台积电5nm制程最快今年动工 2020年量产迎战英特尔

电子发烧友早八点讯：环保署环评大会昨天通过攸关台积五纳米先进制程布局的南科环境境影响差异分析案。台积电表示，此案通过让台积五纳米制程基地有着落，最快将在今年动工，目标在二○二○年量产，迎战强敌三星和英特尔。至于后续三纳米计划，稍早科技部已提前曝光，可能落脚于南科路竹基地，但内部仍须进行详细评估。

台积电南科厂目前主力制程为十六纳米，后续十纳米和七纳米生产重心放在中科，但接续五纳米制程将再南科厂担纲。台积电厂务处长庄子寿昨天在会后表示，五纳米制程还在发展中，台积五纳米制程是未来二至三年计划，占地约四十公顷，投资额几千亿元，待台积董事会通过后就会启动。

昨日环评大会决议，南科管理局须在今年六月卅日前成立监督小组，十一名成员中，将有三至四名成员由当地居民及民间团体推荐代表担任。

环评委员李育明表示，南科环差案自二○一四年底送进来，历经二年审查，因制程更新致用水用电量将增加，且针对危险物质，依法规不必做风险评估，但开发单位仍自主性进行风险评估。

李育明指出，台积电在专案小组第三次会议延续会议上说明，五纳米制程晶圆在使用阶段的用电量，是现有廿五纳米制程的百分之十，且台积电承诺，污染总量及废水量反而减少。

因台积电更新制程，南科每日增加五万吨用水量、七十万瓩用电量。南科管理局长林威呈表示，南科承诺未来将采用一点二五万吨的永康再生水、以及园区二万吨工业回收再生水，将在南科环三用地上设置再生水厂，并且纳入环差变更内容。

南科第一期和第二期环评分别于一九九六年及二○○三年通过，因台积电和联电更新半导体制程，须增加用水用电量，依规定须办理环差变更，环保署专案小组及环评大会陆续通过南科环差案，使台积电未来全球竞争布局上再下一城。