快反镜(Fast Steering Mirror)作用和原理的介绍

快反镜是光电精密跟踪系统中重要的一部分，用来精确控制光束方向。快反镜响应速度快，控制精度高。可以用来校正光路中的倾斜误差，也可以用来稳定光束的指向，还可以用在快速跟踪系统中。快反镜在驱动元件作用下控制反射镜面的快速高频转动，实现光束的高速精确指向、稳定和跟踪。

压电陶瓷驱动器是快反镜理想的驱动方式。压电陶瓷驱动的快反镜由反射镜、柔性铰链、压电陶瓷驱动器、基座、电阻应变片式传感器和电路结构等组成。如下图所示：

在快反镜中使用的压电陶瓷需要纳米级别的高分辨率。压电陶瓷的使用可以显著提高谐振频率和灵敏度。压电陶瓷的工作利用了压电效应。某些物质受到外力时，不仅几何尺寸发生变化，而且内部极化。表面电荷出现形成电场。当外力消失时有重新回复到不带电状态，这种效应被称为正压电效应。相反地，当对压电晶体施加电场时，不仅产生了极化还产生了形变，这种效应被称为逆压电效应。

给压电陶瓷加电压时，压电陶瓷会有一个可以达到纳米级别的位移。这个位移和所加的电压大致成正比。在实际应用中，为了增大位移和输出力，常常采用堆叠型压电陶瓷执行器。和传统的电机结构相比，压电陶瓷不需要传动机构，位移控制精度高；响应速度快，无机械吻合间隙，可实现电压随动式位移控制；有较大力输出；功耗低，且位置保持情况下几乎无功耗；是固体器件，容易和电源、传感器、微机等实现闭环控制。

 

更多详情请联系昊量光电/欢迎直接联系昊量光电

关于昊量光电：

上海昊量光电设备有限公司是国内知名光电产品专业代理商，代理品牌均处于相关领域的发展前沿；

产品包括各类激光器、光电调制器、光学测量设备、精密光学元件等，涉及应用领域涵盖了材料加工、光通讯、生物医疗、科学研究、国防及更细分的前沿市场如量子光学、生物显微、物联传感、精密加工、先进激光制造等；可为客户提供完整的设备安装，培训，硬件开发，软件开发，系统集成等优质服务。

审核编辑：符乾江