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微机电系统(MEMS, Micro-Electro-Mechanical System),也叫做微电子机械系统、微系统、微机械等,是在微电子技术(半导体制造技术)基础上发展起来的,融合了光刻、腐蚀、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密机械加工等技术制作的高科技电子机械器件。
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2015年开始,以集成微系统任务需求为牵引,通过问题定位、技术分解,确立了基于PZT材料的MEMS微执行器研究,目前取得的研究进展包括以下几个方面:压电...
国内外RF MEMS厂商大盘点 5G对我国的RF MEMS厂商来说是机遇也是挑战
射频微机电系统(RF MEMS)是MEMS技术的重要应用领域之一,也是二十世纪九十年代以来MEMS领域的研究热点。RF MEMS用于射频和微波频率电路中...
LioniX将使用普通硅加工技术和材料制造新型热寻址硅阵列,使得Evonetix能够使用其用于传输的热协同控制化学方法控制再生DNA的合成,从而实现大规...
目前,在陀螺仪应用领域,按精度细分的话,陀螺仪可分为商用陀螺仪、战术陀螺仪、导航陀螺仪、战略陀螺仪。
意法半导体推出IIS2DLPC 3轴MEMS加速度计,可以在超低功耗和高分辨率之间动态改变工作模式,在有限的功耗预算内实现高精度测量。
无人机和其他无人应用需在恶劣环境中工作,为了满足精密稳定性和导航要求,能够抑制振动、冲击和温漂的高性能MEMS必不可少。
在物联网的推动下,气体传感器的应用日益广泛,逐渐向小型化、集成化、模块化、智能化方向发展。其中,具有代表性的基于金属氧化物半导体敏感材料的气体传感器已广...
如今的MEMS设备可包括大量集成、单电压信号调理电子器件,提供具有极低功耗的模拟和数字接口来帮助实现电池供电的无线产品。
一文解析汽车雷达的碎片记录 毫米波RADAR与LIDAR探秘
碎片记录的目的是弥补自己因间歇性健忘症而带来的碎片知识的丢失。特别是那些不属于自己研究领域,却又想弄明白的东西。另外呢,其实这篇文章也是给老婆交的作业,...
本土IC设计公司进入发展快车道,除了孕育出海思、展讯这样的世界级IC设计公司外,大量瞄准细分市场颇具差异化特点的公司也涌现出来。##作为原RDA公司分管...
接近传感器具有使用寿命长、工作可靠、重复定位精度高、无机械磨损、无火花、无噪音、抗振能力强等特点。在自动控制系统中可作为限位、计数、定位控制和自动保护环...
三轴陀螺仪基于微机电系统(MEMS)技术或光学原理工作。它通常由三个独立的感测器组成,每个感测器测量物体围绕一个轴的旋转速度。这些感测器可以是微机电系统...
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