。
  • 步进驱动器
    步进驱动器
    +关注
    步进驱动器是一种将电脉冲转化为角位移的执行机构。当步进驱动器接收到一个脉冲信号,它就驱动步进电机按设定的方向转动一个固定的角度(称为“步距角”),它的旋转是以固定的角度一步一步运行的。可以通过控制脉冲个数来控制角位移量,从而达到准确定位的目的;同时可以通过控制脉冲频率来控制电机转动的速度和加速度,从而达到调速和定位的目的。
  • CD4046
    CD4046
    +关注
    cD4046是通用的CMOS锁相环集成电路,其特点是电源电压范围宽(为3V-18V),输入阻抗高(约100MΩ),动态功耗小,在中心频率f0为10kHz下功耗仅为600μW,属微功耗器件。本章主要介绍内容有,CD4046的功能 cd4046锁相环电路,CD4046无线发射,cd4046运用,cd4046锁相环电路图。
  • COMSOL
    COMSOL
    +关注
    COMSOL集团是全球多物理场建模解决方案的提倡者与领导者。凭借创新的团队、协作的文化、前沿的技术、出色的产品,这家高科技工程软件公司正飞速发展,并有望成为行业领袖。其旗舰产品COMSOL Multiphysics 使工程师和科学家们可以通过模拟,赋予设计理念以生命。
  • 加速度传感器
    加速度传感器
    +关注
    加速度传感器是一种能够测量加速度的传感器。通常由质量块、阻尼器、弹性元件、敏感元件和适调电路等部分组成。
  • 联网技术
    联网技术
    +关注
  • 服务机器人
    服务机器人
    +关注
    服务机器人是机器人家族中的一个年轻成员,到目前为止尚没有一个严格的定义。不同国家对服务机器人的认识不同。
  • 四轴飞行器
    四轴飞行器
    +关注
    四轴飞行器,又称四旋翼飞行器、四旋翼直升机,简称四轴、四旋翼。这四轴飞行器(Quadrotor)是一种多旋翼飞行器。四轴飞行器的四个螺旋桨都是电机直连的简单机构,十字形的布局允许飞行器通过改变电机转速获得旋转机身的力,从而调整自身姿态。具体的技术细节在“基本运动原理”中讲述。
  • 基站测试
    基站测试
    +关注
    802.11ac与11基站测试(base station tests) 在基站设备安装完毕后,对基站设备电气性能所进行的测量。n的区别,802.11n无线网卡驱动,802.11n怎么安装。
  • SDK
    SDK
    +关注
      SDK一般指软件开发工具包,软件开发工具包一般都是一些软件工程师为特定的软件包、软件框架、硬件平台、操作系统等建立应用软件时的开发工具的集合。软件开发工具广义上指辅助开发某一类软件的相关文档、范例和工具的集合。
  • TMS320F28335
    TMS320F28335
    +关注
    TMS320F28335是一款TI高性能TMS320C28x系列32位浮点DSP处理器
  • 静电防护
    静电防护
    +关注
    为防止静电积累所引起的人身电击、火灾和爆炸、电子器件失效和损坏,以及对生产的不良影响而采取的防范措施。其防范原则主要是抑制静电的产生,加速静电泄漏,进行静电中和等。
  • ESP8266
    ESP8266
    +关注
    wifi模块ESP8266的默认波特率是115200,但是单片机不能达到那么快的传输速率,只能使用4800bps,那么设置的时候,必不可少的要先用转串口调试下载器。

关注此标签的用户(129人)

jinyumin1 stardsd jf_75074748 jf_45381231 jf_78980343 jf_00297408 nice141 efans_90693970 仿造668 jf_45561810 hans2022 forhill

编辑推荐厂商产品技术软件/工具OS/语言教程专题