介绍
MEMS（微机电系统）加速度计是使用MEMS技术制造的加速度计。由于使用了微机电系统技术，其尺寸大大减小，MEMS加速度计的尺寸只有指甲的一小部分。MEMS加速度计具有体积小、重量轻、能耗低等优点。
ER-MA-6是一种惯性传感器，可以测量重力引起的线性加速度。本产品是一款大范围、超高精度、高可靠性、低功耗的MEMS加速度计。
特点
大量程、超高精度、高可靠性、低功耗
二阶非线性：<10µg/g2
零偏稳定性（1s平滑）（1σ）：<15ug
零偏稳定性（10s平滑）：<5ug
零偏不稳定性（艾伦方差）：<2ug
应用
惯性测量：惯性制导、过载测量、组合导航
倾斜测量：天线姿态、平台测量、倾斜角度测试
振动测量：机械设备、桥梁和水坝、安全测试
规格
参数 | 加速度计 | 单位 |
产品型号 | ER-MA-6 | |
封装 | CLCC48 | |
轴向 | Y | |
量程 | 60 | g |
标度非线性 | <500ppm | Ppm(全尺寸的IEEE规范) |
带宽(可调)3db | >150 | Hz |
群组延迟 | <3 | ms |
二阶非线性系数 | <10 | µg/g2 |
噪声 | <30 | µg/√Hz @1hz |
阈值 | <30 | µg |
出厂零偏（室温） | <±1 | mg(室温标定值) |
出厂零偏温度漂移 | <±0.5 | mg |
出厂零偏温度滞后 | <0.2 | mg |
补偿后的偏差 | <±0.15 | mg |
零偏稳定性 (1s 平滑) (1σ) | <15 | ug |
零偏稳定性 (10s 平滑) | <5 | ug |
零偏不稳定性 (艾伦方差) | <2 | ug |
月重复性 | <±0.03 | mg |
重复性1σ | <10 | ug |
标度因数 | 20000000 | lsb/g(室温标定值) |
标度因数月重复性 | <±20 | ppm |
温度系数 | <40 | ppm/°C |
补偿后的比例系数 | <100 | ppm |
启动时间 | <500 | ms |
采样频率(可调) | >10K | Hz |
冲击(带电) | 300 | g |
冲击(不带电) | 300 | g |
震动 | 18 | g |
工作温度 | -40~+85 | °C |
电源电压 | 5±0.25 | V |
电流 | <30 | ma |
通信接口 | SPI |
