标签　>　mems

mems

厂商产品 +关注 0人关注

微机电系统（MEMS, Micro-Electro-Mechanical System），也叫做微电子机械系统、微系统、微机械等，是在微电子技术（半导体制造技术）基础上发展起来的，融合了光刻、腐蚀、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密机械加工等技术制作的高科技电子机械器件。

文章： 3969 个

视频： 28 个

浏览： 200064 次

帖子： 462 个

详情
知识
相关内容

mems简介

微机电系统（MEMS, Micro-Electro-Mechanical System），也叫做微电子机械系统、微系统、微机械等，指尺寸在几毫米乃至更小的高科技装置。

微机电系统是在微电子技术（半导体制造技术）基础上发展起来的，融合了光刻、腐蚀、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密机械加工等技术制作的高科技电子机械器件。

mems百科

微机电系统（MEMS, Micro-Electro-Mechanical System），也叫做微电子机械系统、微系统、微机械等，指尺寸在几毫米乃至更小的高科技装置。

微机电系统是集微传感器、微执行器、微机械结构、微电源微能源、信号处理和控制电路、高性能电子集成器件、接口、通信等于一体的微型器件或系统。MEMS是一项革命性的新技术，广泛应用于高新技术产业，是一项关系到国家的科技发展、经济繁荣和国防安全的关键技术。
MEMS侧重于超精密机械加工，涉及微电子、材料、力学、化学、机械学诸多学科领域。它的学科面涵盖微尺度下的力、电、光、磁、声、表面等物理、化学、机械学的各分支。
常见的产品包括MEMS加速度计、MEMS麦克风、微马达、微泵、微振子、MEMS光学传感器、MEMS压力传感器、MEMS陀螺仪、MEMS湿度传感器、MEMS气体传感器等等以及它们的集成产品。

查看详情

mems知识

“第八届MEMS智能传感器产业生态发展大会”成功举办

5月31日，“第八届MEMS智能传感器产业生态发展大会”顺利召开。在中国传感器与物联网产业联盟大力支持，矽知科技的倾力承

2026-06-03 标签： mems 智能传感器 817 0
高温寻北MEMS IMU：为极端井下环境打造的“导航利器”

在石油钻井、矿业勘探等高温、高振动、空间受限的恶劣环境下，精准的姿态测量与方向控制一直是行业难题。如今，ER-MIMU-

2026-06-03 标签：传感器 mems 惯性传感器 198 0
MEMS结构台阶高度偏差的白光干涉仪干法刻蚀制程排查研究

台阶高度是MEMS微结构核心尺寸参数，直接决定微悬臂梁、传感腔体等结构的装配精度与使用性能。干法刻蚀作为MEMS晶圆制备

2026-06-02 标签： mems 182 0
瑞之辰压力传感器：水泵复杂工况的有效解决方案

在工业、农业及市政等众多领域，水泵发挥着重要作用。然而，水泵面临的工况极为复杂，给所使用的传感器带来诸多挑战。不同水质的

2026-06-01 标签： mems 压力传感器 226 0
MEMS芯片薄膜厚度异常的白光干涉仪溯源检测及晶圆工艺隐患解决

薄膜厚度均匀性是决定MEMS芯片电学、力学性能稳定性的关键工艺指标。晶圆制备过程中，薄膜沉积、蚀刻、基材预处理等工序的参

2026-06-01 标签：芯片 mems 晶圆 81 0
瑞声科技CoolFan MEMS压电主动散热芯片进入小批量试产

据媒体报道，瑞声科技正式对外披露，基于MEMS压电薄膜关键技术的CoolFan系列主动散热芯片产品已完成前期研发与工程试

2026-05-31 标签：芯片 mems 瑞声科技 1029 0
奥松发布三款MEMS六维力传感器

广州奥松电子近日正式发布AF2601系列三款MEMS六维力传感器——AF2601R40、AF2601R75、AF2601

2026-05-28 标签： mems 工业自动化六维力传感器 726 0
MEMS/传感技术与处理器/DSP实战：用Gemini镜像站加速传感器融合与信号处理（国内直访教程）

