MEMS器件目前主要应用于汽车和消费电子，未来在医疗、工业、航空航天市场也将逐渐普及。那么MEMS是什么？有什么特点？MEMS设计与制造面临哪些困难？本文将会一一解答。
2016-11-01 10:46:17
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硅基MEMS加工技术主要包括体硅MEMS加工技术和表面MEMS加工技术。体硅MEMS加工技术的主要特点是对硅
2018-04-12 08:40:449594 
随着便携消费电子的走热，MEMS器件得到了爆发式的增长。短短两年时间MEMS器件成为消费电子领域炙手可热的器件，近几年都会保持高速增长趋势。现在让我们一起来了解下MEMS各器件的走势吧。
2013-01-23 14:43:052334 
MEMS产业发展十分迅速，但是人们常常忽视对其的早期测试。乍一看来，MEMS器件和传统IC器件的制造十分相似，但是，由于MEMS器件具有额外的机械部分（大多是可活动的）和封装，这些部分的成本通常占其总成本的大部分，因此MEMS器件的特性比传统IC器件要复杂得多，而且各不相同。
2016-11-05 07:25:471377 为了获得高性能的MEMS磁传感器，首先要根据器件的应用对象对器件进行设计，由此确定器件的结构、使用的材料、应用的工作原理和感应技术等。MEMS设计人员可以根据模拟和建模工具选择制造传感器的最佳工艺
2018-04-11 09:40:118059 
据IHS iSuppli公司的MEMS与传感器研究报告，由于价格相对较高，以及在汽车、医疗与工业等领域的应用范围不断扩大，压力传感器到2014年将成为销售额最高的微机电系统(MEMS)器件。
2011-10-21 09:06:24947 
鉴于MEMS工艺源自光刻微电子工艺，所以人们很自然会考虑用IC设计工具来创建MEMS器件的掩膜。
2011-12-09 11:44:16858 广。 MEMS 重要类别——IMU 惯性测量单元一直是MEMS市场里重要的产品类型，主要包括加速度计、陀螺仪和磁力计。如今，由分立的惯性测量单元组合成的三轴、六轴、九轴IMU，将加速度传感器、陀螺仪、磁传感器等MEMS器件集成在一起，以满足生产
2023-08-01 00:08:001007 MEMS: Mainstream Process Integration The picture below shows a prototype example
2009-12-22 16:34:57
据麦姆斯咨询介绍，物联网（IoT）可以利用MEMS的几个核心功能和优势，MEMS器件可以有效地满足许多物联网应用的要求：
2020-12-23 07:09:36
本帖最后由 eehome 于 2013-1-5 09:51 编辑
MEMS器件的封装形式是把基于MEMS的系统方案推向市场的关键因素。研究发现，当今基于MEMS的典型产品中，封装成本几乎占去
2010-12-29 15:44:12
ＭＥＭＳ技术涉及到惯性器件如加速度计与陀螺、ＡＦＭ（原子力显微镜）、数据存储、三维微型结构的制作、微型阀门、泵和微型喷口、流量器件、微型光学器件、各种执行器、微型机电器件性能模拟、各种制造工艺、封装键合、医用器件、实验表征器件、压力传感器、麦克风以及声学器件等领域。并在军事、民用范围内广泛应用。
2019-06-20 06:03:09
和控制电路、直至接口、通信和电源等集成于一块或多块芯片上的微型器件或系统。而MEMS传感器就是采用微电子和微机械加工技术制造出来的新型传感器。MEMS是用传统的半导体工艺和材料，以半导体制造技术为
2016-12-09 17:46:21
重要器件。传感器发展到今天，小型化、智能化、集成化，已经是升级换代的必由之路。今天，我们来为大家介绍一下传感器家族的mini型产品——MEMS传感器。什么是MEMS传感器？MEMS的全称是微型电子机械
2018-11-12 10:51:35
传感器曾经被局限在汽车市场和工业应用领域；今天，随着MEMS传感器越来越小，价格越来越低，能效越来越高，设计和应用空间不断扩大，它在消费类应用市场的普及率正在不断提高。 制造这些器件所采用的微加工
2018-10-31 16:56:44
