MEMS最成功的产品是什么？

MEMS是当代国际瞩日的重大科技探索前沿阵地之一，新研发的MEMS样品不断被披露出来，从敏感MEMS拓展到全光通信用光MEMS、移动通信前端的RF-MEMS、微流体系统等信息MEMS。光MEMS包括微镜阵列、光开关、可变衰减器、无源互连耦合器、光交叉连接器、光分插复用器和波分复用器等，MEMS与光信号有着天然的亲和力；RF-MEMS包括射频开关、可调电容器、电感器、谐振器、滤波器、移相器、天线等关键元器件；微流体系统包括微泵、微阀、微混合器、微流体传感器等，可对微量流体进行输运、组分分析和分离以及压力、流量、温度等参数的在线测控。MEMS正处在蓬勃发展时期，产业链和价值链的形成是需要链中各环节的共同努力和密切合作的，封装不可缺位。

 

MEMS最成功的产品是微加速度计，通常由一个悬臂构成，梁的一端固定，另一端悬挂着一个约10μg的质量块，由此质量块敏感加速度后，转换为电信号，经C／V转换、放大、相敏解调输出。有的厂家月产达200万件，研发出20余种型号产品，主要用于汽车安全气囊系统和稳定系统的惯性测量，国际市场年需求量在1亿件以上。在市场上较其他类MEMS取得商业化快速进展的原因是更适宜采用标准的IC封装，提供一个相应的微机械保护环境，无需开发特殊的外壳结构，有的采用16脚双列直插式或单列直插式塑料封装。采用MCM技术通常能在一个MEMS封装中纳入更复杂的信号调节功能芯片。