国内嵌入式开发者和算法工程师在进行MEMS惯性导航、振动分析或音频处理时，常需要编写传感器融合算法、设计数字滤波器并优化

2026-05-27 标签： mems 传感技术 175 0
华为“韬（τ）定律”炸出一条MEMS蓝海赛道！已在测试中 2026年量产爆发

5月25日，在2026 IEEE国际电路与系统研讨会(ISCAS 2026)上，华为公司董事、半导体业务部总裁何庭波提出

2026-05-27 标签： mems 华为 1228 0
10亿元，高瓴美团联手，投了广东这家全球首创MEMS力传感器的机器人企业

今日（5月25日），据高瓴创投披露，广东机器人企业广东天机智能系统有限公司（下文简称“天机智能”），于近期完成1

2026-05-25 标签：机器人 mems 力传感器 2195 0

展开查看更多

全部技术资讯资料帖子视频产品方案企业数据手册

mems帖子

唯一国产MEMS电容式气压计芯片

标签：mems 9394 0

能否实现对mems微镜阵列中每个微镜单元倾斜角度的定量控制？

标签：mems 407 1

午芯芯科技国产电容式MEMS压力传感器芯片突破卡脖子技术

标签：mems 中国芯压力传感器 5442 1

PGA2500能否适用于单端输入呢？

标签：前置放大器 mems 单端输入 606 1

有什么模块或系统可以实现频率的自动跟踪？

标签：mems 谐振器 745 1

如何使用MEMS振荡器来驱动ESP8266EX的时钟？

标签：振荡器 mems ESP8266 630 1

adxl359的offset寄存器是16位，再进行设置时只有高八位生效，低八位不生效，为什么？

标签：寄存器 mems 15498 1

IIS3DWB 4线SPI中的CS不进MCU的IO口，SPI_MISO没信号是什么原因？

标签：mems 加速度 679 1

如何利用MEMS进行导航？

标签：mems 618 1

NUCLEO-H743ZI2上使用SAI PDM采集Infineon-IM69D120失败是哪里出了问题？

标签：mems PDM 908 1

mems资料下载

XDA315 工业级MEMS加速度传感器数据手册立即下载

类别：传感与控制 2026-03-31 标签：mems 速度传感器

PT8087M 咪头气流传感IC技术手册立即下载

类别：IC中文资料 2025-09-17 标签：芯片 mems

MEMS矢量水听器敏感结构的后CMOS释放工艺研究立即下载

类别：模拟数字论文 2025-07-24 标签：半导体 mems

ROHM(罗姆)传感器_MEMS选型指南立即下载

类别：电子资料 2025-04-01 标签：传感器 mems

EE-350：MEMS麦克风与Blackfin处理器无缝连接立即下载

类别：电子资料 2025-01-06 标签：处理器 mems 麦克风

MEMS麦克风通过I2S将PDM输入直接传输至带软件抽取的C5515EVM立即下载

类别：电子资料 2024-10-11 标签：mems 麦克风 I2S

高精度六轴MEMS运动跟踪TM器件ICM-42688-P 数据表立即下载

类别：IC datasheet pdf 2024-08-12 标签：mems 速度计

ADIS16470微型MEMS惯性测量单元(IMU)英文手册立即下载

类别：IC datasheet pdf 2024-07-22 标签：mems IMU

精密微型MEMS IMU ADIS16505-2bmlz数据手册立即下载

类别：传感与控制 2024-03-18 标签：mems 微机电

MEMS加速度计基本振动特性立即下载

类别：电子资料 2023-11-28 标签：mems 加速度计

mems资讯

美新半导体车规级MEMS传感器构建国产智能感知底座

近日，比亚迪正式发布采用4nm先进制程打造的“璇玑A3”智驾芯片，引发产业广泛关注。作为国产高阶辅助驾驶的重要技术节点，“璇玑A3”不仅意味着国产智驾芯...

2026-06-04 标签：mems 智能驾驶美新半导体 123 0

高性能MEMS惯性测量单元，精准导航新标杆

在航空测绘、智能钻井、无人载体等高精度应用场景中，惯性测量单元是决定姿态感知与自主导航可靠性的核心部件。ER-MIMU-052 高性能导航 MEMS 惯...

