国产电容式MEMS压力传感器得到实现

MEMS压力传感器是技术与资本密集型产业,国内缺乏从事MEMS压力芯片研发与量产的企业，MEMS国产率很低。午芯芯科技是目前国内唯一家拥有电容式压力芯片的企业。午芯芯科技MEMS电容式压力芯片拥有完全自主知识产权，已获10项专利授权，从设计到生产的每个环节均在国内完成，实现了MEMS电容式压力芯片领域的国产化替代，突破了国外对电容式压力芯片设计制造的卡脖子技术，解决了国外专利知识产权的卡脖子问题，填补了国内技术空白，芯片通过了东北国家计量测试中心测试，精度等级为0.01%级别，芯片性能达到国际领先水平，是国内第一个高精度小量程产品化的 MEMS电容式压力芯片，灵敏度达到厘米级，无需卫星信号，自成系统，应用于战斗机、无人机、导弹、炮弹等定位海拔高度系统，与惯导系统配合，无需卫星导航，也能精准命中目标，此芯片也可应用于热电池系统，对热电池内部压力和温度进行监控，提高电池续航时间，大量应用于手机，消费电子，汽车，无人机，家电，工业，医疗，航空航天，军工等领域，该芯片具有低功耗，高精度，高分辨率，温度特性优良等优点。

传感器灵敏度：±0.5Pa(或±0.05m）（标准模式下即可达到）
相对精度：±0.06hPa(或±0.5m)
绝对精度：±1hPa（或±8m）
工作压力：300～1200hPa
工作温度：-40～85°C
温度精度：±0.5°C
压力温度敏感度：0.5Pa/K
测量时间：典型值：标准模式为 27.6ms（16 倍），最小值：3.6ms 为低精度模式
平均电流消耗量：大气压力工作电流为 2µA；1.5uA 1Hz 采样率的温度测量；休眠电流 0.5µA
电源电压：VDDIO：2.0～5.5V
校准：使用测量校正的系数进行单独校正，产品出厂已校准
接口：I 2C 和 SPI（均具有可选的中断）
包装尺寸：8 引脚 LGA，2.0mm x 2.5mm x 1.0mm

典型应用
➢ 室内导航（楼层检测等，例如在商场和停车场)
➢ 健康和运动（准确的仰角增益和垂直速度）
➢ 户外导航（GPS 启动时间和精度改进，如隧道内的航位推算）
➢ 气象站（“微天气”和本地天气预报）
➢ 硬盘驱动程序（硬盘驱动器中的泄漏率检测）
➢ 无人机（飞行稳定性和高度控制）

午芯芯科技有限公司是一家专注于MEMS芯片研发、设计、生产、销售于一体的科技创新型企业，其生产的MEMS电容式压力芯片是由哈工大、沈理工的多位博导、教授带领的科研团队，进行成果转化，已获得授权10项芯片架构专利，拥有完全自主知识产权，达到《军用电子元器件可控评估》A级标准。

审核编辑 黄宇