MEMS传感器，也就是我们常说的智能传感器，是应用最广泛的MEMS器件。它一般是把信号处理电路和敏感单元集成制作在一个芯片上，这样能够感知被测参数，并且还能对所得到的信号进行分析、处理和识别、判断
2013-10-11 16:21:38
MEMS(Micro-Electro-MechanicalSystems)是微机电系统的缩写，MEMS技术建立在微米/纳米基础上，是对微米/纳米材料进行设计、加工、制造、测量和控制的技术，完整的MEMS是由微传感器、微执行器、信号处理和控制电路、通讯接口和电源等部件组成的一体化的微型器件系统。
2019-09-29 09:34:52
器件或系统。MEMS是随着半导体集成电路微细加工技术和超精密机械加工技术的发展而发展起来的，目前MEMS加工技术还被广泛应用于微流控芯片与合成生物学等领域，从而进行生物化学等实验室技术流程的芯片集成化
2018-09-07 15:24:09
mg或1.7%。图2. PZT加速度计（上）和MEMS加速度计（下）的噪声密度谱；在高达10 kHz时，结果几乎相同；主要差别在MEMS加速度计的低频响应。不同于PZT器件，MEMS器件具有低频
2018-10-23 14:29:49
1. MEMS IMU配置(ADIS16485)可用带宽及其与跨轴相位匹配能力的关系对于多轴设计也至关重要。有些陀螺仪结构带宽有限，与总降噪有关，而有些结构带宽有限(通常低于100 Hz)是由于反馈电子器件
2018-10-18 10:55:34
Eric Carty、Padraig Fitzgerald和Padraig McDaidADI公司简介过去30年来，MEMS开关一直被标榜为性能有限的机电继电器的出色替代器件，因为它易于使用，尺寸
2018-10-17 10:52:05
性能、更多功能(技术推动)与更具创新力的设计方法(设计推动的创新) ，使最终的MEMS器件更适合消费电子市场的需求[1]。
2019-11-05 06:19:06
MEMS器件目前主要应用于汽车和消费电子，未来在医疗、工业、航空航天市场也将逐渐普及。那么MEMS是什么？有什么特点？MEMS设计与制造面临哪些困难？本文将会一一解答。 MEMS是什么？ 微机
2018-11-07 11:00:01
DMD电输入-光输出器件，使得开发人员能够执行高速、高效和可靠空间光调制，来生成一个投射图像。MEMS技术所取得的进步基于MEMS的DMD的不断创新正在为开发人员提供更多机会，将基于投影的显示技术包含
2018-09-06 14:58:52
微机电系统（MEMS，Micro-Electro-Mechanical System）是指集微型机构、微型传感器、微型执行器以及信号处理和控制电路、接口、通信和电源等于一体的微型器件或系统。其尺寸
2018-10-15 10:47:43
微机电系统 (MEMS) 将很快成为智能系统设计和构造不可或缺的部分。这些器件缩短了物理世界和电子世界之间的差距，它们用于众多应用，涉及各种细分市场。在众多细分市场中，价格降低、准确度要求提高和快速面市需求将对设计和制造性能提出新的约束条件。企业要获得成功必须找到新的方法来应对这些挑战。
2019-10-17 07:11:28
据麦姆斯咨询报道，气压传感器是一类非常有用的MEMS器件。它们在物联网（IoT）中有非常广泛的应用，从气象监测到室内资产跟踪。
2020-08-07 07:11:41
作为一项基于固态电子器件和内置半导体制造设施技术，MEMS向状态监控产品设计师提供了几个极具吸引力且有价值的优势。撇开性能因素，我们就来说说状态监控领域的任何人都应对MEMS加速度计感兴趣的主要原因
2018-10-12 11:01:36
的主要设计、制作，传感技术及器件性质进行综述，并对其未来发展进行展望。 1、MEMS磁传感器设计及制作 1.1 MEMS磁传感器设计 为了获得高性能的MEMS磁传感器，首先要根据器件的应用对象对器件
2018-11-09 10:38:15
`作为一种新型封装器件，微机电系统(MEMS)将成为21世纪电子领域的重要技术之一，但是对于如何在PCB上装配MEMS，中国工程师仍知之甚少。要想在这一新兴技术领域占有一席之地，除了开发设计外
2014-08-19 15:50:19
