微机电系统MEMS简介

摘要

MEMS已被认为是最有前途的技术之一。在21世纪，它具有革命性的工业和结合以硅为基础的微电子产品微加工技术。它的技术和微系统电子设备有可能极大地影响我们的生活。本文介绍了微机电系统文章全部详情，重点介绍其商业应用和器件制造方法。它还描述了MEMS传感器和执行器的范围可被MEMS器件感知或作用的现象概述了该行业面临的主要挑战。  

介绍  

本报告涉及微电子机械系统或MEMS的新兴领域。MEMS是一种用于制造微型集成设备或系统的工艺技术机械及电子元件。 它们是用集成电路批量制造的加工技术，大小从几微米到几毫米不等。 这些设备(或系统)具有在微尺度上感知、控制和驱动的能力。在宏观尺度上产生影响，MEMS的跨学科性质利用了设计、工程和制造具有集成电路等广泛的技术领域的专业知识制造技术、机械工程、材料科学、电气工程、 化学和化学工程，以及流体工程，光学，仪器仪表和包装。MEMS的复杂性也体现在广泛的市场和集成MEMS设备的应用程序。 MEMS可以在各种系统中找到汽车、医疗、电子、通信和国防应用。 当前MEMS 设备包括用于安全气囊传感器的加速度计，喷墨打印机头，计算机磁盘驱动器等 。

MEMS被认为是21世纪最有前途的技术之一，通过将基于硅的微电子学与微加工技术相结合，具有彻底改变工业和消费产品的潜力。 它的技术和基于的微系统设备有可能极大地影响我们的生活和我们的生活方式。如果半导体微细制造被视为第一次微细制造革命，MEMS是第二次革命。