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微机电系统(MEMS, Micro-Electro-Mechanical System),也叫做微电子机械系统、微系统、微机械等,是在微电子技术(半导体制造技术)基础上发展起来的,融合了光刻、腐蚀、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密机械加工等技术制作的高科技电子机械器件。
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微机电系统(MEMS),在欧洲也被称为微系统技术,或在日本被称为微机械,是一类器件,其特点是尺寸很小,制造方式特殊。MEMS器件的特征长度从1毫米到1微...
基于MEMS技术的微型硅基声呐器件提供了毫米级精度的距离传感功能
超低功耗的片上系统(SoC)控制整个ToF处理过程:发送超声波脉冲,将接收的超声回波数字化,检测ToF到最近目标并通过I2C返回16位ToF信号。SoC...
MEMS是一种全新的必须同时考虑多种物理场混合作用的研发领域,相对于传统的机械,它们的尺寸更小,最大的不超过一个厘米,甚至仅仅为几个微米,其厚度就更加微...
静电力是另一种可能引起粘附的作用力。在静电驱动或摩擦的作用下,残余电荷会集聚在MEMS器件中的绝缘部件或绝缘层上,例如:氧化硅或氮化硅绝缘层和疏水涂层等...
日立新型MEMS加速度计比商用MEMS加速度计灵敏度跟高,且功耗降低50%
日立通过在MEMS质量块上制作贯通孔来降低空气阻力,并且贯通孔的直径在上层和下层之间是变化的。上层为电极部分,下层为重量较大的运动层。上述方法可将空气阻...
据麦姆斯咨询报道,TowerJazz和TMR磁传感器技术及嵌入式MRAM(磁随机存储器)领先开发商Crocus公司,近日共同宣布双方将利用TowerJa...
SiTime推出MEMS参考时钟支持新物联网应用所需的最佳尺寸、功耗和精度
SiTime市场部执行副总裁Piyush Sevalia指出:“SiTime独到的时序产品致力于为最严峻挑战的设计提供解決方案。伴随着物联网的快速发展,...
MEMS加速度计已成为行动装置省电设计的重要元件。内建高通滤波器并具备自由落体侦测功能的加速度计,能藉由一支中断接脚为处理器提供可靠的唤醒和无动作侦测讯...
Piezoelectricity这词来源于希腊语piezein,表示施加压力,1880年由两位法国物理学家(Pierre,Paul-Jacques Cu...
如何利用Tanner MEMS参数化基本单元库,迅速创建复杂的表面微加工或流体MEMS器件
即便您要重新设计传动电机的MEMS传感器,目标也是让工作尽可能轻松快捷地完成。利用Tanner L-Edit中的MEMS库,您可以从大量MEMS器件不同...
“要保证动车组高速平稳行驶,首先要由加速度传感器对来自X(轴)、Y(径)和Z(垂)向的应力进行实时监测,并将电信号传输给列车指挥系统。”北京交通大学教授...
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