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微机电系统(MEMS, Micro-Electro-Mechanical System),也叫做微电子机械系统、微系统、微机械等,是在微电子技术(半导体制造技术)基础上发展起来的,融合了光刻、腐蚀、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密机械加工等技术制作的高科技电子机械器件。
微机电系统(MEMS, Micro-Electro-Mechanical System),也叫做微电子机械系统、微系统、微机械等,指尺寸在几毫米乃至更小的高科技装置。
微机电系统是在微电子技术(半导体制造技术)基础上发展起来的,融合了光刻、腐蚀、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密机械加工等技术制作的高科技电子机械器件。
微机电系统(MEMS, Micro-Electro-Mechanical System),也叫做微电子机械系统、微系统、微机械等,指尺寸在几毫米乃至更小的高科技装置。
微机电系统是在微电子技术(半导体制造技术)基础上发展起来的,融合了光刻、腐蚀、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密机械加工等技术制作的高科技电子机械器件。
微机电系统是集微传感器、微执行器、微机械结构、微电源微能源、信号处理和控制电路、高性能电子集成器件、接口、通信等于一体的微型器件或系统。MEMS是一项革命性的新技术,广泛应用于高新技术产业,是一项关系到国家的科技发展、经济繁荣和国防安全的关键技术。
MEMS侧重于超精密机械加工,涉及微电子、材料、力学、化学、机械学诸多学科领域。它的学科面涵盖微尺度下的力、电、光、磁、声、表面等物理、化学、机械学的各分支。
常见的产品包括MEMS加速度计、MEMS麦克风、微马达、微泵、微振子、MEMS光学传感器、MEMS压力传感器、MEMS陀螺仪、MEMS湿度传感器、MEMS气体传感器等等以及它们的集成产品。
你怎么知道你在哪里?什么是真实的?这是传感器融合应该回答的问题。不是以哲学的方式,而是字面上的“我会自动撞入白宫吗?因为我被告知不要这样做”,这种方式内...
人形机器人市场仍然处于研发阶段,技术上还没有完全收敛,各种技术、路线、方式、传感器的性能、精度、使用数量尚未完全确定。
我在上一篇关于MEMS压力传感器的博客中,谈到了从手表到复杂机械等众多设备中的HMI传感器如何改变了我们获取信息以及与技术交互的方式。过去,许多设备上只...
赛微计划在北京怀柔建设6/8英寸MEMS晶圆中试生产线和研发平台
MEMS属于集成电路行业中的特色工艺。赛微电子MEMS业务经营采用“工艺开发+代工生产”的模式,MEMS工艺开发业务是指根据客户提供的芯片设计方案,以满...
伴随着科技进步及用户对音质要求的提高,小型化电子设备与高质量音乐之间的矛盾愈发突出。为了解决这一问题,苹果公司在这项专利中提出了一种名为“圆柱形波纹ME...
Melexis MLX90830 Triphibian MEMS压力传感器开售
Melexis MLX90830传感器是率先采用Triphibian技术的一款新品。这款先进的压力传感器可在各种环境下为电动汽车提供稳定的性能和耐用性。
据睿创微纳公告显示,由于马宏被警方羁押,短期内无法继续担任董事长及其他重要职位。按公司规章制度,半数以上的董事会成员联名推选另一位董事来接替董事长之职。
瑶芯荣获“中国IC设计成就奖-年度最佳传感器/MEMS奖项”
2024 IIC国际集成电路展览会今日在上海张江科学会堂盛大闭幕。瑶芯作为国内功率器件和数模混合信号链芯片产品的领军企业,携MEMS、IGBT、SiC ...
锐思智芯推出的ALPIX-Eiger®斩获年度最佳传感器/MEMS大奖
3月28日-29日,由知名的电子工程技术媒体集团 ASPENCORE 举办2024国际集成电路展览会暨研讨会(IIC Shanghai)在上海张江科学会...
以芯驱动,创芯共生|2024世界芯片产业链峰会向世界发声!!
破局而立、向芯而行。 2024世界芯片产业链峰会,立足深圳,于“芯片破局之龙年”向全球发出最强号召。 以“以芯驱动,创芯共生”为主题的2024世界芯片产...
型号 | 描述 | 数据手册 | 参考价格 |
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MSM321A3729H9BP | 模拟输出MEMS麦克风 MIC_3.76X2.95MM_SM |
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MSM261DHP006 | MEMS硅麦 1.6~3.6V ±1dB |
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