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微机电系统（MEMS, Micro-Electro-Mechanical System），也叫做微电子机械系统、微系统、微机械等，是在微电子技术（半导体制造技术）基础上发展起来的，融合了光刻、腐蚀、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密机械加工等技术制作的高科技电子机械器件。

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mems技术

MEMS系统的EMC合规性提高了99%

本文概括介绍了在设计 EMC 标准时遇到的主要难题，这些挑战应与当今高度集成的 CbM 解决方案相协调。众所周知，EMC设计很难在第一次就正确，即使是电...

2022-12-16 标签：传感器 mems 电机 1.4k 0

TR系列压力传感器英寸水压开关

根据被测量的介质和组件的设计，这种类型的传感器可能会成为由介质本身引起的故障的受害者。一个常见的问题是浮子吸收了它浸没在其中的介质，这将导致人为的低液...

2023-06-07 标签：传感器控制器 mems 1.4k 0

基于深度学习（DL）的数据驱动的非参数化MEMS结构设计方法

在本论文研究中，作者们提出使用深度学习技术，通过快速准确地预测具有不同几何结构特征的众多设计候选方案的物理特性，加速MEMS设计周期。

2022-09-26 标签：mems 机器学习深度学习 1.4k 0

干法刻蚀的评价参数详解

在MEMS制造工艺中，干法刻蚀是通过等离子体、离子束等气态物质对薄膜材料或衬底进行刻蚀的工艺，其评价参数直接影响器件的结构精度和性能。那么干法刻蚀有哪些...

2025-07-07 标签：mems 制造工艺刻蚀 1.4k 0

精细之至，方显英雄本色——保证源表测量精度的小秘籍

精准的测试，几乎是所有工程师测试工作永恒的追求目标。但这绝非易事，特别是小信号的测量。例如，半导体器件、材料、医疗、MEMS、发光器件等，需要测量精确伏...

2023-02-01 标签：mems 测量仪器源表 1.4k 0

适用于中低真空度测量的AGP3000皮拉尼真空计

根据真空计测量原理所采用的不同物理机制，真空计主要可分为三类：利用力学性能（如波尔登真空计和薄膜电容规）、利用气体动力学效应（如皮拉尼电阻规和热电偶规）...

2023-06-01 标签：mems 力学测量原理 1.4k 0

意法半导体为研发组织提供意法半导体THELMA MEMS制程

CMP是为集成电路（IC）和微机电系统（MEMS）设计公司提供芯片设计/开发和小批量制造服务的中介机构，承接大专院校、研究实验室和企业委托的电路制造服务。

2018-03-12 标签：mems 意法半导体 cmp 1.4k 0

MEMS/NEMS结构基于模板的广度相位解包裹方法

在对微/纳机电系统(micro/nano electro me-chanical system，MEMS/NEMS)结构的特性参数进行测量和MEMS/N...

2018-05-03 标签：mems nems 1.4k 0

浅谈MEMS在状态监控领域的优势

作为一项基于固态电子器件和内置半导体制造设施技术，MEMS向状态监控产品设计师提供了几个极具吸引力且有价值的优势。撇开性能因素，我们就来说说状态监控领域...

2018-07-07 标签：传感器 mems 状态监控 1.4k 0

MEMS制造领域中光刻Overlay的概念

在 MEMS（微机电系统）制造领域，光刻工艺是决定版图中的图案能否精确 “印刷” 到硅片上的核心环节。光刻 Overlay（套刻精度），则是衡量光刻机将...

2025-06-18 标签：芯片 mems 光刻工艺 1.3k 0

MEMS存储设备的管理技术

MEMS存储器是一种新型存储器件，本内容介绍了MEMS存储设备的管理技术，请求调度算法，数据布局策略等内容

2012-12-11 标签：MEMS 存储器 1.3k 0

在自平衡制导控制系统中使用MEMS惯性测量单元

理想情况下，陀螺仪和加速度计中的多个轴相互正交。然而，一个常见的误解是，由于多轴陀螺仪或加速度计可以在一个分立的MEMS组件内设计，因此每个轴彼此成90...

2023-02-16 标签：传感器 mems 陀螺仪 1.3k 0

未来服务对传感器的需求：用于状态监测的智能传感器

这种预测性维护（PM）的主要元素，众所周知技术术语，是基于状态的监测（CBM），通常是旋转的涡轮机、风扇、泵和电机等机器。有了煤层气，实时记录有关...

2022-12-23 标签：传感器 mems 电机 1.3k 0

MEMS三轴陀螺仪解决方案TAG-304参数介绍

TAG-304陀螺仪专为特别恶劣的环境应用而开发，能够满足MIL-STD-810标准，承受极端的冲击和振动。此外，TAG-304陀螺仪完全数字化（RS-...

2023-09-13 标签：mems 陀螺仪 RS-422 1.3k 0

美国国家标准技术研究院将采用非接触式光学仪器来检测MEMS的结构

美国国家标准技术研究院把非接触式光学测量仪器连接在一个基于互联网的MEMS计算器上。利用简单有效的光学干涉仪。这个方法使得工程师在光学干涉仪中插入测量值...

2019-04-04 标签：mems 光学仪器 1.3k 0

MEMS传感器最广泛的应用领域

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2020-07-21 标签：MEMS MEMS传感器 1.3k 0

传感器性能如何实现基于状态的监测解决方案

不平衡系统会产生过度振动，这些振动以机械方式耦合到系统内的其他组件，例如轴承、联轴器和负载，从而可能加速处于良好运行状态的组件的劣化。

2022-12-21 标签：传感器半导体 mems 1.3k 0

如何在光谱分析行业中实现创新

光谱分析可基于样本对于大范围波长的反应鉴定样本，是实现该应用的强大工具。值得注意的是，NIR光谱分析用波长范围通常在780-2500纳米之间的光来刺激样本。

2020-04-06 标签：mems 光谱分析仪干涉仪 1.3k 0

汽车惯性传感器供货启动，谐振式压力传感器布局加速

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2024-03-29 标签：传感器 mems 压力传感器 1.3k 0

浅析pMEMS振荡器用于工业频率控制的设计

从消费类多媒体产品到工业自动化和监视系统、网络和通信基础设施以及坚固的军用设备，所有数字电子产品都有一个滴答作响的“心脏”，即一个准确的振荡器。历史上，...

2019-03-25 标签：控制器振荡器 MEMS 1.3k 0

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数字隔离技术常用于工业网络环境的现场总线、军用电子系统和航空航天电子设备中，尤其是一些应用环境比较恶劣的场合。数字隔离电路主要用于数字信号和开关量信号的传输。另一个重要原因是保护器件（或人）免受高电压的危害。本文详细介绍了数字隔离器工作原理及特点，选型及应用，各类数字隔离器件性能比较等内容。
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