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微机电系统（MEMS, Micro-Electro-Mechanical System），也叫做微电子机械系统、微系统、微机械等，是在微电子技术（半导体制造技术）基础上发展起来的，融合了光刻、腐蚀、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密机械加工等技术制作的高科技电子机械器件。

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mems技术

固态激光雷达的研发及生产解决方案

最近几年，自动驾驶成为人们关注的焦点，许多诸如谷歌、百度等企业家都不遗余力地发展自动驾驶，以期能够实现这项造福人类的技术。

2019-01-14 标签：MEMS 激光雷达 5.6k 0

应用高级传感器和算法进行低成本运动跟踪

高性能运动跟踪技术已经从深奥的军事、航空电子设备、海洋和工业应用迁移到不断扩大的消费应用范围。尽管如此，将高性能运动跟踪引入消费市场通常会迫使设计人员协...

2021-12-20 标签：传感器 mcu mems 5.6k 0

微型投影仪的应用及发展前景

视频分享的新世界中，微型投影仪任何时间和地点都可使用。一些创新的应用，例如虚拟键盘，舞台上虚拟人物、看手上的血管、汽车前挡风玻璃上的地图等。投影主要有三...

2018-06-24 标签：mems intersil lcos 5.6k 0

使用MEMS传感器进行振动监测

振动监测 (VM) 已经问世很长一段时间，并且已被用于监测机器、设备或结构的健康状况。在机器运行过程中，可以利用专用传感器收集其振动数据以对其进行实时监...

2022-03-24 标签：传感器 mems 电动机 5.6k 0

硅的形态与沉积方式

优化硅的形态与沉积方式是半导体和MEMS工艺的关键，LPCVD和APCVD为常见的硅沉积技术。

2024-01-22 标签：多晶硅半导体 mems 5.6k 0

微机械干簧开关的MEMS解决方案

微型干簧开关已经实现了各种各样的应用，要求高可靠性，小尺寸和低成本。简单地说，微机械加工技术是利用半导体制造设备以创造微机械的方式为特定目的服务的系统。...

2019-03-01 标签：半导体 mems 晶圆 5.6k 0

医疗电子领域的MEMS传感器应用

半导体技术继续在助力实现便携式、患者监控、诊断和疗法的新技术开发中扮演重要角色。MEMS传感器技术的突破也为医疗应用带来前所未有的便利性和体验。

2016-01-04 标签：MEMS 医疗电子 MMA8451Q 5.6k 0

LIS3DH:用于Pebble智能手表MEMS运动传感器

横跨多重电子应用领域、全球领先的半导体供应商意法半导体（STMicroelectronics，简称ST；纽约证券交易所代码：STM）宣布其STM32微...

2014-01-22 标签：MEMS 意法半导体 LIS3DH 5.6k 1

MEMS加速度计和陀螺仪工作原理

根据胡克定律,在弹性限度内，物体的形变跟引起形变的外力成正比。

2022-10-31 标签：传感器 mems 陀螺仪 5.6k 0

MEMS传感器零偏参数讲解

最近，经过一段时间不懈努力，实现了对 QMI8658 姿态传感器的零偏(即常值误差)进行标定。过去我曾整理过姿态传感器误差参数相关的文章，包括《MEMS...

2023-06-07 标签：传感器 mems 陀螺仪 5.6k 0

如何用加速度计中断引脚执行唤醒和非运动检测

一个数字MEMS加速度计通常有一个到两个中断输出引脚，可以连接外部微处理器的I/O引脚。加速度计可配置成后台监视加速度或运动，同时微处理器可以处理其它任...

2018-04-16 标签：mems 加速度计休眠唤醒 5.6k 0

MEMS加工技术介绍

传统机械加工方法指利用大机器制造小机器，再利用小机器制造微机器。可以用于加工一些在特殊场合应用的微机械装置，例如微型机械手、微型工作台等。

2020-07-21 标签：mems MEMS技术 5.6k 0

技术探究：微流控芯片技术为什么这样强悍？

微流控芯片采用类似半导体的微机电加工技术在芯片上构建微流路系统，将实验与分析过程转载到由彼此联系的路径和液相小室组成的芯片结构上，加载生物样品和反应液后...

2015-06-04 标签：MCU MEMS 微流控芯片 5.6k 0

制造MEMS芯片需要什么工艺？对传感器有什么影响？这次终于讲明白了！（推荐）

本文整理自公众号芯生活SEMI Businessweek中关于MEMS制造工艺的多篇系列内容，全面、专业地介绍了MEMS芯片制造中的常用工艺情况，推荐！...

2023-10-20 标签：传感器芯片 mems 5.5k 0

小型化MEMS I/O供电连接器技术为医疗保健设备提供全新优势

随着医疗保健供应商和病患推动着这些转变，领先的电子产品创新厂商正在应对技术挑战，将传统上用于医生办公室、诊所和医院设置的设备和仪器转变进入病患家庭。在这...

2013-05-13 标签：MEMS 连接器医疗保健 5.5k 0

MEMS麦克风技术满足音量市场的性能要求

MEMS麦克风含一个可移动的膜片和静态背板，采用常见的包括沉积和选择性蚀刻的工艺制作在硅晶圆基板上。背板有穿孔，允许空气流通而不引起偏离。膜片的设计是为...

2017-08-30 标签：传感器 mems 语音识别 5.5k 0

Microchip基于MEMS的时钟发生器

2018-06-07 标签：mems microchip 时钟发生器 5.5k 0

使用LTspice进行工程电源和MEMS信号链模拟

现代MEMS传感器解决方案的体积小、集成度高，并且放置在振动源附近，用于测量振动频率。频率随时间的变化表明振动源（电机、发电机等）存在问题。

2021-11-19 标签：adi mems 运算放大器 5.5k 0

用于智能农业的精密MEMS IMU

用于智能农业的精密MEMS IMU。

2018-06-01 标签：adi mems imu 5.5k 0

如何扩展MEMS加速度计的带宽

在本文中，我们将看到低通滤波器可以提高加速度计的噪声性能。我们还将讨论定制陷波滤波器如何扩展 MEMS 加速度计的带宽。

2022-04-21 标签：mems 带宽加速度计 5.5k 0

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