2026-06-02 标签：mems 测量单元 171 0

MEMS结构台阶高度偏差的白光干涉仪干法刻蚀制程排查研究

台阶高度是MEMS微结构核心尺寸参数，直接决定微悬臂梁、传感腔体等结构的装配精度与使用性能。干法刻蚀作为MEMS晶圆制备核心制程，腔体真空度、射频功率、...

2026-06-02 标签：mems 182 0

“第八届MEMS智能传感器产业生态发展大会”成功举办

5月31日，“第八届MEMS智能传感器产业生态发展大会”顺利召开。在中国传感器与物联网产业联盟大力支持，矽知科技的倾力承办下，一众专家与会员单位齐聚蚌埠...

2026-06-03 标签：mems 智能传感器 817 0

瑞之辰压力传感器：水泵复杂工况的有效解决方案

在工业、农业及市政等众多领域，水泵发挥着重要作用。然而，水泵面临的工况极为复杂，给所使用的传感器带来诸多挑战。不同水质的腐蚀，从具有腐蚀性的工业废水到成...

2026-06-01 标签：mems 压力传感器 226 0

瑞声科技MEMS压电主动散热芯片将量产出货

近日，瑞声科技基于MEMS压电薄膜关键技术的CoolFan系列主动散热芯片产品，已完成研发试制，进入小批量试产阶段，预计2027年初实现大批量量产出货。...

2026-06-01 标签：mems 散热瑞声科技 486 0

MEMS芯片薄膜厚度异常的白光干涉仪溯源检测及晶圆工艺隐患解决

薄膜厚度均匀性是决定MEMS芯片电学、力学性能稳定性的关键工艺指标。晶圆制备过程中，薄膜沉积、蚀刻、基材预处理等工序的参数波动，易造成膜厚偏差、局部厚薄...

2026-06-01 标签：芯片 mems 晶圆 81 0

瑞声科技CoolFan MEMS压电主动散热芯片进入小批量试产

据媒体报道，瑞声科技正式对外披露，基于MEMS压电薄膜关键技术的CoolFan系列主动散热芯片产品已完成前期研发与工程试制，目前正处在小批量试产阶段。按...

2026-05-31 标签：芯片 mems 瑞声科技 1k 0

琻捷电子亮相第二届MEMS与传感器产业创新领航大会

5月27日至29日，第二届MEMS与传感器产业创新领航大会在湖北孝感乾坤国际大酒店隆重举行。本届大会以"感聚生态，智链未来"为主题，...

2026-05-29 标签：传感器 mems 琻捷电子 962 0

意法半导体揭秘IMU惯性测量单元黑科技

你轻轻转动手中一块迷你电路板，电脑屏幕上的骰子竟会同步实时翻转。

2026-05-29 标签：传感器 mems IMU 132 0

mems数据手册

型号	描述	数据手册	参考价格
MSM321A3729H9BP	模拟输出MEMS麦克风 MIC_3.76X2.95MM_SM		获取价格
MSM261DHP006	MEMS硅麦 1.6~3.6V ±1dB		获取价格

相关话题

换一批

IOT

IOT

+关注

IoT是Internet of Things的缩写，字面翻译是“物体组成的因特网”，准确的翻译应该为“物联网”。物联网（Internet of Things）又称传感网，简要讲就是互联网从人向物的延伸。
海思

海思

+关注
STM32F103C8T6

STM32F103C8T6

+关注

STM32F103C8T6是一款集成电路，芯体尺寸为32位，程序存储器容量是64KB，需要电压2V~3.6V，工作温度为-40°C ~ 85°C。
数字隔离

数字隔离

+关注

数字隔离技术常用于工业网络环境的现场总线、军用电子系统和航空航天电子设备中，尤其是一些应用环境比较恶劣的场合。数字隔离电路主要用于数字信号和开关量信号的传输。另一个重要原因是保护器件（或人）免受高电压的危害。本文详细介绍了数字隔离器工作原理及特点，选型及应用，各类数字隔离器件性能比较等内容。
硬件工程师