的巨大进步，包括超小型制造结构、出色的稳定性和可重复性、低功耗，所有这些都已成为硅工业不折不扣的要求。迄今为止，MEMS麦克风的功耗和噪声水平还是相当高，不宜用于助听器，但满足这两项关键要求的新器件
2019-11-05 08:00:00
模块的线性度影响，而且C/V和A/D的动态范围要求可能会更加严格。相反，将MEMS传感器放在负反馈闭环中使用有许多好处，例如改进的带宽、对MEMS器件的工艺和温度变化具有较低的敏感性。另外，由于C/V
2018-12-05 15:12:05
我在原型中使用LPS331。除了可以选择输出数据速率之外，数据表不提供任何时序信息。 SPI的时序值是什么，例如最大时钟频率等。我搜索ST站点，找不到任何其他有用的信息。对于I2C，它表示它符合快速
2018-11-16 10:44:20
早在1979年，微电子机械开关就被用于转换低频电信号。从那时开始，开关设计就采用悬臂、旋转和隔膜的布局来实现RF和微波频率下的良好性能。RF MEMS表现出低损耗、低功耗和没有互调失真。对于有微秒开关速度就足够的应用来说，这些器件用于取代传统FET或p-i-n二极管开关极有吸引力。
2019-10-21 07:38:31
近年来射频微电子系统(RF MEMS)器件以其尺寸小、功耗低而受到广泛关注，特别是MEMS开关构建的移相器与天线，是实现上万单元相控阵雷达的关键技术，在军事上有重要意义。在通信领域上亦凭借超低
2019-07-29 08:31:54
ST是否为其MEMS器件提供特性数据？ #mems #characterization以上来自于谷歌翻译以下为原文 Does ST provide characterization data for its MEMS devices? #mems #characterization
2018-11-09 09:46:51
作为一项基于固态电子器件和内置半导体制造设施技术，MEMS向状态监控产品设计师提供了几个极具吸引力且有价值的优势。撇开性能因素，我们就来说说状态监控领域的任何人都应对MEMS加速度计感兴趣的主要原因
2018-10-11 10:31:14
两个横隔（传感器横隔上部、传感器下部）之间的间距变化，导致隔板之间的电容变化，据此可以测算出压力大小。（2）MEMS加速度传感器MEMS加速度传感器，顾名思义，是一种能够测量加速度的MEMS器件。加速度
2021-04-09 07:00:00
两个横隔（传感器横隔上部、传感器下部）之间的间距变化，导致隔板之间的电容变化，据此可以测算出压力大小。（2）MEMS加速度传感器MEMS加速度传感器，顾名思义，是一种能够测量加速度的MEMS器件。加速度
2021-05-25 07:00:00
什么是RF MEMS？有哪些关键技术与器件？微电子机械系统(MicroElectroMechanicalSystem)，简称MEMS，是以微电子技术为基础而兴起发展的，以硅、砷化镓、蓝宝石等为衬底
2019-08-01 06:17:43
等，同时在机械结构上制备了电极，以便通过电子技术进行控制。生活中有哪些MEMS器件？第一个可转动的MEMS马达于1988年诞生于加州大学伯克利分校，如图1所示；之后于1989年，美国桑迪亚国家实验室
2020-05-12 17:27:14
基于MEMS的TI TI DLP® Pico™ 投影显示技术的核心是一组高反射性铝制微镜，被称为数字微镜器件 (DMD)。一个DMD可以包含数百万个单独控制的微镜，每个微镜位于相关的补偿金属氧化物
2022-11-18 06:41:21
PZT加速度计（上）和MEMS加速度计（下）的噪声密度谱；在高达10 kHz时，结果几乎相同；主要差别在MEMS加速度计的低频响应。不同于PZT器件，MEMS器件具有低频响应性能（可测量0.1 Hz
2018-11-01 11:01:00
易谱科技有限公司代理 Radant MEMS 公司在中国区的产品销售与技术支持服务。Radant 是一家专业设计、生产射频/微波开关的厂商，目前产品已在美国以及亚洲市场有了广泛的应用，与无线通信
2014-10-24 11:36:26
