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微机电系统(MEMS, Micro-Electro-Mechanical System),也叫做微电子机械系统、微系统、微机械等,是在微电子技术(半导体制造技术)基础上发展起来的,融合了光刻、腐蚀、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密机械加工等技术制作的高科技电子机械器件。
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键合技术是 MEMS 工艺中常用的技术之一,是指将硅片与硅片、硅片与玻璃或硅片与金属等材料通过物理或化学反应机制紧密结合在一起的一种工艺技术。
MEMS VOA光衰减器的工作原理及在光通信网络中的应用研究
MEMS(Micro Electro Mechanical System,微机电系统)技术被广泛应用于光纤通信系统中,MEMS技术与光学技术的结合,通常...
硅与MEMS振荡器正在加入到高度分化的振荡器市场中石英晶体与陶瓷谐振器的行列。选择正确的应用器件不需要水晶球,不过一些相关事实会有所帮助。
导语:传感器发展到今天,小型化、智能化、集成化,已经是升级换代的必由之路。今天,我们来为大家介绍一下传感器家族的mini型产品——MEMS传感器。 ...
意法半导体执行副总裁兼模拟产品、MEMS及传感器产品事业总经理Benedetto Vigna表示:“这款高性能9轴微型模块基于我们最新的MEMS技术,让...
MEMS OIS解决方案具有高性能、小尺寸、低功耗等特点,因此具有巨大的市场潜力。随着更好的OIS技术应用,移动拍照媲美专业级单反相机的时代正在来临!
近年来,基于MEMS的超声换能器技术一直处于快速发展和增长阶段,广泛应用于医疗阵列成像、手势识别、内窥成像、指纹识别等领域。
当外界环境温度变化时, MEMS芯片上的硅烷偶联剂与硅胶表面结合发生化学反应,使硅烷的化学性质也随之发生变化,当此变化超过硅烷的临界值时,将引起硅烷偶联...
北京康斯特仪表科技股份有限公司(以下简称“公司”、“本公司”或“康斯特”)于2017年8月15日召开的第四届董事会第二次会议审议通过了《关于投资建设仪器...
一直以创新为极致追求的村田,早在2012年就通过并购芬兰的MEMS巨头公司VTI,而扩充了MEMS传感器领域产品。
想象一下,夹在汽车遮阳板上的选装抬头显示器 (HUD) 将驾驶指令投射到你的风挡玻璃上。再想象一台具有内置微型投影仪的平板电脑,不论何时何地,都使你能在...
2018-05-15 标签:mems 5.9k 0
Fast Start物联网平台是推动结构/机器健康监控等物联网应用发展的强大工具。采用ADI同类最佳器件,例如ADuCM3029(低功耗Cortex M...
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