硬件工程师

+关注

硬件工程师Hardware Engineer职位要求熟悉计算机市场行情；制定计算机组装计划；能够选购组装需要的硬件设备，并能合理配置、安装计算机和外围设备；安装和配置计算机软件系统；保养硬件和外围设备；清晰描述出现的计算机软硬件故障。
wifi模块

wifi模块

+关注

Wi-Fi模块又名串口Wi-Fi模块，属于物联网传输层，功能是将串口或TTL电平转为符合Wi-Fi无线网络通信标准的嵌入式模块，内置无线网络协议IEEE802.11b.g.n协议栈以及TCP/IP协议栈。传统的硬件设备嵌入Wi-Fi模块可以直接利用Wi-Fi联入互联网，是实现无线智能家居、M2M等物联网应用的重要组成部分。
MPU6050

MPU6050

+关注

MPU-6000（6050）为全球首例整合性6轴运动处理组件，相较于多组件方案，免除了组合陀螺仪与加速器时间轴之差的问题，减少了大量的封装空间。
UHD

UHD

+关注

UHD是”超高清“的意思UHD的应用在电视机技术上最为普遍，目前已有不少厂商推出了UHD超高清电视。
Protues

Protues

+关注

Proteus软件是英国Lab Center Electronics公司出版的EDA工具软件（该软件中国总代理为广州风标电子技术有限公司）。它不仅具有其它EDA工具软件的仿真功能，还能仿真单片机及外围器件。
74ls74

74ls74

+关注

74LS74是双D触发器。功能多，可作双稳态、寄存器、移位寄存器、振荡器、单稳态、分频计数器等功能。本章详细介绍了74ls112的功能及原理，74ls74引脚图及功能表，74ls112的应用等内容。
STC12C5A60S2

STC12C5A60S2

+关注

在众多的51系列单片机中，要算国内STC 公司的1T增强系列更具有竞争力，因他不但和8051指令、管脚完全兼容，而且其片内的具有大容量程序存储器且是FLASH工艺的，如STC12C5A60S2单片机内部就自带高达60K FLASHROM，这种工艺的存储器用户可以用电的方式瞬间擦除、改写。
循迹小车

循迹小车

+关注

做单片机的工程师相比都堆循迹小车有所认识，它是自动引导机器人系统的基本应用，那么今天小编就给大家介绍下自动自动循迹小车的原理，智能循迹小车的应用，智能循迹小车程序，循迹小车用途等知识吧！
光模块

光模块

+关注

光模块(optical module)由光电子器件、功能电路和光接口等组成，光电子器件包括发射和接收两部分。简单的说，光模块的作用就是光电转换，发送端把电信号转换成光信号，通过光纤传送后，接收端再把光信号转换成电信号。
Nexperia

Nexperia

+关注

Nexperia是大批量生产基本半导体的领先专家，这些半导体是世界上每个电子设计都需要的组件。该公司广泛的产品组合包括二极管、双极晶体管、ESD 保护器件、MOSFET、GaN FET 以及模拟和逻辑IC。
LM2596

LM2596

+关注

LM2596是降压型电源管理单片集成电路的开关电压调节器，能够输出3A的驱动电流，同时具有很好的线性和负载调节特性。固定输出版本有3.3V、5V、12V，可调版本可以输出小于37V的各种电压。
光立方

光立方

+关注

光立方是由四千多棵光艺高科技“发光树”组成的，在2009年10月1日天安门广场举行的国庆联欢晚会上面世。这是新中国成立六十周年国庆晚会最具创意的三大法宝之首。
STM32单片机

STM32单片机

+关注

STM32系列基于专为要求高性能、低成本、低功耗的嵌入式应用专门设计的ARM Cortex-M3内核
K60

K60

+关注
步进驱动器

步进驱动器

+关注

步进驱动器是一种将电脉冲转化为角位移的执行机构。当步进驱动器接收到一个脉冲信号，它就驱动步进电机按设定的方向转动一个固定的角度（称为“步距角”），它的旋转是以固定的角度一步一步运行的。可以通过控制脉冲个数来控制角位移量，从而达到准确定位的目的；同时可以通过控制脉冲频率来控制电机转动的速度和加速度，从而达到调速和定位的目的。
COMSOL