，压力传感器、加速度计、陀螺仪与流量传感器四类器件合计占汽车MEMS系统的99%。MEMS压力传感器MEMS压力传感器是汽车中应用最多的传感器， 至少18个汽车应用领域促进压力传感器的增长，包括：轮胎压力，电子
2016-12-07 15:42:36
。这并没有妨碍状态监控产品设计师在新产品中使用噪音性能优良的MEMS。作为一项基于固态电子器件和内置半导体制造设施技术，MEMS向状态监控产品设计师提供了几个极具吸引力且有价值的优势。撇开性能因素，下面是状态监控领域的任何人都应对MEMS加速度计感兴趣的主要原因。
2019-07-17 06:38:53
是否可以使用Agilent 4284a LCR仪表检查MEMS器件的动态性能？如果是的话，请转到我的应用说明。谢谢。 以上来自于谷歌翻译 以下为原文Is it possible to check
2019-07-12 10:33:33
本帖最后由 gk320830 于 2015-3-7 11:21 编辑
释放MEMS机械结构的干法刻蚀技术湿法刻蚀是MEMS 器件去除牺牲材料的传统工艺，总部位于苏格兰的Point 35
2013-11-04 11:51:00
微机电系统(MEMS)运动IC在走向更高的集成度、更小的芯片尺寸、更低的成本以及更高的性能和可靠性。这些趋势在最新的加速度计、陀螺仪和惯性测量单元(IMU)上得到了体现，使得MEMS器件得以满足多种下一代电子产品，特别是消费电子产品的需求。
2019-10-29 07:52:04
随着传感器、物联网应用的大规模落地，微机电系统（MEMS）在近些年应用越来越广泛，MEMS的存在可以减小电子器件的大小。同时，与之相对应的MEMS封装也开始备受关注。
2020-05-12 10:23:29
论述了微机电系统(MEMS)器件缩减模型的建立是进行MEMS系统级模拟的关键。论证了基于线性正交振型建立MEMS器件缩减模型是一种有效的方法，导出了MEMS器件动态缩减模型的微分方
2009-05-28 11:19:06
17 微电子机械系统（MEMS）技术在通信领域中有着广泛的应用前景，本文介绍了在无线通信和光通信中的MEMS 器件如MEMS 电感、电容、开关、滤波器、光检测器等MEMS 器件的原理、结构
2009-11-16 16:41:3715 RF-MEMS 不仅在体积上小于传统射频器件，易于单片集成，且其性能也优于传统射频器件，此外，RF-MEMS 还可以实现器件多功能配置，如可重构天线。因此，RF-MEMS近年来已成为全世
2009-11-26 15:59:3921 随着MEMS 系统级设计成为研究的热点，MEMS 系统级CAD 的开发日益重要。论文介绍了一种基于降阶宏模型MEMS 系统级仿真平台，通过有限元方法提取MEMS 器件几何物理数据，建立MEMS 器件
2009-12-19 14:05:2914 MEMS规范概述
许多拥有晶圆厂的半导体制造商寻求通过为无晶圆厂MEMS开发商制造MEMS器件来利用他们旧生产线的产能，但是若
2010-03-11 14:35:31530 MEMS器件的封装形式是把基于MEMS的系统方案推向市场的关键因素。研究发现，当今基于MEMS的典型产品中，封装成本几
2010-11-29 09:23:131596 mems（微机电系统）传感器;有三项MEMS技术产品：红外传感器、磁性传感器、测角传感器;在高档汽车中，大约采用25至40只MEMS传感器;
2012-12-11 14:31:37931 近年来，随着消费电子领域的快速发展，MEMS器件正式进入了人们的视线。面对当前的MEMS器件热，电子发烧友网在这里先为大家整理了ADI近年来发布的MEMS器件新品来供大家认识与了解。
2012-12-12 14:25:012394 
石英振荡器与硅基MEMS技术（硅晶圆级封装技术）结合的时钟器件，该方案利用硅基MEMS技术真空封装石英振荡器。
2013-02-25 14:52:361239 
MEMS技术在THz无源器件中的应用
2017-02-07 18:05:378 近年来，MEMS 惯性器件取得了飞速发展，基于 MEMS 惯性器件的惯导系统也逐渐成熟，应用范围越来越广，特别是在航天和军事上具有巨大的发展潜力。本文阐述了 MEMS 惯性器件特点、发展过程及在航天
