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微机电系统（MEMS, Micro-Electro-Mechanical System），也叫做微电子机械系统、微系统、微机械等，是在微电子技术（半导体制造技术）基础上发展起来的，融合了光刻、腐蚀、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密机械加工等技术制作的高科技电子机械器件。

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mems技术

详解意法半导体LSM6DSV320X传感器开发平台性能

ST又一新品力作，LSM6DSV320X传感器，并且得到STEVAL-MKI109D主板的支持，使用配套的上位机可以实现丰富的产品体验和开发辅助。本文主...

2025-10-18 标签：传感器 mems 意法半导体 3.8k 0

面向轨道交通的高可靠性MEMS加速度计MS9000

加速度计传感器能够检测多种机械运动形态，包括惯性力、倾斜、振动与冲击等。目前市场上存在多种类型的加速度传感器，分别采用压电式、压阻式及电容式等不同传感原...

2025-10-17 标签：mems 加速度计运动传感器 157 0

‌Microchip DSA61xx MEMS振荡器技术解析：汽车电子时钟方案的革新选择

Microchip Technology DSA61 MEMS振荡器具备业界领先的低功率消耗，并在温度变化下保持出色的频率稳定性和低抖动性能。Micr...

2025-10-14 标签：振荡器 mems 低功率 355 0

‌Microchip DSA60XX MEMS振荡器技术解析与应用指南

Microchip Technology DSA60 MEMS振荡器具备业界领先的低功率表现，并在各种温度范围内提供出色的频率稳定性和低抖动性能。...

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Microchip DSC12X2/3/4高性能差分MEMS振荡器技术解析

Microchip Technology DSC12X2/3/4标准时钟振荡器采用硅MEMS技术来降低近端噪声，并提供出色的抖动性能。该振荡器可在宽电...

2025-10-13 标签：mems 时钟振荡器 319 0

HV56266高电压运算放大器的技术解析与应用指南

Microchip Technology HV56266运算放大器是一款单通道MEMS放大器，带外部增益设置电阻器。这款放大器设计能够稳定带动最大15p...

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基于Microchip DSA557系列PCIe时钟发生器的技术解析与应用

Microchip Technology DSA557 PCI Express时钟发生器采用先进的硅MEMS技术，可在各种电压和温度下生成低抖动的10...

2025-10-10 标签：mems 时钟发生器低抖动 391 0

德州仪器DLP651NE：赋能下一代高亮度1080p显示系统的核心引擎

Texas Instruments DLP651NE DLP® 1080p HSSI数字微镜器件 (DMD) 是一款数控微机电系统 (MEMS) 空间照...

2025-09-28 标签：mems DMD 数字微镜器件 482 0

MEMS加速度计如何让无人机在狂风中稳如磐石？

当无人机在强风中保持悬停，其背后是加速度计在实时感知每一丝气流扰动。ER-MA-5 MEMS加速度计通过测量线性加速度，与陀螺仪、磁力计协同构成无人机的...

2025-09-25 标签：传感器 mems 加速度计 403 0

三轴冲击加速度传感器462系列：精准捕捉极端环境下的动态冲击--森瑟科技

在工业测试、运动学研究和爆炸冲击监测等领域，对高g值冲击加速度的精确测量至关重要。Senther推出的462系列三轴冲击加速度传感器，凭借其卓越的性能和...

2025-09-22 标签：mems 监测加速度传感器 930 0

选择合适的MEMS振动传感器?

选择加速度计时，我们需要注意哪些规格？虽然目前没有任何官方标准可用于振动传感器的分类，但可以通过这些传感器的有效分辨率划分其类别，如图8所示。很明显，M...

2025-09-16 标签：mems 加速度计振动传感器 462 0

MEMS麦克风设计注意事项和应用指南

MEMS麦克风以其极致的小巧、卓越的性能、强大的稳定性和极具竞争力的成本，席卷了从消费电子到工业物联网的各个角落。无论是打造清晰通话的TWS耳机，赋予智...

2025-08-29 标签：mems 麦克风耳机 7.5k 0

宽视场角MEMS超声波传感器在双足机器人避障系统中的关键作用

通过持续优化传感器融合架构，双足机器人的环境适应性将进一步提升，为灾难救援、社会服务等场景提供可靠技术支持。

2025-08-25 标签：mems 超声波传感器避障系统 902 0

奥迪威MEMS超声波传感器在四足机器人测距避障系统中的应用

奥迪威传感器采用自适应阈值算法和编码调制技术，能够区分真实的障碍物回波和降水产生的干扰回波，保证测量的准确性。此外，传感器外壳的特殊设计能够防止水滴和雪...

2025-08-25 标签：传感器 mems 四足机器人 1.5k 0

德州仪器DLP550HE数字微镜器件(DMD)技术解析

Texas Instruments DLP550HE数字微镜器件(DMD) 是一款数控微机电系统 (MEMS) 空间光调制器 (SLM)，可用于实现明亮...

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DLP670RE数字微镜器件(DMD)技术解析与应用指南

Texas Instruments DLP670RE数字微镜设备（DMD）是一种数控微机电系统（MEMS）空间光调制器（SLM），能够实现明亮、经济实惠...

2025-08-21 标签：mems 调制器 DMD 821 0

MEMS惯性器件主要技术指标

MEMS惯性器件包括MEMS加速度计和MEMS陀螺仪，前者测量物体的加速度，通过一次积分和二次积分获得物体的速度和位置。后者测量物体的姿态角速率，通过积...

2025-08-19 标签：mems 陀螺仪惯性器件 727 0

MEMS能量收集技术的应用和解决方案

超低功耗MCU的发展创造了一个巨大且不断扩容的能量收集市场，无论是规划便携式电池供电设备，还是希望提高大型设备的能源效率，所有设计工程师都在积极将能量收...

2025-08-16 标签：mcu mems 能量收集 1k 0

MEMS封装的需求与优化方案

当前，尽管针对 MEMS 器件的制备工艺与相关设备已开展了大量研究，但仍有不少 MEMS 传感器未能实现广泛的商业化落地，其中一个重要原因便是 MEMS...

2025-08-15 标签：mems 晶圆封装 2.6k 0

【干货】北斗三号+ MEMS惯性传感器：国产高精度导航的突围路径

GNSS/INS惯系统（GNSS/INS，GlobalNavigationSatelliteSystem/InertialNavigationSyste...

2025-08-14 标签：mems 导航惯性传感器 770 0

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数字隔离技术常用于工业网络环境的现场总线、军用电子系统和航空航天电子设备中，尤其是一些应用环境比较恶劣的场合。数字隔离电路主要用于数字信号和开关量信号的传输。另一个重要原因是保护器件（或人）免受高电压的危害。本文详细介绍了数字隔离器工作原理及特点，选型及应用，各类数字隔离器件性能比较等内容。
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