COMSOL

+关注

COMSOL集团是全球多物理场建模解决方案的提倡者与领导者。凭借创新的团队、协作的文化、前沿的技术、出色的产品，这家高科技工程软件公司正飞速发展，并有望成为行业领袖。其旗舰产品COMSOL Multiphysics 使工程师和科学家们可以通过模拟，赋予设计理念以生命。
CD4046

CD4046

+关注

cD4046是通用的CMOS锁相环集成电路，其特点是电源电压范围宽（为3V－18V），输入阻抗高（约100MΩ），动态功耗小，在中心频率f0为10kHz下功耗仅为600μW，属微功耗器件。本章主要介绍内容有，CD4046的功能 cd4046锁相环电路，CD4046无线发射，cd4046运用，cd4046锁相环电路图。
加速度传感器

加速度传感器

+关注

加速度传感器是一种能够测量加速度的传感器。通常由质量块、阻尼器、弹性元件、敏感元件和适调电路等部分组成。
服务机器人

服务机器人

+关注

服务机器人是机器人家族中的一个年轻成员，到目前为止尚没有一个严格的定义。不同国家对服务机器人的认识不同。
联网技术

联网技术

+关注
四轴飞行器

四轴飞行器

+关注

四轴飞行器，又称四旋翼飞行器、四旋翼直升机，简称四轴、四旋翼。这四轴飞行器（Quadrotor）是一种多旋翼飞行器。四轴飞行器的四个螺旋桨都是电机直连的简单机构，十字形的布局允许飞行器通过改变电机转速获得旋转机身的力，从而调整自身姿态。具体的技术细节在“基本运动原理”中讲述。
SDK

SDK

+关注

　　SDK一般指软件开发工具包，软件开发工具包一般都是一些软件工程师为特定的软件包、软件框架、硬件平台、操作系统等建立应用软件时的开发工具的集合。软件开发工具广义上指辅助开发某一类软件的相关文档、范例和工具的集合。
基站测试

基站测试

+关注

802.11ac与11基站测试（base station tests）在基站设备安装完毕后，对基站设备电气性能所进行的测量。n的区别，802.11n无线网卡驱动，802.11n怎么安装。
ESP8266

ESP8266

+关注

wifi模块ESP8266的默认波特率是115200，但是单片机不能达到那么快的传输速率，只能使用4800bps，那么设置的时候，必不可少的要先用转串口调试下载器。
TMS320F28335

TMS320F28335

+关注

TMS320F28335是一款TI高性能TMS320C28x系列32位浮点DSP处理器
静电防护

静电防护

+关注

为防止静电积累所引起的人身电击、火灾和爆炸、电子器件失效和损坏，以及对生产的不良影响而采取的防范措施。其防范原则主要是抑制静电的产生，加速静电泄漏，进行静电中和等。

换一批

关注此标签的用户(129人)

编辑推荐厂商产品技术软件/工具OS/语言教程专题

电机控制	DSP	氮化镓	功率放大器	ChatGPT	自动驾驶	TI	瑞萨电子
BLDC	PLC	碳化硅	二极管	OpenAI	元宇宙	安森美	ADI
无刷电机	FOC	IGBT	逆变器	文心一言	5G	英飞凌	罗姆
直流电机	PID	MOSFET	传感器	人工智能	物联网	NXP	赛灵思
步进电机	SPWM	充电桩	IPM	机器视觉	无人机	三菱电机	ST
伺服电机	SVPWM	光伏发电	UPS	AR	智能电网	国民技术	Microchip