2017-10-19 14:50:0616 MEMS器件动态特性的光学测量就是一种有效的测试手段。先进的光学测量技术对MEMS器件在开发过程中了解其全视野动态响应，完成各种不同的物理特性的多种参数（尺寸、薄膜厚度、台阶高度、横截面、粗糙度、压力、静摩擦、弹性模量、响应时间、热膨胀、谐振频率，等等）的测量。
2018-07-13 14:40:0015577 MEMS是一种结合微电子和微机械的半导体技术，在计算机和智能手机中可以找到，包括传感器、执行器和微齿轮等机械微结构。MEMS现在几乎无处不在，从智能手机到汽车安全气囊、生物传感器件以及光学器件等，MEMS可以借助典型计算机芯片中的半导体技术完成制造。
2018-03-12 15:29:001623 MEMS代工主要有两种类型：IDM厂商提供的MEMS代工，独立的代工厂提供的MEMS代工，其中独立的代工厂包括集成电路代工厂和纯MEMS代工厂。近几年Fabless模式的MEMS器件制造商发展迅速
2018-07-31 09:24:002544 MEMS器件，尤其是MEMS传感器已成为智能手机中的标准配置。同时，智能手机应用软件日益庞大的生态系统很大程度上要归功于MEMS传感器。苹果iPhone和Research in Motion
2018-04-28 15:24:001543 
即便您要重新设计传动电机的MEMS传感器，目标也是让工作尽可能轻松快捷地完成。利用Tanner L-Edit中的MEMS库，您可以从大量MEMS器件不同的基本单元中进行选择，然后迅速装配出您的MEMS版图。
2018-05-09 14:48:114669 
MEMS器件的封装形式是把基于MEMS的系统方案推向市场的关键因素。研究发现，当今基于MEMS的典型产品中，封装成本几乎占去了所有物料和组装成本的20%～40%。由于生产因素的影响，使得封装之后的测试成本比器件级的测试成本更高，这就使MEMS产品的封装选择和设计更加重要。
2018-06-12 14:33:005752 
可能大部分对MEMS还是比较陌生，但其实MEMS在生活中早已无处不在了，智能手机、手环、汽车、无人机、VR/AR头戴式设备等，都应用了MEMS器件。
2018-07-15 08:40:2421882 创建基于传感器的物联网（IoT）边缘器件会涉及多个设计领域，因此极具挑战性（图1）。但是，在同一硅片上创建一个既有采用传统CMOS IC流程制作的电子器件，又有MEMS传感器的边缘器件似乎不大现实
2018-08-02 18:55:164557 据麦姆斯咨询报道，加拿大魁北克Universite de Sherbrooke（舍布鲁克大学）的研究人员已经成功地在MEMS（微机电系统）器件中设计了一种AI（人工智能）技术，这标志着MEMS器件
2018-11-18 10:30:00992 据麦姆斯咨询报道，MEMS器件领先供应商Sensera将其MEMS技术应用到了生物工程领域的新应用。该公司的MEMS技术被Harvard University（美国哈佛大学）用于“打造”微流控器件，以模仿人体器官的功能，包括肺、肠、肾、皮肤、骨髓和血脑屏障。
2019-01-23 14:41:08997 MEMS器件以硅为主要材料。硅的强度、硬度和杨氏模量与铁相当。密度类似于铝，热传导率接近铜和钨，因此MEMS器件机械电气性能优良。它集中了当今科学技术发展的许多尖端成果。通过微型化、集成化可以探索新原理、新功能的元件和系统，将开辟一个新技术领域。
2019-02-12 15:12:1512525 MEMS器件的行为模式通常与尺寸较大的器件类似，但有一些明显的差异。能够将大量MEMS器件装进智能手机等尺寸稍大的设备中，绝对是一个很关键的差异化优势。一系列传感器和其他MEMS器件都可以集成到仅有口袋大小的智能手机中。
2019-05-17 09:35:37865 MEMS生物传感器目前处于发展初期。MEMS生物传感器是利用生物分子探测生物反应信息的器件。
2019-07-25 14:19:253567 
随着光通信网络的快速发展，传统以电为核心的通信器件已经不能满足高速大容量的光通信需求，MEMS光开关由于其体积小，易集成，容量大等特点，已成为全光通信网中的重要器件之一。 MEMS光开关是基于微机
2020-03-24 15:36:567880 自从苹果手机使用了MEMS器件以来，市场上掀起了一股MEMS热，同时也激活了我们的全硅设计的MEMS振荡器。MEMS振荡器因其可以实现更小的体积，和较低的功耗，成本上跟石英晶振基本相当，所以有很多有这些相关要求的产品开始选用MEMS产品来替代石英晶振。
2020-04-20 16:58:042653 随着传感器、物联网应用的大规模落地，微机电系统（MEMS）在近些年应用越来越广泛，MEMS的存在可以减小电子器件的大小。同时，与之相对应的MEMS封装也开始备受关注。
2020-05-11 17:27:55988 
那MEMS传感器又是什么？MEMS传感器就是把一颗MEMS芯片和一颗专用集成电路芯片（ASIC芯片）封装在一块后形成的器件。左图是一张典型的MEMS麦克风内部构造的放大图，图内右边的芯片是MEMS芯片，左边的芯片是ASIC芯片。右图是封装后的MEMS麦克风。
2020-06-12 09:42:2275919 微机电系统（MEMS）技术使用半导体制造工艺来生产尺寸范围从小于一微米到几毫米的小型化机械和机电元件。MEMS设备可以从没有运动元件的相对简单的结构到具有多个运动元件的复杂的机电系统。
2020-07-22 18:06:094553 
实际上，许多IoT边缘器件会在单个封装中集成多个芯片，将电子器件与MEMS设计分开。Tanner AMS IC设计流程支持单芯片或多芯片技术，因而有助于成功实现IoT边缘器件的设计和验证。
2020-12-26 00:45:04269 美泰电子科技有限公司 美泰电子科技有限公司是中国MEMS行业协会理事长单位。专门致力于MEMS（微电子机械系统）器件与系统的研发、生产和销售。是国内最大的MEMS高端核心芯片、器件和系统产品供应商
2021-05-13 13:50:202230 测试MEMS器件需要不同的方法，因为有些MEMS芯片包含可动作的机械器件，测试时需要摇动器件来测试移动范围与结构的一致性，但是这种测试各自有相应的问题，例如成本。 “用大型ATE设备测试成本敏感
2021-07-19 17:36:522253 许多MEMS器件需要保护，以免受到外部环境的影响，或者只能在受控气氛或真空下运行。当今MEMS器件与CMOS芯片的高度集成，还需要专门用于MEMS器件的先进晶圆级封装解决方案。
2022-07-15 12:36:013396 
MEMS器件具有重量轻、体积小、成本低、功耗小等优点，非常有利于MEMS器件在电信和消费电子等行业中的应用。近年来，MEMS技术在汽车行业尤其是包括安全气囊系统在内的车辆安全系统中越来越受到青睐。
2022-09-07 09:16:181536 微机电系统（MEMS）器件，例如MEMS加速度计，广泛应用于汽车电子、消费电子和生物医疗等行业。利用半导体制造技术可有效地大批量生产MEMS器件，但对于具有成本效益的专用MEMS器件的中小
2022-10-19 17:30:121148 随着微加工技术的发展，基于MEMS微桥结构技术制造的微测辐射热计器件，具备与半导体读出电路单芯片集成并实现大规模生产的能力，逐渐成为非制冷红外探测器的主流制造技术。
2023-02-21 17:10:221213 随着微电子技术的飞速发展，微电子机械系统（MEMS）逐渐成为众多领域的研究热点。MEMS器件在诸如传感器、执行器等方面表现出卓越的性能，但要实现这些优越特性，对其封装结构和制造工艺要求极高。本文将详细介绍MEMS器件真空封装结构及其制造工艺。
2023-04-21 14:18:181042 
最新消息！知芯传感，作为国产MEMS器件领域的践行者，于2023年8月18日发布了令人振奋的搬迁公告。这一重要举措意味着知芯传感迈向了新的征程，进一步巩固其在国内MEMS市场践行者的地位。
2023-08-25 17:20:52416 
传输等领域得到了广泛应用。 MEMS交换的原理是利用微机电系统中的微结构来实现光路的开关。该系统由一个微型光学器件和一个驱动电路组成。光学器件包括多个微型反射镜或折射器，它们能够通过机械运动来改变光路的传输方向。驱动电路则负责控制
2024-02-02 14:41:31119
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