瑞萨	沁恒股份	全志	国民技术	瑞芯微	兆易创新	芯海科技	Altium
德州仪器	Vishay	Micron	Skyworks	AMS	TAIYOYUDEN	纳芯微	HARTING
adi	Cypress	Littelfuse	Avago	FTDI	Cirrus LogIC	Intersil	Qualcomm
st	Murata	Panasonic	Altera	Bourns	矽力杰	Samtec	扬兴科技
microchip	TDK	Rohm	Silicon Labs	圣邦微电子	安费诺工业	ixys	Isocom Compo
安森美	DIODES	Nidec	Intel	EPSON	乐鑫	Realtek	ERNI电子
TE Connectivity	Toshiba	OMRON	Sensirion	Broadcom	Semtech	旺宏	英飞凌
Nexperia	Lattice	KEMET	顺络电子	霍尼韦尔	pulse	ISSI	NXP
Xilinx	广濑电机	金升阳	君耀电子	聚洵	Liteon	新洁能	Maxim
MPS	亿光	Exar	菲尼克斯	CUI	WIZnet	Molex	Yageo
Samsung	风华高科	WINBOND	长晶科技	晶导微电子	上海贝岭	KOA	Echelon
Coilcraft	LRC	trinamic

放大器	运算放大器	差动放大器	电流感应放大器	比较器	仪表放大器	可变增益放大器	隔离放大器
时钟	时钟振荡器	时钟发生器	时钟缓冲器	定时器	寄存器	实时时钟	PWM 调制器
视频放大器	功率放大器	频率转换器	扬声器放大器	音频转换器	音频开关	音频接口	音频编解码器
模数转换器	数模转换器	数字电位器	触摸屏控制器	AFE	ADC	DAC	电源管理
线性稳压器	LDO	开关稳压器	DC/DC	降压转换器	电源模块	MOSFET	IGBT
振荡器	谐振器	滤波器	电容器	电感器	电阻器	二极管	晶体管
变送器	传感器	解析器	编码器	陀螺仪	加速计	温度传感器	压力传感器
电机驱动器	步进驱动器	TWS	BLDC	无刷直流驱动器	湿度传感器	光学传感器	图像传感器
数字隔离器	ESD 保护	收发器	桥接器	多路复用器	氮化镓	PFC	数字电源

开关电源	步进电机	无线充电	LabVIEW	EMC	PLC	OLED	单片机
5G	m2m	DSP	MCU	ASIC	CPU	ROM	DRAM
NB-IoT	LoRa	Zigbee	NFC	蓝牙	RFID	Wi-Fi	SIGFOX
Type-C	USB	以太网	仿真器	RISC	RAM	寄存器	GPU
语音识别	万用表	CPLD	耦合	电路仿真	电容滤波	保护电路	看门狗
CAN	CSI	DSI	DVI	Ethernet	HDMI	I2C	RS-485
SDI	nas	DMA	HomeKit	阈值电压	UART	机器学习	TensorFlow

Arduino	BeagleBone	树莓派	STM32	MSP430	EFM32	ARM mbed	EDA
示波器	LPC	imx8	PSoC	Altium Designer	Allegro	Mentor	Pads
OrCAD	Cadence	AutoCAD	华秋DFM	Keil	MATLAB	MPLAB	Quartus

C++	Java	Python	JavaScript	node.js	RISC-V	verilog	Tensorflow
Android	iOS	linux	RTOS	FreeRTOS	LiteOS	RT-THread	uCOS
DuerOS	Brillo	Windows11	HarmonyOS

林超文PCB设计：PADS教程，PADS视频教程	郑振宇老师：Altium Designer教程，Altium Designer视频教程
张飞实战电子视频教程	朱有鹏老师：海思HI3518e教程，HI3518e视频教程
李增老师：信号完整性教程，高速电路仿真教程	华为鸿蒙系统教程，HarmonyOS视频教程
赛盛：EMC设计教程，EMC视频教程	杜洋老师：STM32教程，STM32视频教程
唐佐林：c语言基础教程，c语言基础视频教程	张飞：BUCK电源教程，BUCK电源视频教程
正点原子：FPGA教程，FPGA视频教程	韦东山老师：嵌入式教程，嵌入式视频教程
张先凤老师：C语言基础视频教程	许孝刚老师：Modbus通讯视频教程
王振涛老师：NB-IoT开发视频教程	Mill老师：FPGA教程，Zynq视频教程
C语言视频教程	RK3566芯片资料合集
朱有鹏老师：U-Boot源码分析视频教程	开源硬件专题

搜索历史